3次元形状測定装置
【課題】本発明は3次元形状の測定の際、影を除去すると共に測定物体の表面で正反射される光を測定することができる3次元形状測定装置に関するものである。
【解決手段】本発明の3次元形状測定装置は光を発生させる投影部(10)と、光を感知する結像部(20)と、投影部(10)と結像部(20)の間に設置されるプリズム部(30)と、プリズム部(30)の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部(40,50)とを具備し、プリズム部(30)は投影部(10)で発生された光を第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて測定物体(1)の表面に入射させて、測定物体(1)の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部(20)に入射させるように構成される。
【解決手段】本発明の3次元形状測定装置は光を発生させる投影部(10)と、光を感知する結像部(20)と、投影部(10)と結像部(20)の間に設置されるプリズム部(30)と、プリズム部(30)の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部(40,50)とを具備し、プリズム部(30)は投影部(10)で発生された光を第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて測定物体(1)の表面に入射させて、測定物体(1)の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部(20)に入射させるように構成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、3次元形状測定装置に係るもので、より詳しくは3次元形状測定装置の光学系(optical system)の構成が簡単で、3次元形状測定の際に発生する影(shadow)を除去して正反射(specular refraction)される光だけを検査することができる3次元形状測定装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来の3次元形状測定装置は図7に示されたように、投影部(4)、ビームスプリッター(beam splitter)(5)及び結像部(6)でそれぞれ構成される第1及び第2検査部(2,3)からなる。前記投影部(4)は光源(4a)、格子(grating)(4b)、投影レンズ(4c)から構成されて、前記結像部(6)は結像レンズ(6a)及びカメラ(6b)から構成される。
【0003】
前記第1及び第2検査部(2,3)について説明すると次の通りである。
【0004】
第1検査部(2)の投影部(4)の光源(4a)から図7に示された矢印(A)方向に光が発生されると、発生された光は格子(4b)、第1検査部(2)に位置した投影レンズ(4c)及びビームスプリッター(5)を通過して測定物体(1)の表面に入射される。入射された光は測定物体(1)の表面で矢印(A)の方向に沿って反射された後、第2検査部(3)に位置されたビームスプリッター(5)及び結像レンズ(6a)を通過してカメラ(6b)に入射されてカメラ(6b)を通じて光イメージを感知して測定物体(1)の3次元形状を測定することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところが、前記のような従来の3次元形状測定装置は3次元形状の測定の際、影を除去するために第1検査部と第2検査部を対称となるように構成して、これら検査部はそれぞれ投影部、ビームスプリッター及び結像部を具備するので光学系の構成が非常に複雑な問題点がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は前記のような問題点を解決するためのもので、3次元形状の測定の際、影を除去すると共に測定物体の表面で正反射される光を測定することができる3次元形状測定装置を提供することにある。
【0007】
本発明の他の目的は3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成した3次元形状測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
このような目的を達成するための本発明の3次元形状測定装置は、光を発生させる投影部と、光を感知する結像部と、投影部と結像部の間に設置されるプリズム部と、プリズム部の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部で具備されて、プリズム部は投影部で発生された光を第1及び第2ミラー部に選択的に入射させて測定物体の表面に入射させて、測定物体の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部に入射させるように構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上説明したように、本発明の3次元形状測定装置は測定物体の表面を検査する際、影を除去すると共に反射される光を感知する際、簡単なプリズム部や回転ミラー機構を用いることによって3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成することができて3次元形状測定装置の製造費用を節減することができる利点を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0010】
以下、本発明の第1実施例を添付された図面を参照して説明すると次の通りである。
【0011】
本発明の3次元形状測定装置は図1に示されたように大きく投影部(10)と結像部(20)とプリズム部(30)と第1及び第2ミラー部(40,50)からなる。
【0012】
前記投影部(10)は光源(11)、第1格子(12)、投影レンズ(13)、第1直線移送機構(14)及び第1フィルタ(15)からなる。
【0013】
前記投影部(10)で、光源(11)は光を発生させて、第1格子(12)は光源(11)と投影レンズ(13)の間に設置され光源(11)から発生された光をモアレパターンによる光の形に変換させて透過させる。前記第1格子(12)は検査テーブル(1a)上に設置された測定物体(1)の3次元形状測定の際、第1直線移送機構(14)によってN―バケットアルゴリズムが適用される場合にN回移送され光をモアレパターンに変換させて透過させる。
【0014】
前記モアレパターンを有する光は投影レンズ(13)に照射されて、投影レンズ(13)は第1格子(12)とプリズム部(30)の間に設置され前記光を第1フィルタ(15)を通じて濾過させた後プリズム部(30)に入射させる。
【0015】
一方、前記第1格子(12)を垂直方向に移送させるために第1格子(12)の一側端には第1直線移送機構(14)が設置される。前記第1直線移送機構(14)は第1移動ブロック(14a)、第1LMガイド(14b)及び第1アクチュエーター(14c)から構成される。前記第1格子(12)は第1移動ブロック(14a)に設置されて、前記第1移動ブロック(14a)は第1LMガイド(14b)に設置され第1移動ブロック(14a)を直線移動の際ガイドする役割をすることになる。そして、第1アクチュエーター(14c)は第1移動ブロック(14a)に設置され第1移動ブロック(14a)を直線移動させるための駆動力を発生する。ここで、第1アクチュエーター(14c)はPZTアクチュエーター(piezoelectric actuator)が適用される。
【0016】
