【課題】簡単な構造で容易に対象エリア、又は測定対象の画像が取得できると共に対象エリアの測定が行える画像測定装置を提供する。
【解決手段】投光光軸２６と照明光２９を射出する光源２７とを有し、前記投光光軸を経て前記照明光を投射する投光光学系５と、受光光軸１５と撮像素子１３とを有し、測定対象からの再帰反射光２９′を前記受光光軸を経て撮像素子で受光する受光光学系６と、前記撮像素子で撮像されたデータを処理する制御演算装置７とを具備し、前記投光光学系は前記投光光軸を測定対象に向け前記照明光を投射する投光ユニット２５と、該投光ユニットを高低方向、水平方向に回転し、前記照明光の投射角を変更する投射角変更手段２３，３３と、前記受光光軸に対する前記投光光軸の方向角を検出する方向検出手段２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】老朽化したコークス炉における炭化室の炉壁の変形状態（壁面の凹凸、窯幅の変化）を、炭化室内部に測定装置を入れることなく、炭化室外部から簡便に精度良く測定することができるコークス炉の炉壁診断方法およびコークス炉の炉壁補修方法を提供する。
【解決手段】炭化室１０の外側にレーザー式３次元形状測定装置２０を配置し、レーザー式３次元形状測定装置２０によって、蓋１２をとった状態の窯口１１から斜めにレーザー２１を照射して、炉壁（壁面）１３の形状を点群として測定する工程を、炭化室１０の左右の壁面１３ａ、１３ｂに対して独立して実施した後、左右を独立して測定した壁面の形状を、炭化室１０周辺の基準物２２を元に合成して、一つの形状データ（点群）にまとめて左右合成炉壁形状とし、その左右合成炉壁形状から左右の壁面間の距離（窯幅）を計算して、炉壁形状（壁面の凹凸、窯幅の変化）の診断を行う。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、柱状物体の空間情報を得るためには多くの労力と時間を要する、大量の柱状物体を漏れなく抽出することが難しい、あらかじめ柱状物体を認識しなければならない、といった問題を解決することであり、大量の計測データの中から、正確かつ短時間で、柱状物体を自動抽出する柱状物体抽出方法、柱状物体抽出プログラム、及び柱状物体抽出装置を提供することにある。
【解決手段】本願発明の柱状物体抽出方法は、計測点群から柱状物体を抽出する方法であり、計測点群からそれぞれ独立した領域ごとにセグメントデータを得るセグメンテーション工程と、細線化処理を行うことで立設物形状データを得る細線化工程と、主成分分析を行って固有値から算出される特徴量に基づいて形状分類を与える形状分類工程と、特徴量等に基づいて立設物の柱状判定を行う柱状物体判定工程を備える方法である。 （もっと読む）

【課題】地物表面の三次元形状を表す点群データに基づいて地物の壁面を自動的に検出する。
【解決手段】部分空間設定手段２０は解析の対象空間を垂直面で分割して、柱状の複数の部分空間を設定する。部分空間選択手段２２は部分空間のうち予め設定した閾値以上の高低差を有する点群を含むものを注目部分空間として選択する。ブロック空間設定手段２４は注目部分空間を水平面で分割して、縦に積み重なる複数のブロック空間を設定する。水平面内探索手段２６はブロック空間ごとに、水平面内の線分のうち、水平面に射影された点群が予め設定した基準以上に近傍に集まるものを探索して水平面内における壁面の位置と定める。 （もっと読む）

【課題】平坦でない路面上に存在する対象物の高さを正確に計算することができる計測装置、計測方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】センサ情報取得部２１は、基準位置から路面上の複数の点へ向けてレーザを射出し、当該レーザの反射光に基づいて、基準位置から当該レーザが反射された点である反射点までの距離を計測するレーザセンサから計測結果を取得する。路面高特定部２３は、記憶部２２が記憶する路面高情報に基づいて反射点それぞれにおける路面高を特定する。高さ算出部２９は、レーザセンサが算出したそれぞれの距離と路面高特定部２３が特定した路面高とに基づいて、路面から前記反射点までの長さを対象物の高さとして算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸に直交する２方向の光軸振れを高精度に測定する。
【解決手段】第１の偏光ビームスプリッタ４は、レーザ光源１から出射されたレーザ光２ａを、第１の直線偏光成分２ｂと第２の直線偏光成分２ｃとに分割する。光学系３は、第１の直線偏光成分２ｂの振れ方向と第２の直線偏光成分２ｃの振れ方向とが互いに直交するように第１の直線偏光成分２ｂ及び第２の直線偏光成分２ｃのうち少なくとも一方の直線偏光成分を光軸まわりに回転させて合成光とする。遮光部材８は、先端８ａを合成光に突出させて合成光の一部を遮光する。第２の偏光ビームスプリッタ９は、遮光部材８で遮光されずに通過した通過光を、第１の直線偏光成分２ｂと第２の直線偏光成分２ｃとに分割する。各受光素子１０ａ，１０ｂは、偏光ビームスプリッタ９で分割されたそれぞれの直線偏光成分の光量を測定する。演算部１２は、測定結果に基づきレーザ光２ａの振れ量を求める。 （もっと読む）

