【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置を正確に検出することができる高さ位置検出装置および高さ位置検出装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源８１と、強度分布を整形するNDフィルター８３と、集光して被加工物Ｗに照射する集光器７と、第１の経路と第２の経路に導く第1のビームスプリッター８４と、第３の経路と第４の経路に分光する第２のビームスプリッター８６と、第３の経路に分光された反射光を受光する第1のホトデテクター８８ａと、第４の経路の反射光を帯状に通過させるスリット８９１を備えたマスク８９と、マスクを通過した反射光を受光する第２のホトデテクター８８ｂと、第1のホトデテクターによって受光した光量と第２のホトデテクターによって受光した光量との比率を求め、比率に基づいてチャックテーブル３６に保持された被加工物の高さ位置を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のアライメント調整工程では着弾位置２５１をカメラ２０５で捕捉し着弾位置２５１がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド２０１を相対的に移動する。第２のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ２０５で捕捉し照射跡がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第３のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段２０５で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段２０５の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム１は、ガイドレールＲｘ，Ｒｙに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体ＯＢＪに対する照明方向を変化させる照明装置３０と、物体ＯＢＪを撮影する撮影装置４０と、撮影装置４０によって撮影された画像に基づいて物体ＯＢＪの表面の面法線を計測する面法線計測装置１０とを備える。面法線計測装置１０は、物体ＯＢＪの画像を２値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体ＯＢＪの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。
【解決手段】三次元画像取得装置１０は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ１３の被計測体１５側の光軸と交差するよう配設された平行平板形の部材を有し、光軸と垂直な面に対する平行平板形の部材の傾きを異ならせることで、傾きに応じて屈折作用により被計測体側共役点の位置を光軸方向に垂直な面内で変更するＸＹ方向焦点位置変更部１４を備え、平行平板形の部材の傾きは、対物レンズ１３の被計測体側共役点に集光される光の直径が、エアリーディスク直径の半分となる所定の傾き以下である。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を用いて、一つの立体的な試料に対して、焦点距離の異なる多数の画像を得、これらの画像を組み合わせて、全領域の焦点が合った１枚の２次元合成画像を得るため、試料の高さ情報を表示する３次元プロファイルマップの作成方法を提供する。
【解決手段】試料を異なる高さから撮像して、焦点部位の異なる２次元試料画像を得、離散ウェーブレット変換を行うことにより得られた詳細サブーバンドにおいて、最大の詳細サブーバンド係数値を示す画像の撮像高さで、初期の高さ地図を作成し、それぞれの入力画像において、焦点整合度を計算し、フィルターをかけて、非合焦点のピクセル（非境界点）の高さ情報は除去し、除去されたピクセル（非境界点）の高さを、フィルターを通過したピクセル（境界点）の高さ値から内挿して算出し、前記高さ情報の除去されたピクセルに対して前記内挿によって算出された高さを代入して高さ地図を作成する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの寸法測定において、正確かつ確実にタイヤ幅及びタイヤ外径を測定することを可能にするタイヤ寸法測定方法及びタイヤ寸法測定装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴをリム組みし、内圧が印加されたタイヤＴと、当該タイヤＴの幅方向に互いに対向して配置される測定手段４１とを相対的に回転させながら、測定手段４１を、タイヤＴが１回転する間にタイヤ側面におけるタイヤトレッドからビードまでの範囲をタイヤ半径方向に沿って走査させ、測定手段からタイヤ側面までの距離の変位量に基づいてタイヤ幅寸法を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】より高い分解能を得ることが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、レンズ１０（対物レンズ）と、レンズ１０を変位させるための振動子８と、フォトダイオード２（受光部）と、反射光の光路上に位置するピンホール７ａが形成された絞り板７と、レンズ９（コリメートレンズ）とを備える。光軸Ｘは、レンズ９，１０の光軸であるとともに、ピンホール７ａの中心軸に対応する。遮光部材１３は、ピンホール７ａの中心軸に対して反射光の光路が傾いた状態で、反射光にピンホール７ａを通過させる。遮光部材１３を省略し、レーザダイオード１の光軸をピンホール７ａの中心軸に対して傾けてもよい。これにより、フォトダイオード２からの受光信号に対する電気的ノイズあるいはスペックルの影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板を検査する検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査方法によると、複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板にパターン照明を順に照射して基板に対する投影部別位相データを取得し、取得された投影部別位相データを用いて基板に対する投影部別高さデータを抽出する。複数の投影部のうち信頼度が最もよい投影部を基準投影部で設定し、基準投影部の高さデータを基準にして残り投影部の高さデータを整列させる。整列された高さデータを用いて統合高さデータを抽出する。