前記第1直線移送機構(14)の他の実施例は図2a及び図2bに示されたフレクシャーステージ(flexure stage)(17)を適用することができる。前記フレクシャーステージ(17)はフレクシャーボディー(17a)、第2格子(18)及びPZTアクチュエーター(19)から構成される。フレクシャーボディー(17a)はフレクシャーメカニズムのための多数個のホール(17b)と、第1及び第2設置ホール(17c,17d)が形成される。前記第1設置ホール(17c)の上側には第2格子(18)が設置されて、第2設置ホール(17d)にはPZTアクチュエーター(19)が挿設される。
【0017】
前記フレクシャーボディー(17a)にはPZTアクチュエーター(19)によって収縮/膨張して第2格子(18)を矢印(D)方向に直線移動させるようにフレクシャーメカニズムのための多数個のホール(17b)が設置される。また、フレクシャーボディー(17a)の中央と一側にはそれぞれ第2格子(18)と PZTアクチュエーター(19)を設置するための第1及び第2設置ホール(17c,17d)が設置される。第1設置ホール(17c)の上側には、グラス基板(18a)上にクロムパターン(18b)が形成された第2格子(18)が設置される。前記第2格子(18)に照射された光は第2格子(18)を透過した後、第1設置ホール(17c)を透過して測定物体(1)の表面に照射することになる。
【0018】
投影部(10)で発生された光を測定物体(1)の表面に透過させる第2格子(18)を直線移送させるために第2設置ホール(17d)にはフィードバックセンサー(図示せず)が具備されたPZTアクチュエーター(19)が挿設される。 PZTアクチュエーター(19)で駆動力が発生されるとフレクシャーボディー(17a)を収縮/膨張させて第2格子(18)を図2aに示された矢印(D)方向に直線移動させて、3次元形状測定の際N―バケットアルゴリズムが適用される場合に第1格子(12)と同一に第2格子(18)はN回移送される。
【0019】
このようにフレクシャーステージ(17)によって移送される第2格子(18)を通じて透過された光は測定物体(1)の表面に照射された後反射され結像部(20)に照射される。
【0020】
測定物体(1)の表面で反射される光を照射される結像部(20)は図1に示されたように、投影部(10)及びプリズム部(30)と同一の高さで並んで同軸上に設置され測定物体(1)で反射される光を感知するために結像レンズ(21)、カメラ(22)及び第2フィルタ(23)から構成される。結像レンズ(21)はプリズム部(30)から正反射される光を第2フィルタ(23)を通じて濾過させて照射される。結像レンズ(21)に照射された光はカメラ(22)で撮影される。前記カメラ(22)は3次元形状測定の際、N―バケットアルゴリズムが適用される場合に測定物体(1)の表面でN回反射される光をプリズム部(30)を通じて照射されてN回を撮影することになる。前記カメラ(22)によってN回撮影された測定物体(1)のイメージはイメージ処理部(図示せず)及び制御部(図示せず)を通じて位相を算出する情報で使用されて、このような位相情報を用いて測定物体(1)の3次元形状を算出することになる。
【0021】
前記プリズム部(30)はプリズム組立体(31)及び第2直線移送機構(32)からなる。前記プリズム部(30)は投影部(10)を経由した光を第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて測定物体(1)の表面に入射させて、測定物体(1)の表面で反射された光は第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて正反射されるとその光を結像部(20)に入射させるように構成されている。前記プリズム部(30)の両側には第1及び第2ミラー部(40,50)が設置される。
【0022】
前記プリズム組立体(31)は図3に示されたように、第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)からなり、それぞれ外側又は内側表面に光を正反射させることができる正反射面(図示せず)が形成される。
【0023】
前記第1プリズムミラー(31a)は投影部(10)で発生される光を第1ミラー部(40)に正反射させて、第2プリズムミラー(31b)は第2ミラー部(50)を通じて反射される光を受けて結像部(20)に正反射させる。そして、第3プリズムミラー(31c)は投影部(10)で発生される光を第2ミラー部(50)に正反射させて、第4プリズムミラー(31d)は第1ミラー部(40)を通じて反射される光を結像部(20)に正反射させる。
【0024】
第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)はそれぞれ光を正反射させるためにそれぞれの第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)の断面を直角二等辺三角形で形成して、断面が直角二等辺三角形からなる第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)に光を透過させる際、直角をなす二つの線分のうちいずれか一つの線分からなる面に光を透過させた後斜面(inclined plane)で正反射されるように設置される。
【0025】
斜面を通じて光を正反射させるプリズム組立体(31)を組立する方法を説明すると次の通りである。まず、第1プリズムミラー(31a)の斜面と第2プリズムミラー(31b)の斜面を接着剤を用いて接合させて組立して、第3プリズムミラー(31c)の斜面と第4プリズムミラー(31d)の斜面を接着剤を用いて 接合させて組立する。第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)と第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)の斜面がそれぞれ接着剤で接合されると、 第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)の下側面と第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)の上側面を接着剤で接合させてプリズム組立体(31)を組立する。そして、前記プリズム組立体(31)は第2直線移送機構(32)によって垂直方向に移送される。
【0026】
第2直線移送機構(32)は図1に示されたように、プリズム組立体(31)の第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)が投影部(10)と結像部(20)の間に整列され投影部(10)で発生された光が測定物体(1)の表面に正反射された後結像部(20)に正反射され測定作業が完了されると、プリズム組立体(31)を垂直方向に直線移送させて投影部(10)と結像部(20)の間に第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を位置させる。
【0027】
前記第2直線移送機構(32)は連結部材(32a)、第2移動ブロック(32b)、第2LMガイド(32c)及び第2アクチュエーター(32d)から構成される。
【0028】
前記連結部材(32a)は投影部(10)で発生された光を透過することができるように透過ホール(32e)が形成される。前記透過ホール(32e)が形成された部分にプリズム組立体(31)が設置されて、連結部材(32a)の一側には第2移動ブロック(32b)が設置される。前記第2移動ブロック(32b)は第2LMガイド(32c)によってガイドされ垂直方向に直線移動されるように第2LMガイド(32c)に設置される。第2LMガイド(32c)に設置された第2移動ブロック(32b)を第2LMガイド(32c)に沿って直線移動させるために第2アクチュエーター(32d)が第2移動ブロック(32b)に設置される。前記第2アクチュエーター(32d)は空圧シリンダとボールスクリュー移送機構のうちいずれか一つが選択され適用される。