【課題】センサ等を物品内に挿入することなく当該物品の内径や外径を効率的に測定する。
【解決手段】回転テーブル１上に載置された物品２の内周面２１と、物品２の外に配設され回転テーブル１の回転軸１３からの距離が判明している校正面４ａとに、物品２の外に配設した二次元レーザ変位計３のスキャン線を位置させて、内周面２１と校正面４ａとの変位差を二次元レーザ変位計３にて測定し、上記距離と変位差に基づいて内周面２１の半径を算出する。二次元レーザ変位計３のレーザ射出点とスキャン線を含む面上に、回転テーブル１の回転軸１３が位置するように変位計３が配置されており、回転テーブル１を回転させて、内周面２１とこれと径方向対称位置にある他の内周面における各半径を算出して、これら半径の値を合計することで物品２の直径を算出する。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】計測システム全体の小型化及び軽量化を図るとともに、配管の取付位置を正確に特定することができる、レーザ計測用ターゲット治具及びレーザ計測システムを提供する。
【解決手段】第一フランジ１１に一端部２ａ及び中間部２ｂが固定される計測器用固定治具２と、第二フランジ１２に固定されるレーザ計測用ターゲット治具３と、計測器用固定治具２の他端部２ｃに固定されるレーザ計測器４と、第一フランジ１１及び第二フランジ１２の位置を算出する演算手段５と、を備え、レーザ計測用ターゲット治具３は、第二フランジ１２に配置される台座３１と、レーザ光を反射可能な表面３２ａを有し台座３１に表面の一部が突出するように固定された球体３２と、台座３１を第二フランジ１２に固定する固定手段３３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】三次元点群位置データの処理の途中経過を知ることができる技術を提供する。
【解決手段】三次元レーザースキャナが測定した三次元点群位置データ（Ｓ５０２）に基づき、解像度を段階的に変えた三次元モデルを作成する（Ｓ５０５）。この際、低解像度の三次元モデルの作成およびその表示（Ｓ５０６）、さらにその後に、ラベリングされたデータを引き継いで（Ｓ５０９）の高解像度の三次元モデルの作成およびその表示を行う。ここで、低解像度の三次元モデルの表示を行うことで、最終的な三次元モデルの完成の途中の段階をユーザが把握することができる。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 対物レンズ５７が、ガラス管Ｇに照射されるレーザ光を集光させて、その反射光を回折格子３５及びラインセンサ３６で受光してガラス管Ｇの厚さを測定する。対物レンズ５７をＸ軸線方向の焦点距離Ｆｘと、Ｙ軸線周りに回転するガルバノミラー５２から対物レンズ５７までの光学的距離ａと、対物レンズ５７からガラス管Ｇの表面までの光学的距離ｂとの関係が、(１／ａ)＋(１／ｂ)＝１／Ｆｘの関係になるようにする。レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸に垂直になるようにＹ軸線周り角度のサーボ制御を行っても、Ｘ軸線方向におけるレーザ光のガラス管Ｇへの照射位置を変化させないように１点に固定することができて、ガラス管ＧのＺ軸線周りの傾きの度合によりサーボが不安定になることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】トンネルの壁面がどの程度の高さの凹凸を持つかを知ることが可能な技術を提供することを目的とする。
【解決手段】展開図生成装置は、記憶装置１と、変換装置２と、照合装置３と、変位形状生成装置４と、描画装置５とを備える。変換装置２は、壁面４２の複数の計測点７を壁面４２の展開図に配置する座標変換を行う。変位形状生成装置４は、座標変換された複数の計測点７の座標に基づいて、壁面４２の展開平面１７に、当該展開平面１７に直交する方向の座標ｗの値を反映した凹凸形状が付与されてなる変位形状４１を生成する。描画手段５は、変位形状４１に、画像９のパターンを描画する。 （もっと読む）

