【課題】 長期に亘り検出精度が低下することなく、高分解能であっても十分な感度で検出できる触覚センサを提供する。
【解決手段】 押圧により抵抗値が変化するシート状の感圧導電性部材３と、感圧導電性部材３の一側面に配置され、感圧導電性部材のインピーダンスを検出する電圧印加電極５と電圧検出電極６でなる電極セル７の複数がマトリクス状に配列された複層フレキシブル基板でなる電極シート２を備えて構成され、列方向に配列された複数の電圧印加電極５が列毎に相互に接続され、外部からの電圧を同時に印加する複数のリードパターン５ａが電極セル７が設けられた第一基板２ａに形成され、行方向に配列された複数の電圧検出電極６が行毎に相互に接続され、外部に検出電圧を出力する複数のリードパターン６ａが第二基板２ｂに形成される。 （もっと読む）