【0029】
第2アクチュエーター(32d)によって第2LMガイド(32c)に沿って直線移動される第2移動ブロック(32b)によって垂直方向に移動されるプリズム組立体(31)で正反射される光を測定物体(1)の表面に正反射させるか又は反射される光をプリズム組立体(31)に反射させるために図1に示されたようにプリズム部(30)の両側にそれぞれ第1及び第2ミラー部(40,50)が設置される。
【0030】
第1ミラー部(40)はそれぞれプリズム部(30)のプリズム組立体(31)から正反射される光を受けて測定物体(1)の表面に入射させるか又は測定物体(1)の表面で反射される光をプリズム部(30)のプリズム組立体(31)に反射させるために第1ミラー(41)と第3フィルタ(42)から構成される。
【0031】
第1ミラー(41)は投影部(10)で発生された光がプリズム組立体(31)で反射されるとこれを測定物体(1)の表面に照射するか測定物体(1)の表面で反射される光をプリズム組立体(31)に反射させるために斜めに設置されて、第3フィルタ(42)は光信号の雑音対信号比を改善させるためにプリズム部(30)のプリズム組立体(31)と第1ミラー(41)の間に設置される。
【0032】
第2ミラー部(50)は第2ミラー(51)と第4フィルタ(52)から構成されて、第1ミラー部(40)と同一の構成及び作用をするのでその詳細な説明は省略する。単に第4フィルタ(52)はプリズム部(30)のプリズム組立体(31)と第2ミラー(51)の間に設置されて、第1及び第2ミラー部(40,50)にそれぞれ設置される第3及び第4フィルタ(42,52)又は投影部(10)と結像部(20)にそれぞれ設置される第1及び第2フィルタ(15,23)はそれぞれバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つを選択して適用することができる。
【0033】
以上のように構成された本発明の3次元形状測定装置の作用を図1、図4a、図4b、図5a及び図5bを用いて説明すると次の通りである。
【0034】
まず、図1に示された検査テーブル(1a)に位置した測定物体(1)の表面を測定するために先にプリズム組立体(31)の第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置するように第2直線移送機構(32)によって直線移送させる。
【0035】
第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させることによって、投影部(10)で発生された光は連結部材(32a)の透過ホール(32e)を通じてプリズム組立体(31)の第1プリズムミラー(31a)に照射された後第1プリズムミラー(31a)によって光が正反射されて第1ミラー部(40)に照射される。第1ミラー部(40)は照射された光を反射させて測定物体(1)の表面に照射して、測定物体(1)の表面で反射される光は第2ミラー部(50)に照射される。第2ミラー部(50)は照射された光を反射させてプリズム組立体(31)の第2プリズムミラー(31b)に照射する。第2プリズムミラー(31b)は照射された光を正反射させて結像部(20)に照射して、結像部(20)は照射された光を撮影して測定物体(1)の一側を検査する。即ち、投影部(10)で発生された光を図4a及び図5aに示された矢印(a)方向に循環させて測定物体(1)の表面の一側を撮影して検査することになる。
【0036】
測定物体(1)の一側の検査作業が完了されると第2直線移送機構(32)によってプリズム組立体(31)を図1及び図5bに示されたように垂直方向に直線移送させて第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させる。
【0037】
第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させることによって投影部(10)で発生された光は第3プリズムミラー(31c)によって正反射され第2ミラー部(50)に照射される。第2ミラー部(50)は照射された光を測定物体(1)の表面に反射させて、測定物体(1)の表面で反射される光は第1ミラー部(40)で反射された後第4プリズムミラー(31d)に照射される。第4プリズムミラー(31d)は照射された光を正反射させて結像部(20)に照射して、結像部(20)は照射された光を撮影して測定物体(1)の表面を検査することになる。即ち、図4b及び図5bに示されたように投影部(10)で発生された光を図4a及び図5aに示された矢印(a)の逆方向である矢印(b)の方向に逆循環させて測定物体(1)の表面の他側を検査することになる。
【0038】
測定物体(1)の表面の一側と他側を交互に検査して影を除去すると共に測定物体(1)の表面で反射される光を検査するために適用される本発明のプリズム部(30)の第2実施例を添付された図面を用いて説明すると次の通りである。
【0039】
図6a及び図6bに示された回転ミラー機構(60)は図1に示されたプリズム部(30)と同一の作用をすることができるように回転ミラー(61)と回転機構(62)から構成される。
【0040】
回転ミラー(61)はモータ(図示せず)のような回転機構(62)によって回転され投影部(10)で発生される光を受けて第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部(40,50)を通じて選択的に反射される光を受けて結像部(20)に正反射させる。
【0041】
例えば、回転機構(62)によって回転ミラー(61)が図6aに示されたように回転され停止されると結像部(10)で発生された光は回転ミラー(61)の一側面(61a)によって反射され第1ミラー部(40)に照射された後反射され測定物体(1:図1に図示)の表面に照射される。測定物体(1)の表面に照射された光は測定物体(1)の表面で反射された後第2ミラー部(50)に照射されて、第2ミラー部(50)に照射された光は回転ミラー(61)の他側面(61b)で正反射され結像部(20)に照射されて測定物体(1)の表面の一側を撮影して検査することになる。即ち、投影部(10)で発生された光を図6aに示された矢印(a)方向に循環させて測定物体(1)の表面の一側を検査する。
【0042】
測定物体(1)の表面の他側を検査するためには回転機構(62)によって回転ミラー(61)を時計回り方向に回転させて図6bのように位置させる。回転ミラー(61)が図6bのように位置されると投影部(10)で光を発生して、その光は回転ミラー(61)の一側面(61a)によって正反射され第2ミラー部(50)によって測定物体(1)の表面に照射される。測定物体(1)の表面に光が照射された後反射されるとその光は第1ミラー部(40)によって回転ミラー(61)の他側面(61b)に照射される。回転ミラー(61)の他側面(61b)に照射された光は回転ミラー(61)によって正反射され結像部(20)に照射され測定物体(1)の表面の他側面を撮影する。即ち、投影部(10)で発生された光を図6aに示された矢印(a)方向の逆方向である矢印(b)方向に逆循環させて測定物体(1)の表面の他側を撮影して測定物体(1)の3次元形状を測定することになる。
【0043】
以上のように本発明の3次元形状測定装置はプリズム部(30)や回転ミラー機構(60)を用いることによって測定物体(1)の3次元形状の測定の際影を除去すると共に測定物体(1)の表面で正反射される光を測定することができて3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明の第1実施例による3次元形状測定装置の構成を示した斜視図。
【図2a】図1の第1直線移送機構の他の実施例を示した平面図。
【図2b】図2aに示したフレクシャーステージのC−C線上を取った断面図。