【課題】エネルギ照射装置と２次元撮像装置を用いることで、種々の条件下で頑健に動作する対象物認識システムおよび見守りシステム、監視システムを提供する。
【解決手段】観測対象となる空間に向けて、所定の位置から照射方向を変えながら、エネルギを照射する照射手段と、照射手段で照射されたエネルギの反射エネルギを２次元的に感知し、対象となる空間を２次元的に撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像上の切断曲線の特徴を用いて対象物の認識を行う認識手段とを備える対象物認識システムおよび該システムを備える見守りシステム、監視システム。 （もっと読む）

【課題】ウエハの特性を決定するための方法とシステムを提供する。
【解決手段】検査システム１６を用い、ウエハからの光に対応する出力を生成することを含む。出力は、ウエハ上の欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力とを含む。また本方法は、第二出力を用い、ウエハの特性を決定することを含む。一つのシステム１６は、ウエハに光を当て、ウエハからの光に対応する出力を生成するように設定された検査サブシステムを備える。出力は、欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力を含む。また本システムは、第二出力を用い、ウエハの特性を決定するように設定されたプロセッサを備える。 （もっと読む）

【課題】 基準面に載った流動体が占める面積を測定する技術を提供する。
【解決手段】 流動体(20)が広がった所定の基準面(10)および前記流動体(20)の境目に対してポイント照射光を照射する照射ポインタ(70)と、 その照射ポインタ(70)によって照射される前記基準面(10)および前記流動体(20)の境目を連続撮影する連続撮影用カメラ(48)と、 その連続撮影用カメラ(48)の撮影領域に入るように固定された面積算出の基準となる面積基準体(80)と、 前記の連続撮影用カメラ(48)にて連続撮影された画像データにおける前記の面積基準体(80)および前記のポイント照射光がなぞった軌跡にて囲われた流動体(20)の面積を算出する面積算出手段と、を備える。 前記の照射ポインタ(70)が照射するポイント照射光は、前記の流動体(20)および前記の基準面(10)と明確に区別可能な色彩とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は集積回路、磁気ヘッド、磁気ディスク、太陽電池、光モジュール、発光ダイオード、液晶表示パネルなど基板上に発生した欠陥や異物の画像を撮像し、欠陥や異物を種類ごとに分類する欠陥分類装置において、撮像した画像に写っている欠陥の重要度を定量的に計算し、重要度の高い欠陥が写っている画像だけをデータベースに保存することで、ネットワーク負荷やデータベース負荷を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥座標データを入力し、画像撮像プログラム５０１にて画像を撮像し、特徴量抽出プログラム５０２にて撮像した画像から欠陥の特徴量を抽出し、欠陥分類プログラム５０３にて欠陥を種類別に分類し、重要度予測プログラム５０４にて欠陥毎に重要度を計算し、画像選別プログラム５０６にて重要度に基づいて画像をデータベースに伝送するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】単純な形状に限らず認識対象物を的確に抽出する。
【解決手段】形状認識装置１２０は、軸を有する３次元モデル１２２を示す３次元モデル情報を保持するモデル保持部２１０と、認識対象物１１２の３次元形状を示す認識対象情報を取得する認識対象情報取得部２３０と、認識対象情報と３次元モデル情報とに基づいて、認識対象物または３次元モデルを対称的に配置した２つの姿勢候補を示す姿勢候補情報を生成する姿勢候補情報生成部２３４と、認識対象物の姿勢候補情報と３次元モデル情報とに基づいて、または、認識対象情報と３次元モデルの姿勢候補情報とに基づいて認識対象物の位置および姿勢を特定する認識対象物特定部２３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】観察対象物の表面の断面曲線を正確でかつ高速に検出することが可能な共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】使用者が観察対象物Ｓの断面曲線データの取得範囲を指示する。ＣＰＵ２１０は、その指示に基づいてＸ方向に沿って連続的に並ぶ複数の帯状領域を設定するとともに、各帯状領域においてＸ方向に平行な複数の測定ライン上でレーザ光を走査することにより、複数の測定ラインに基づく画素データを制御部３００から取得する。ＣＰＵ２１０は、取得した複数の測定ラインの画素データに基づいて帯状領域の複数の断面曲線データを生成し、作業用メモリ２３０に記憶する。ＣＰＵ２１０は、複数の帯状領域の複数の測定ラインについて生成された断面曲線データをＸ方向に沿って連続する測定ラインごとに連結することにより、連結された複数の断面曲線データを得る。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）