このように、信頼度が最も高い投影部を基準として残りの投影部の高さを整列させることで、統合高さデータの信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】広範囲領域でのスポット溶接の有無、およびスポット溶接位置の検査を可能とするスポット溶接検査方法および装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接を施した溶接母材に対して斜光を照射する第１の投光機と、上方から溶接母材の画像を取得する撮像機と、第１の投光機および撮像機を搭載し、溶接母材に対する位置調整可能な走査装置と、撮像機からの画像情報を処理する処理装置から構成され、処理装置は、撮像機から得られた３階層レベルの輝度の第１の画像から、中間輝度レベルと中間輝度レベル以外の輝度の２階層レベルの輝度で構成された第２の画像を得、中間輝度レベル以外の輝度の部分をスポット溶接のエッジ部分とする第１の手段、第１の手段によるエッジ部分からスポット溶接の中心位置を決定する第２の手段を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブル等の移動に伴う誤差を排除することができ、被測定物の形状を高精度に測定可能な手段を提供する。
【解決手段】形状測定装置ＬＭＳは、被測定物Ｗと第１、第２プローブ光とを相体移動させるワーク移動ユニット１０及びミラーユニット３０と、被測定物Ｗの測定面に照射位置が所定間隔離れた第１,第２プローブ光を照射するとともに、反射光の位置に応じた第１，第２受光信号を出力する光学入ニット２０と、これらの作動を制御する制御ユニット５０とを備える。制御ユニット５０は、測定面の測定部位を測定ラインに沿って前記所定間隔と同程度離間した位置に順次移動させ、各測定部位ごとに第１、第２プローブ光の照射位置の傾斜角度を算出させ、算出された複数の測定部位の傾斜角度情報に基づいて測定ラインに沿った測定面の形状を導出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】自動改札機等のゲートに取り付けられたステレオカメラ等の校正で校正用マーカを簡単に設置でき、校正作業の手間を軽減きるようにしたカメラ校正装置を提供する。
【解決手段】カメラ校正装置は、ゲート通路１１を有しかつカメラ１２Ａ，１２Ｂと物体検知センサ１３を備えるゲート１０でカメラの校正を行うカメラ校正装置であって、ゲート通路を自在に移動する台車２１と、高さ位置が既知であるマーカ２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが取り付けられたマーカ支柱２２を備える校正用マーカ装置２０と、物体検知センサで校正用マーカ装置の位置を検知したとき、カメラの撮影で得た画像情報からマーカの情報を取り出し、マーカの情報に基づき校正用カメラパラメータを算出するカメラ校正用処理装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】チップコンデンサやチップ抵抗、二次電池内部の積層電極用アルミニウム箔の製造等に用いて好適な切断装置の刃物の刃先の検査装置を提供する。
【解決手段】光源２０からの光を直立して配されている刃物の側面の第１の研削面１１、第２の研削面１２、第３の研削面１３を横切るように照射しながら移動させる。そして上記刃物に対して側方において、光軸が水平な状態で配されたＣＣＤカメラ２２によって各研削面１１、１２、１３からの反射光を検出し、そのピークから反射面の数を、ピークの幅から各研削面の幅を、またピークが現れる角度から研削面の角度をそれぞれ検出する。またＣＣＤカメラ２２に取込まれた画像によって、各研削面の表面性状を観察する。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状の測定精度の向上を図ることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置は、測定対象１の凹凸形状にライン光を照射する投光装置２と、前記投光装置２によって前記凹凸形状に形成される光切断線を撮像する撮像装置３と、前記凹凸形状の上底及び下底の各々で前記光切断線の幅が最小になるように前記投光装置２をその光出射軸方向４に移動させる駆動装置５と、前記撮像装置３によって撮像された、前記凹凸形状の上底で前記光切断線の幅が最小となる画像と、前記凹凸形状の下底で前記光切断線の幅が最小となる画像に基いて、前記凹凸形状の高さ又は深さを算出する処理装置６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】非接触式のＩＤ計測方式において、高精度な内径測定が可能となる基板の内径測
定装置及び内径測定方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】ガラス基板搬送装置とレーザ変位計とを組み合わせた非接触式のＩＤ計測方
式において、測定時にガラス基板を固定する基板ホルダを保持して、ラインレーザ光源を
昇降させてガラス基板の主表面にラインレーザを照射して測定することにより、測定時に
測定対象であるガラス基板が揺動することにより測定精度が低下することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】小径の管体にも使用可能で、内径寸法が軸方向で変化する管体でも簡単に内径を測定できるレーザ方式の内径測定装置を提供することである。
【解決手段】先端側が管体２０に挿入されるアーム１の基端側に、周方向の３箇所でレーザ光を管体２０の軸方向に管体内へ向けて発射する発光部２ａと、管体内から戻る反射光を受光する受光部２ｂを備えたレーザ変位センサ２を取り付け、アーム１の先端側に、各レーザ変位センサ２と同じ周方向で、各発光部２ａから発射されたレーザ光を、外方の管体２０の内径面に向けて直角に方向転換し、外方に向けられたレーザ光の管体２０の内径面での反射光の一部をアーム１の基端側へ向けて方向転換するプリズム３を取り付け、各レーザ変位センサ２の検出値から管体２０の内径面でのレーザ光の反射位置を求め、求めた３点の反射位置から管体２０の内径を演算する演算手段を設けたものとした。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に適した画像を取得することを目的とする。
【解決手段】被検査物の検査対象領域に照明光を照射し、検査対象領域の基準画像を基準となる基準撮像条件に従って取得し、基準画像をクラスタリング処理して複数のクラスタに分割し、各クラスタが所定の条件に合致するかを判定し、各クラスタが所定の条件に合致しない場合に、所定の条件に合致しないクラスタの撮像条件を変更し、所定の条件に合致しないクラスタの画像を変更された撮像条件に従って取得し、全てのクラスタが所定の条件に合致するまで撮像条件の変更及びクラスタの画像の取得を繰り返し、全てのクラスタが所定の条件に合致すると判定された場合に、所定の条件に合致した各クラスタの画像を合成して検査対象領域の合成画像を取得する。 （もっと読む）