【図3】図1に示したプリズム組立体の分解拡大斜視図。
【図4a】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面を検査する状態を示す平面図。
【図4b】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す平面図。
【図5a】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面を検査する状態を示す側面図。
【図5b】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す側面図。
【図6a】本発明の第2実施例による3次元形状測定装置で測定物体の表面の一側を検査する状態を示す平面図。
【図6b】本発明の第2実施例による3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す平面図。
【図7】従来の3次元形状測定装置の概略的な構成図。
【符号の説明】
【0045】
10…投影部、11…光源、12…第1格子、13…投影レンズ、14…第1直線移送機構、20…結像部、30…プリズム部、31…プリズム組立体、31a…第1プリズムミラー、31b…第2プリズムミラー、31c…第3プリズムミラー、31d…第4プリズムミラー、32…第2直線移送機構、40…第1ミラー部、50…第2ミラー部、60…回転ミラー機構。
【技術分野】
【0001】
本発明は、3次元形状測定装置に係るもので、より詳しくは3次元形状測定装置の光学系(optical system)の構成が簡単で、3次元形状測定の際に発生する影(shadow)を除去して正反射(specular refraction)される光だけを検査することができる3次元形状測定装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来の3次元形状測定装置は図7に示されたように、投影部(4)、ビームスプリッター(beam splitter)(5)及び結像部(6)でそれぞれ構成される第1及び第2検査部(2,3)からなる。前記投影部(4)は光源(4a)、格子(grating)(4b)、投影レンズ(4c)から構成されて、前記結像部(6)は結像レンズ(6a)及びカメラ(6b)から構成される。
【0003】
前記第1及び第2検査部(2,3)について説明すると次の通りである。
【0004】
第1検査部(2)の投影部(4)の光源(4a)から図7に示された矢印(A)方向に光が発生されると、発生された光は格子(4b)、第1検査部(2)に位置した投影レンズ(4c)及びビームスプリッター(5)を通過して測定物体(1)の表面に入射される。入射された光は測定物体(1)の表面で矢印(A)の方向に沿って反射された後、第2検査部(3)に位置されたビームスプリッター(5)及び結像レンズ(6a)を通過してカメラ(6b)に入射されてカメラ(6b)を通じて光イメージを感知して測定物体(1)の3次元形状を測定することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところが、前記のような従来の3次元形状測定装置は3次元形状の測定の際、影を除去するために第1検査部と第2検査部を対称となるように構成して、これら検査部はそれぞれ投影部、ビームスプリッター及び結像部を具備するので光学系の構成が非常に複雑な問題点がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は前記のような問題点を解決するためのもので、3次元形状の測定の際、影を除去すると共に測定物体の表面で正反射される光を測定することができる3次元形状測定装置を提供することにある。
【0007】
本発明の他の目的は3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成した3次元形状測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
このような目的を達成するための本発明の3次元形状測定装置は、光を発生させる投影部と、光を感知する結像部と、投影部と結像部の間に設置されるプリズム部と、プリズム部の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部で具備されて、プリズム部は投影部で発生された光を第1及び第2ミラー部に選択的に入射させて測定物体の表面に入射させて、測定物体の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部に入射させるように構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上説明したように、本発明の3次元形状測定装置は測定物体の表面を検査する際、影を除去すると共に反射される光を感知する際、簡単なプリズム部や回転ミラー機構を用いることによって3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成することができて3次元形状測定装置の製造費用を節減することができる利点を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0010】
以下、本発明の第1実施例を添付された図面を参照して説明すると次の通りである。
【0011】
本発明の3次元形状測定装置は図1に示されたように大きく投影部(10)と結像部(20)とプリズム部(30)と第1及び第2ミラー部(40,50)からなる。
【0012】
前記投影部(10)は光源(11)、第1格子(12)、投影レンズ(13)、第1直線移送機構(14)及び第1フィルタ(15)からなる。
【0013】
前記投影部(10)で、光源(11)は光を発生させて、第1格子(12)は光源(11)と投影レンズ(13)の間に設置され光源(11)から発生された光をモアレパターンによる光の形に変換させて透過させる。前記第1格子(12)は検査テーブル(1a)上に設置された測定物体(1)の3次元形状測定の際、第1直線移送機構(14)によってN―バケットアルゴリズムが適用される場合にN回移送され光をモアレパターンに変換させて透過させる。
【0014】
前記モアレパターンを有する光は投影レンズ(13)に照射されて、投影レンズ(13)は第1格子(12)とプリズム部(30)の間に設置され前記光を第1フィルタ(15)を通じて濾過させた後プリズム部(30)に入射させる。
【0015】
一方、前記第1格子(12)を垂直方向に移送させるために第1格子(12)の一側端には第1直線移送機構(14)が設置される。前記第1直線移送機構(14)は第1移動ブロック(14a)、第1LMガイド(14b)及び第1アクチュエーター(14c)から構成される。前記第1格子(12)は第1移動ブロック(14a)に設置されて、前記第1移動ブロック(14a)は第1LMガイド(14b)に設置され第1移動ブロック(14a)を直線移動の際ガイドする役割をすることになる。そして、第1アクチュエーター(14c)は第1移動ブロック(14a)に設置され第1移動ブロック(14a)を直線移動させるための駆動力を発生する。ここで、第1アクチュエーター(14c)はPZTアクチュエーター(piezoelectric actuator)が適用される。
【0016】
前記第1直線移送機構(14)の他の実施例は図2a及び図2bに示されたフレクシャーステージ(flexure stage)(17)を適用することができる。前記フレクシャーステージ(17)はフレクシャーボディー(17a)、第2格子(18)及びPZTアクチュエーター(19)から構成される。フレクシャーボディー(17a)はフレクシャーメカニズムのための多数個のホール(17b)と、第1及び第2設置ホール(17c,17d)が形成される。前記第1設置ホール(17c)の上側には第2格子(18)が設置されて、第2設置ホール(17d)にはPZTアクチュエーター(19)が挿設される。
