【課題】太陽電池等の表面に施される希少金属や有機物等を回収する。
【解決手段】透光基板の表面に膜が施された太陽電池等の板材からこの膜を回収する膜回収装置及び膜回収方法である。前記透光基板の表面の膜に照射するレーザ光を発生させ、当該レーザ光を制御して前記透光基板の裏面側から当該レーザ光を前記膜に照射し、前記透光基板にほとんど影響を与えずに当該膜を瞬時に加熱して局所的に膨張収縮させ、前記透光基板と前記膜の境界面をずらして互いの接着を破壊して剥離する。 （もっと読む）

【課題】シャドーマスクのクリーニング時における塑性変形を抑えてシャドーマスクの再利用率を向上させ有機ＥＬディスプレイの製造コストを低減させることができるシャドーマスクのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】クリーニング装置１００は、シャドーマスク１０を磁気吸着するためのマグネットプレート１０３を備えたマスク保持具１０２を備えている。マグネットプレート１０３の下面には、シャドーマスク１０を構成する素材と同一の素材であるインバー材からなる補強層１０４が形成されている。補強層１０４は、インバー材の熱拡散長よりも長い厚さに形成されている。マスク保持具１０２の下方には、シャドーマスク１０にレーザ光を照射して蒸着物質を除去するための光源１０６，集光レンズ１０７およびガルバノミラー１０８が設けられている。この場合、レーザ光Ｌはシャドーマスク１０に付着した蒸着物質表面での反射率が最小となる入射角θ_Ｂで照射される。 （もっと読む）

【課題】処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触することを簡単な構造で防止することができるリフトピン機構を提供する。
【解決手段】処理対象部材ＧＢは水平移動せず、処理対象部材ＧＢから下方に離間した可動ピン１１０が水平移動する。このため、可動ピン１１０の移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材ＧＢの同一箇所に可動ピン１１０が接触する可能性を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 本来の形状寸法を維持しつつ、できるだけ多数回、蒸着マスクの使用を可能にすることのできる蒸着マスクのクリーニング方法を実現する。
【解決手段】 堆積物が付着した蒸着マスク１に対し、蒸着マスク１における堆積物が付着した面の振動を誘起するレーザービーム１５を照射し、蒸着マスク１から堆積物を剥離する。 （もっと読む）