【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定精度をより改善できる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の３次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第１方向にＮ回入射した後、測定対象物に格子イメージを第２方向にＮ’回入射する投影部と（Ｎ及びＮ’は２以上の自然数）、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の３次元状態を算出する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】多方向からパターン照明を検査対象物に照射する多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】この干渉計は、検査対象物（１）をＸ、Ｙ方向に移動させるＸ−Ｙステージ(１０)と、Ｘ−Ｙステージに位置した検査対象物(１)で反射されるパターン映像を撮影する結像部(１１０)と、パターン照明を照射受けて光経路を変更させて照射する第１回転鏡部(１２０)並びに第２回転鏡部(１３０)と、第１並びに第２回転鏡部から夫々照射されるパターン照明を検査対象物に照射する多数の第１並びに第２固定鏡部(１４０,１５０、１６０,１７０)と、第１及び第２回転鏡部(１２０,１３０)にパターン照明を照射させるパターン照明を発生する第１パターン照明発生部(１８０)と、を有する。 （もっと読む）

【課題】シャドウモアレを用い、測定対象物の形状に関係なく複数の照明部を選択的にオン／オフさせて測定対象物の３次元形状を測定する。
【解決手段】格子１１０の移送部材１２１と、格子移送機構１２２と、リニアガイド１２３と、からなる格子移送部１２０と、格子移送部１２０の上部に設置さたビームスプリッター部１３０と、ビームスプリッター部１３０の一側に設置さた第１照明部１４０と、ビームスプリッター部１３０を透過する反射イメージを撮影する結像部１５０と、結像部１５０を中心に所定の角度で斜めに設置さた複数の照明部１６０を設けると共に、それらを制御する制御部１７０を設け装置を構成する。撮影された反射イメージから対象物１０２の３次元形状を得、測定対象物１０２の形状に応じて照明部１６０のオン／オフを制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元形状の測定の際、影を除去すると共に測定物体の表面で正反射される光を測定することができる３次元形状測定装置に関するものである。
【解決手段】本発明の３次元形状測定装置は光を発生させる投影部（１０）と、光を感知する結像部（２０）と、投影部（１０）と結像部（２０）の間に設置されるプリズム部（３０）と、プリズム部（３０）の両側にそれぞれ設置される第１及び第２ミラー部（４０，５０）とを具備し、プリズム部（３０）は投影部（１０）で発生された光を第１及び第２ミラー部（４０，５０）に選択的に入射させて測定物体（１）の表面に入射させて、測定物体（１）の表面で反射された光が第１及び第２ミラー部（４０，５０）に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部（２０）に入射させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物がノーマル検査モードではない場合、ベアボード情報を検索し、ベアボード情報がない供給業体で供給されたボードである場合、ベアボード学習を通じてボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する方法に関する。
【解決手段】第１照明源の明るさを測定する段階と、位相を高さに変換したファクターを測定する段階と、ノーマル検査モードによるボードの３次元形状を測定する段階と、ベアボード情報がない場合にベアボード学習を実施する段階と、ベアボード情報があるか又はベアボード学習情報が発生されると学習検査モードによるボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する段階と、３次元形状情報を用いてボードが正常か否かを分析する段階と、から構成され、ボードのターゲット対象物の３次元形状測定作業をより容易に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）