【0017】
前記フレクシャーボディー(17a)にはPZTアクチュエーター(19)によって収縮/膨張して第2格子(18)を矢印(D)方向に直線移動させるようにフレクシャーメカニズムのための多数個のホール(17b)が設置される。また、フレクシャーボディー(17a)の中央と一側にはそれぞれ第2格子(18)と PZTアクチュエーター(19)を設置するための第1及び第2設置ホール(17c,17d)が設置される。第1設置ホール(17c)の上側には、グラス基板(18a)上にクロムパターン(18b)が形成された第2格子(18)が設置される。前記第2格子(18)に照射された光は第2格子(18)を透過した後、第1設置ホール(17c)を透過して測定物体(1)の表面に照射することになる。
【0018】
投影部(10)で発生された光を測定物体(1)の表面に透過させる第2格子(18)を直線移送させるために第2設置ホール(17d)にはフィードバックセンサー(図示せず)が具備されたPZTアクチュエーター(19)が挿設される。 PZTアクチュエーター(19)で駆動力が発生されるとフレクシャーボディー(17a)を収縮/膨張させて第2格子(18)を図2aに示された矢印(D)方向に直線移動させて、3次元形状測定の際N―バケットアルゴリズムが適用される場合に第1格子(12)と同一に第2格子(18)はN回移送される。
【0019】
このようにフレクシャーステージ(17)によって移送される第2格子(18)を通じて透過された光は測定物体(1)の表面に照射された後反射され結像部(20)に照射される。
【0020】
測定物体(1)の表面で反射される光を照射される結像部(20)は図1に示されたように、投影部(10)及びプリズム部(30)と同一の高さで並んで同軸上に設置され測定物体(1)で反射される光を感知するために結像レンズ(21)、カメラ(22)及び第2フィルタ(23)から構成される。結像レンズ(21)はプリズム部(30)から正反射される光を第2フィルタ(23)を通じて濾過させて照射される。結像レンズ(21)に照射された光はカメラ(22)で撮影される。前記カメラ(22)は3次元形状測定の際、N―バケットアルゴリズムが適用される場合に測定物体(1)の表面でN回反射される光をプリズム部(30)を通じて照射されてN回を撮影することになる。前記カメラ(22)によってN回撮影された測定物体(1)のイメージはイメージ処理部(図示せず)及び制御部(図示せず)を通じて位相を算出する情報で使用されて、このような位相情報を用いて測定物体(1)の3次元形状を算出することになる。
【0021】
前記プリズム部(30)はプリズム組立体(31)及び第2直線移送機構(32)からなる。前記プリズム部(30)は投影部(10)を経由した光を第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて測定物体(1)の表面に入射させて、測定物体(1)の表面で反射された光は第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に入射させて正反射されるとその光を結像部(20)に入射させるように構成されている。前記プリズム部(30)の両側には第1及び第2ミラー部(40,50)が設置される。
【0022】
前記プリズム組立体(31)は図3に示されたように、第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)からなり、それぞれ外側又は内側表面に光を正反射させることができる正反射面(図示せず)が形成される。
【0023】
前記第1プリズムミラー(31a)は投影部(10)で発生される光を第1ミラー部(40)に正反射させて、第2プリズムミラー(31b)は第2ミラー部(50)を通じて反射される光を受けて結像部(20)に正反射させる。そして、第3プリズムミラー(31c)は投影部(10)で発生される光を第2ミラー部(50)に正反射させて、第4プリズムミラー(31d)は第1ミラー部(40)を通じて反射される光を結像部(20)に正反射させる。
【0024】
第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)はそれぞれ光を正反射させるためにそれぞれの第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)の断面を直角二等辺三角形で形成して、断面が直角二等辺三角形からなる第1乃至第4プリズムミラー(31a,31b,31c,31d)に光を透過させる際、直角をなす二つの線分のうちいずれか一つの線分からなる面に光を透過させた後斜面(inclined plane)で正反射されるように設置される。
【0025】
斜面を通じて光を正反射させるプリズム組立体(31)を組立する方法を説明すると次の通りである。まず、第1プリズムミラー(31a)の斜面と第2プリズムミラー(31b)の斜面を接着剤を用いて接合させて組立して、第3プリズムミラー(31c)の斜面と第4プリズムミラー(31d)の斜面を接着剤を用いて 接合させて組立する。第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)と第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)の斜面がそれぞれ接着剤で接合されると、 第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)の下側面と第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)の上側面を接着剤で接合させてプリズム組立体(31)を組立する。そして、前記プリズム組立体(31)は第2直線移送機構(32)によって垂直方向に移送される。
【0026】
第2直線移送機構(32)は図1に示されたように、プリズム組立体(31)の第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)が投影部(10)と結像部(20)の間に整列され投影部(10)で発生された光が測定物体(1)の表面に正反射された後結像部(20)に正反射され測定作業が完了されると、プリズム組立体(31)を垂直方向に直線移送させて投影部(10)と結像部(20)の間に第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を位置させる。
【0027】
前記第2直線移送機構(32)は連結部材(32a)、第2移動ブロック(32b)、第2LMガイド(32c)及び第2アクチュエーター(32d)から構成される。
【0028】
前記連結部材(32a)は投影部(10)で発生された光を透過することができるように透過ホール(32e)が形成される。前記透過ホール(32e)が形成された部分にプリズム組立体(31)が設置されて、連結部材(32a)の一側には第2移動ブロック(32b)が設置される。前記第2移動ブロック(32b)は第2LMガイド(32c)によってガイドされ垂直方向に直線移動されるように第2LMガイド(32c)に設置される。第2LMガイド(32c)に設置された第2移動ブロック(32b)を第2LMガイド(32c)に沿って直線移動させるために第2アクチュエーター(32d)が第2移動ブロック(32b)に設置される。前記第2アクチュエーター(32d)は空圧シリンダとボールスクリュー移送機構のうちいずれか一つが選択され適用される。
【0029】
第2アクチュエーター(32d)によって第2LMガイド(32c)に沿って直線移動される第2移動ブロック(32b)によって垂直方向に移動されるプリズム組立体(31)で正反射される光を測定物体(1)の表面に正反射させるか又は反射される光をプリズム組立体(31)に反射させるために図1に示されたようにプリズム部(30)の両側にそれぞれ第1及び第2ミラー部(40,50)が設置される。
