【課題】周囲の状況に関わらず自己の位置の推定精度を向上させる。
【解決手段】予め周囲地図記憶部１１に記憶された移動体の周囲の特徴情報２２と当該特徴情報２２の位置情報２１とを取得し、地図内面構造設定部１２が複数の特徴情報２２を含む領域の面構造を設定し、地図内特徴点可視性判断部１３が、面構造によって、移動体の位置から特徴情報２２が撮像不能である場合に、当該特徴情報を可視性がないと判定し、自己位置推定部１５が、移動体の周囲の特徴情報２２のうち可視性がないと判定された特徴情報２２を除いて、取得された特徴情報２２及び位置情報２１と自己の位置から撮像した撮像画像内の実特徴とに基づいて、移動体の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】回転対称で複雑な被検面の形状を高精度に光干渉計測できるようにする。
【解決手段】面中心軸Ｃが測定光軸Ｌと一致した基準姿勢から、被検面８０を径方向に分割してなる複数の輪帯状領域上に測定光軸Ｌが順次移動するように、被検面８０の相対姿勢を順次変更し、相対姿勢が変更される毎に被検面８０を回転軸Ｅ回りに回転せしめる。回転する被検面８０に対して平面波からなる測定光を照射し、複数の回転位置毎に、各回転位置別干渉縞を１次元イメージセンサ３２により撮像する。撮像された各回転位置別干渉縞に基づき各輪帯領域別形状情報を求め、これらを繋ぎ合わせることにより測定領域全域の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】口腔内を正確に形状計測することが可能な口腔内測定方法および口腔内測定装置を提供する。
【解決手段】口腔内測定方法は、投光工程と、撮像工程と、露光時間制御工程と、画像合成工程と、三次元演算工程とを備えている。投光工程は、コード化された縞パターンを投影する。撮像工程は、縞パターンが投影された領域を二次元静止画像として取り込む。露光時間制御工程は、撮像工程において二次元静止画像を最適に取り込めるように露光時間を制御する。画像合成工程は、少なくとも２つの異なる露光時間によって取り込んだ二次元静止画像を合成して、合成二次元静止画像を生成する。三次元演算工程は、合成二次元静止画像に基づいて口腔内の三次元座標を演算する。 （もっと読む）

【課題】ビード部の形状を精度良く検出することができ、複雑なビード形状であっても検査を可能にする溶接ビード検査装置および溶接ビード検査方法を提供する。
【解決手段】第一母材４上に第一母材推定区間Ｐ１Ｑ１を設定し、該区間Ｐ１Ｑ１中の断面プロファイルデータから第一母材推定曲線Ｚ＝Ｆ１（Ｘ）を推定し、かつ、第二母材５上に第二母材推定区間Ｐ２Ｑ２を設定し、該区間Ｐ２Ｑ２中の断面プロファイルデータから第二母材推定曲線Ｚ＝Ｆ２（Ｘ）を推定するとともに、断面プロファイル上の各点（Ｘ，Ｚ）からＺ＝Ｆ１（Ｘ）およびＺ＝Ｆ２（Ｘ）に対して符号付垂線を引き、正の符号付垂線長が立上り閾値以下となる正側境界点Ｅ２と、負の符号付垂線長が立下り閾値以下となる負側境界点Ｅ１とを求め、正側境界点Ｅ１および負側境界点Ｅ２をビードエッジとして推定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置のRecipeで設定するCell Area の設定が自動化かつ、正確に設定することが出来る。
【解決手段】従来、人間がマウスでクリックして設定していたCell Mat Areaの区別をCell Mat Areaと非Cell Mat AreaのGray Levelの分布特徴の差を用いてImageをスキャンして、その結果からCell Mat Areaと非Cell Mat Areaを分ける方法を取った。具体的にはCell Matの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemory CellだけあるArea で計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCell Area を作成した。 （もっと読む）

本発明は、静止物体に関し、複数の自由度で移動可能な物体の位置を記録するための位置測定システムに関するものである。位置測定システムは、複数の走査ユニットだけでなく、前記物体の一つに接続される少なくとも一つの物理量を有している。前記複数の走査ユニットは、他の物体に接続され、前記物理量の光学的走査から位置粗信号を生成する。更に、マルチプレッサユニットが備えられており、走査ユニットによって生成される前記位置粗信号は、マルチプレッサユニットに供給される。そして、前記様々な走査ユニットからの前記位置粗信号は、時分割マルチプレッサを使用して、前記位置粗信号を位置値に事前変換する必要がなく後続のシーケンス電子部にマルチプレッサユニットから伝送される。
（もっと読む）

ウェハの検査用の方法及びシステムが提供される。一方法は、ウェハ内に侵入する第１の波長の光とウェハ内に実質的に侵入しない第２のウェハにおける光をウェハに照射することを含む。この方法は、さらに、照射工程から結果として生じるウェハからの光に応答して出力信号を発生することを含む。それに加えて、この方法は、出力信号を使用してウェハ上の欠陥を検出することを含む。この方法は、さらに、これらの出力信号を使用して欠陥が表面下欠陥であるか、又は表面欠陥であるかを判定することを含む。
（もっと読む）

本発明は、加工品（６）、好ましくは、セルロース材料の袋製品または袋の半製品上の塗布のり剤（９）の３次元的広がりの特徴を測定および監視の少なくとも一方を行う装置（８）を開示する。この装置（８）は、加工品（６）から発出する電磁放射（３）の特性を記録する（３）ことができるセンサ装置（５）を含む。加工品（６）によって反射される電磁放射（３）の強度値を、このセンサ装置（５）によって記録することができる。 （もっと読む）