【0030】
第1ミラー部(40)はそれぞれプリズム部(30)のプリズム組立体(31)から正反射される光を受けて測定物体(1)の表面に入射させるか又は測定物体(1)の表面で反射される光をプリズム部(30)のプリズム組立体(31)に反射させるために第1ミラー(41)と第3フィルタ(42)から構成される。
【0031】
第1ミラー(41)は投影部(10)で発生された光がプリズム組立体(31)で反射されるとこれを測定物体(1)の表面に照射するか測定物体(1)の表面で反射される光をプリズム組立体(31)に反射させるために斜めに設置されて、第3フィルタ(42)は光信号の雑音対信号比を改善させるためにプリズム部(30)のプリズム組立体(31)と第1ミラー(41)の間に設置される。
【0032】
第2ミラー部(50)は第2ミラー(51)と第4フィルタ(52)から構成されて、第1ミラー部(40)と同一の構成及び作用をするのでその詳細な説明は省略する。単に第4フィルタ(52)はプリズム部(30)のプリズム組立体(31)と第2ミラー(51)の間に設置されて、第1及び第2ミラー部(40,50)にそれぞれ設置される第3及び第4フィルタ(42,52)又は投影部(10)と結像部(20)にそれぞれ設置される第1及び第2フィルタ(15,23)はそれぞれバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つを選択して適用することができる。
【0033】
以上のように構成された本発明の3次元形状測定装置の作用を図1、図4a、図4b、図5a及び図5bを用いて説明すると次の通りである。
【0034】
まず、図1に示された検査テーブル(1a)に位置した測定物体(1)の表面を測定するために先にプリズム組立体(31)の第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置するように第2直線移送機構(32)によって直線移送させる。
【0035】
第1及び第2プリズムミラー(31a,31b)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させることによって、投影部(10)で発生された光は連結部材(32a)の透過ホール(32e)を通じてプリズム組立体(31)の第1プリズムミラー(31a)に照射された後第1プリズムミラー(31a)によって光が正反射されて第1ミラー部(40)に照射される。第1ミラー部(40)は照射された光を反射させて測定物体(1)の表面に照射して、測定物体(1)の表面で反射される光は第2ミラー部(50)に照射される。第2ミラー部(50)は照射された光を反射させてプリズム組立体(31)の第2プリズムミラー(31b)に照射する。第2プリズムミラー(31b)は照射された光を正反射させて結像部(20)に照射して、結像部(20)は照射された光を撮影して測定物体(1)の一側を検査する。即ち、投影部(10)で発生された光を図4a及び図5aに示された矢印(a)方向に循環させて測定物体(1)の表面の一側を撮影して検査することになる。
【0036】
測定物体(1)の一側の検査作業が完了されると第2直線移送機構(32)によってプリズム組立体(31)を図1及び図5bに示されたように垂直方向に直線移送させて第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させる。
【0037】
第3及び第4プリズムミラー(31c,31d)を投影部(10)と結像部(20)の間に位置させることによって投影部(10)で発生された光は第3プリズムミラー(31c)によって正反射され第2ミラー部(50)に照射される。第2ミラー部(50)は照射された光を測定物体(1)の表面に反射させて、測定物体(1)の表面で反射される光は第1ミラー部(40)で反射された後第4プリズムミラー(31d)に照射される。第4プリズムミラー(31d)は照射された光を正反射させて結像部(20)に照射して、結像部(20)は照射された光を撮影して測定物体(1)の表面を検査することになる。即ち、図4b及び図5bに示されたように投影部(10)で発生された光を図4a及び図5aに示された矢印(a)の逆方向である矢印(b)の方向に逆循環させて測定物体(1)の表面の他側を検査することになる。
【0038】
測定物体(1)の表面の一側と他側を交互に検査して影を除去すると共に測定物体(1)の表面で反射される光を検査するために適用される本発明のプリズム部(30)の第2実施例を添付された図面を用いて説明すると次の通りである。
【0039】
図6a及び図6bに示された回転ミラー機構(60)は図1に示されたプリズム部(30)と同一の作用をすることができるように回転ミラー(61)と回転機構(62)から構成される。
【0040】
回転ミラー(61)はモータ(図示せず)のような回転機構(62)によって回転され投影部(10)で発生される光を受けて第1及び第2ミラー部(40,50)に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部(40,50)を通じて選択的に反射される光を受けて結像部(20)に正反射させる。
【0041】
例えば、回転機構(62)によって回転ミラー(61)が図6aに示されたように回転され停止されると結像部(10)で発生された光は回転ミラー(61)の一側面(61a)によって反射され第1ミラー部(40)に照射された後反射され測定物体(1:図1に図示)の表面に照射される。測定物体(1)の表面に照射された光は測定物体(1)の表面で反射された後第2ミラー部(50)に照射されて、第2ミラー部(50)に照射された光は回転ミラー(61)の他側面(61b)で正反射され結像部(20)に照射されて測定物体(1)の表面の一側を撮影して検査することになる。即ち、投影部(10)で発生された光を図6aに示された矢印(a)方向に循環させて測定物体(1)の表面の一側を検査する。
【0042】
測定物体(1)の表面の他側を検査するためには回転機構(62)によって回転ミラー(61)を時計回り方向に回転させて図6bのように位置させる。回転ミラー(61)が図6bのように位置されると投影部(10)で光を発生して、その光は回転ミラー(61)の一側面(61a)によって正反射され第2ミラー部(50)によって測定物体(1)の表面に照射される。測定物体(1)の表面に光が照射された後反射されるとその光は第1ミラー部(40)によって回転ミラー(61)の他側面(61b)に照射される。回転ミラー(61)の他側面(61b)に照射された光は回転ミラー(61)によって正反射され結像部(20)に照射され測定物体(1)の表面の他側面を撮影する。即ち、投影部(10)で発生された光を図6aに示された矢印(a)方向の逆方向である矢印(b)方向に逆循環させて測定物体(1)の表面の他側を撮影して測定物体(1)の3次元形状を測定することになる。
【0043】
以上のように本発明の3次元形状測定装置はプリズム部(30)や回転ミラー機構(60)を用いることによって測定物体(1)の3次元形状の測定の際影を除去すると共に測定物体(1)の表面で正反射される光を測定することができて3次元形状測定装置の光学系を簡単に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明の第1実施例による3次元形状測定装置の構成を示した斜視図。
【図2a】図1の第1直線移送機構の他の実施例を示した平面図。
【図2b】図2aに示したフレクシャーステージのC−C線上を取った断面図。
【図3】図1に示したプリズム組立体の分解拡大斜視図。
【図4a】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面を検査する状態を示す平面図。
【図4b】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す平面図。
【図5a】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面を検査する状態を示す側面図。
【図5b】図1に示した3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す側面図。
【図6a】本発明の第2実施例による3次元形状測定装置で測定物体の表面の一側を検査する状態を示す平面図。
【図6b】本発明の第2実施例による3次元形状測定装置で測定物体の表面の他側を検査する状態を示す平面図。
【図7】従来の3次元形状測定装置の概略的な構成図。
【符号の説明】
【0045】
10…投影部、11…光源、12…第1格子、13…投影レンズ、14…第1直線移送機構、20…結像部、30…プリズム部、31…プリズム組立体、31a…第1プリズムミラー、31b…第2プリズムミラー、31c…第3プリズムミラー、31d…第4プリズムミラー、32…第2直線移送機構、40…第1ミラー部、50…第2ミラー部、60…回転ミラー機構。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光を発生させる投影部と、
光を感知する結像部と、
前記投影部と前記結像部の間に設置されるプリズム部と、
前記プリズム部の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部で具備されて、
前記プリズム部は前記投影部で発生された光を前記第1及び第2ミラー部に選択的に入射させて測定物体の表面に入射させて、測定物体の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部に選択的に入射されて正反射されるとその光を前記結像部に入射させることを特徴とする3次元形状測定装置。
【請求項2】
前記投影部は光を発生させる光源と、
前記光源から発生された光をモアレパターンによる光に変換させて透過させる第1格子と、
前記第1格子を透過した光を前記プリズム部に入射させる投影レンズと、
前記投影レンズを通じて照射される光を濾過させて前記プリズム部に照射させる第1フィルタと、
前記第1格子を移送させる第1直線移送機構で具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項3】
前記第1直線移送機構は前記第1格子が設置される第1移動ブロックと、
前記移動ブロックをガイドする第1LMガイドと、
前記第1移動ブロックを前記第1LMガイドに沿って直線移動させる第1アクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項4】
前記第1アクチュエーターはPZTアクチュエーターが適用されることを特徴とする請求項3に記載の3次元形状測定装置。
【請求項5】
前記第1直線移送機構はフレクシャーステージが適用されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項6】
前記フレクシャーステージは第1及び第2設置ホールが形成されたフレクシャーボディーと、
前記フレクシャーボディーに形成された前記第1設置ホールの上側に設置される第2格子と、
前記フレクシャーボディーに形成された前記第2設置ホールに挿設されるPZTアクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項5に記載の3次元形状測定装置。
【請求項7】
前記第1フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項8】
前記結像部は前記プリズム部から正反射される光を濾過させて透過させる第2フィルタと、
前記第2フィルタを通じて濾過された光を照射されて透過させる結像レンズと、
前記結像レンズを透過した光を感知するカメラで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項9】
前記第2フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項8に記載の3次元形状測定装置。
【請求項10】
前記プリズム部は前記投影部で発生される光を入射されて前記第1及び第2ミラー部に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部を通じて選択的に反射される光を受けて前記結像部に正反射するプリズム組立体と、
前記プリズム組立体を垂直方向に直線移動させる第2直線移送機構で具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項11】
前記プリズム組立体は前記投影部で発生される光を前記第1ミラー部に正反射させる第1プリズムミラーと、
前記第2ミラー部を通じて反射される光を受けて前記結像部に正反射させる第2プリズムミラーと、
前記投影部で発生される光を前記第2ミラー部に正反射させる第3プリズムミラーと、
前記第1ミラー部を通じて反射される光を受けて前記結像部に正反射させる第4プリズムミラーで具備されることを特徴とする請求項10に記載の3次元形状測定装置。
【請求項12】
前記第2直線移送機構は前記プリズム組立体が一側に設置され、前記投影部で発生された光を透過することができるように透過ホールを形成した連結部材と、
前記連結部材の一側に設置される第2移動ブロックと、
前記第2移動ブロックをガイドする第2LMガイドと、
前記第2移動ブロックを前記第2LMガイドに沿って直線移動させる第2アクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項10に記載の3次元形状測定装置。
【請求項13】
前記第2アクチュエーターは空圧シリンダとボールスクリュー移送機構のうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項12に記載の3次元形状測定装置。
【請求項14】
前記プリズム部は回転ミラー機構が適用されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項15】
前記回転ミラー機構は前記投影部で発生される光を入射されて前記第1及び第2ミラー部に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部を通じて選択的に反射される光を受けて前記結像部に正反射する回転ミラーと、
前記回転ミラーを回転させる回転機構で具備されることを特徴とする請求項14に記載の3次元形状測定装置。
【請求項16】
前記第1ミラー部はそれぞれ前記プリズム部から正反射される光を受けて測定物体の表面に入射させるか又は測定物体の表面で反射される光を前記プリズム部に反射させる第1ミラーと、
前記プリズム部と前記第1ミラーの間に設置される第3フィルタで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項17】
前記第3フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項16に記載の3次元形状測定装置。
【請求項18】
前記第2ミラー部はそれぞれ前記プリズム部から正反射される光を受けて測定物体の表面に入射させるか又は測定物体の表面で反射される光を前記プリズム部に反射させる第2ミラーと、
前記プリズム部と前記第2ミラーの間に設置される第4フィルタで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項19】
前記第4フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項18に記載の3次元形状測定装置。
【請求項1】
光を発生させる投影部と、
光を感知する結像部と、
前記投影部と前記結像部の間に設置されるプリズム部と、
前記プリズム部の両側にそれぞれ設置される第1及び第2ミラー部で具備されて、
前記プリズム部は前記投影部で発生された光を前記第1及び第2ミラー部に選択的に入射させて測定物体の表面に入射させて、測定物体の表面で反射された光が第1及び第2ミラー部に選択的に入射されて正反射されるとその光を前記結像部に入射させることを特徴とする3次元形状測定装置。
【請求項2】
前記投影部は光を発生させる光源と、
前記光源から発生された光をモアレパターンによる光に変換させて透過させる第1格子と、
前記第1格子を透過した光を前記プリズム部に入射させる投影レンズと、
前記投影レンズを通じて照射される光を濾過させて前記プリズム部に照射させる第1フィルタと、
前記第1格子を移送させる第1直線移送機構で具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項3】
前記第1直線移送機構は前記第1格子が設置される第1移動ブロックと、
前記移動ブロックをガイドする第1LMガイドと、
前記第1移動ブロックを前記第1LMガイドに沿って直線移動させる第1アクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項4】
前記第1アクチュエーターはPZTアクチュエーターが適用されることを特徴とする請求項3に記載の3次元形状測定装置。
【請求項5】
前記第1直線移送機構はフレクシャーステージが適用されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項6】
前記フレクシャーステージは第1及び第2設置ホールが形成されたフレクシャーボディーと、
前記フレクシャーボディーに形成された前記第1設置ホールの上側に設置される第2格子と、
前記フレクシャーボディーに形成された前記第2設置ホールに挿設されるPZTアクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項5に記載の3次元形状測定装置。
【請求項7】
前記第1フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項2に記載の3次元形状測定装置。
【請求項8】
前記結像部は前記プリズム部から正反射される光を濾過させて透過させる第2フィルタと、
前記第2フィルタを通じて濾過された光を照射されて透過させる結像レンズと、
前記結像レンズを透過した光を感知するカメラで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項9】
前記第2フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項8に記載の3次元形状測定装置。
【請求項10】
前記プリズム部は前記投影部で発生される光を入射されて前記第1及び第2ミラー部に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部を通じて選択的に反射される光を受けて前記結像部に正反射するプリズム組立体と、
前記プリズム組立体を垂直方向に直線移動させる第2直線移送機構で具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項11】
前記プリズム組立体は前記投影部で発生される光を前記第1ミラー部に正反射させる第1プリズムミラーと、
前記第2ミラー部を通じて反射される光を受けて前記結像部に正反射させる第2プリズムミラーと、
前記投影部で発生される光を前記第2ミラー部に正反射させる第3プリズムミラーと、
前記第1ミラー部を通じて反射される光を受けて前記結像部に正反射させる第4プリズムミラーで具備されることを特徴とする請求項10に記載の3次元形状測定装置。
【請求項12】
前記第2直線移送機構は前記プリズム組立体が一側に設置され、前記投影部で発生された光を透過することができるように透過ホールを形成した連結部材と、
前記連結部材の一側に設置される第2移動ブロックと、
前記第2移動ブロックをガイドする第2LMガイドと、
前記第2移動ブロックを前記第2LMガイドに沿って直線移動させる第2アクチュエーターで具備されることを特徴とする請求項10に記載の3次元形状測定装置。
【請求項13】
前記第2アクチュエーターは空圧シリンダとボールスクリュー移送機構のうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項12に記載の3次元形状測定装置。
【請求項14】
前記プリズム部は回転ミラー機構が適用されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項15】
前記回転ミラー機構は前記投影部で発生される光を入射されて前記第1及び第2ミラー部に選択的に照射して、第1及び第2ミラー部を通じて選択的に反射される光を受けて前記結像部に正反射する回転ミラーと、
前記回転ミラーを回転させる回転機構で具備されることを特徴とする請求項14に記載の3次元形状測定装置。
【請求項16】
前記第1ミラー部はそれぞれ前記プリズム部から正反射される光を受けて測定物体の表面に入射させるか又は測定物体の表面で反射される光を前記プリズム部に反射させる第1ミラーと、
前記プリズム部と前記第1ミラーの間に設置される第3フィルタで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項17】
前記第3フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項16に記載の3次元形状測定装置。
【請求項18】
前記第2ミラー部はそれぞれ前記プリズム部から正反射される光を受けて測定物体の表面に入射させるか又は測定物体の表面で反射される光を前記プリズム部に反射させる第2ミラーと、
前記プリズム部と前記第2ミラーの間に設置される第4フィルタで具備されることを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。
【請求項19】
前記第4フィルタはバンドパスフィルタやカットオフフィルタのうちいずれか一つが選択され適用されることを特徴とする請求項18に記載の3次元形状測定装置。
【図1】
【図2a】
【図2b】
【図3】
【図4a】
【図4b】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【図7】
【図2a】
【図2b】
【図3】
【図4a】
【図4b】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【図7】
【公開番号】特開2007−256278(P2007−256278A)
【公開日】平成19年10月4日(2007.10.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−60313(P2007−60313)
【出願日】平成19年3月9日(2007.3.9)
【出願人】(506414749)コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド (37)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成19年10月4日(2007.10.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年3月9日(2007.3.9)
【出願人】(506414749)コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド (37)
【Fターム(参考)】
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