【課題】高い精度および計算効率を達成する、周囲のスキャンの比較により移動ユニットの相対位置を検出する方法を提供する。
【解決手段】計算ユニットが第１のスキャンを反復的に後続のスキャンと比較し、第１のスキャンの時点における位置に対する後続のスキャンのそれぞれの時点における移動ユニットの新たな相対位置を検出し、その都度最後に求められた相対位置を先験情報として考慮する。 （もっと読む）

【課題】波長走査型光コヒーレントトモグラフィにおいて、高分解能で高感度で画像表示できる断層画像表示システムを提供すること。
【解決手段】高速で利用できる再現性のよい波長走査型光源１０と干渉光学計を用いる。ｋトリガ生成部２４は時間に対し等発振周波数の関係をメモリに保持し、スキャントリガ信号に基づきｋトリガ信号を発生する。このｋトリガ信号に基づいて干渉光学計より得られる光ビート信号を等周波数間隔でフーリエ変換することにより、断層画像を得る。 （もっと読む）

【課題】1枚の２Ｄ画像から直接、顔のバイリニア照明モデルを生成すること。
【解決手段】任意の顔の３次元バイリニア照明モデルを生成する。多くの異なる顔について多数の画像が取得される。各顔毎に、複数の画像が様々な姿勢及び様々な照明で取得される。３相特異値分解が画像に適用されて、モデルのパラメータが求められる。モデルは、未知の顔のプローブ画像に当てはめることができる。次に、モデルは、未知の顔の画像ギャラリーのモデルと比較されて、プローブ画像中の顔を認識することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板の反りの影響をなくしたグランドリンクを行う高さ計測方法を提唱する。
【解決手段】検査対象基板のパターン面領域を抽出する工程４１０と、検査対象基板上に検査領域を設定する工程４２０と、前記検査領域に対して高さ基準（以下、グランドという。）を設定する工程と、グランドを用いて基板近似平面を作成する工程と、を有し、前記基板近似平面に基づいて検査領域の高さ情報を取得する高さ計測方法において、検査対象に対してグランドを設定する工程は、検査対象周辺部を所定の数の領域に分割し、該分割された領域に含有されるグランドを第１の評価関数に基づいて評価して分割領域内のグランド点を導出し、当該導出されたグランド点から３点のグランド点を選択し、前記３点のグランド点を第２の評価関数に基づいて評価してグランドを設定する。 （もっと読む）

【課題】測定プログラムを容易に生成することができる非接触測定機用プログラムの生成装置を提供する。
【解決手段】プログラム生成装置４は、３次元ＣＡＤ装置３により生成された被測定物の３次元形状を示す被測定物データに基づいて、非接触測定機２が被測定物を測定パスに沿って測定するのに用いる測定プログラムを生成する。これにより、実際の非接触測定機２を用いることなく測定プログラムを容易に生成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 機上に搭載可能で小型かつ安価な研削盤の被測定物測定装置を提供する。
【解決手段】 支持ベース１を、研削盤本体に固定されたハウジングブラケット１１と、このハウジングブラケット１１に装着されたハウジング１２と、ハウジング１２に回動可能に支持された回動軸１３と、回動軸１３の先端から放射方向に延設された揺動アーム１４とからなるものとして、その揺動アーム１４の先端に、レーザ測定機２の照射部２１と受光部２２とを配備する。そして、回動軸１３の基端側には、クランク１５と、これに接続されたシリンダ１６と、クランク１５の揺動を停止させるストッパー１７とを設けて、レーザ測定機２を被測定物の測定位置から進退可能とする。 （もっと読む）

被検物体の凹凸を測定するために周波数走査干渉法が共通経路干渉計に適用される。被検物体に隣接して配置される基準素子が、ビームスプリッタとしても基準表面としても機能する。測定ビームの第１の部分が基準ビームとして基準素子の基準表面から反射し、測定ビームの第２の部分が対物ビームとして被検物体の表面に向けて、また被検物体の表面から、基準素子を通過する。いずれのビームも、被検物体表面上の異なる横座標に関係付けられる対物ビーム及び基準ビームの局在部分の間の増加的干渉及び減殺的干渉によりつくられる複数の強度変化を記録する検出器に向けて共通経路に沿って送られる。被検物体の表面上及び基準素子の表面上の対応する点の間の経路長差に敏感な変調周波数において生じる、増加的干渉条件と減殺的干渉条件の間の強度変化を変えるに十分な様々な周波数範囲にわたり、測定ビームの光周波数を増分的に変えられる。
（もっと読む）

【課題】 画像測定機による測定時間の短縮を図る。
【解決手段】 本発明に係る画像測定機は、被検物の一部分を撮像して画像を出力するＣＣＤカメラ１３と、被検物をＣＣＤカメラ１３による撮像位置に対して相対移動させるＸＹステージ駆動部１０と、撮像位置における被検物の画像をＣＣＤカメラ１３に出力させる制御を行うリプレイ測定部５３と、ＣＣＤカメラ１３からの画像内における測定点の座標値を求める画像処理部２１と、撮像位置を決定する測定指示データ作成部５２とを有し、測定指示データ作成部５２は、被検物に対する全ての測定点の位置を含む範囲を撮像範囲ごとに区切り、区切られた各撮像範囲のうち、測定点が存在する撮像範囲を撮像位置として決定する。 （もっと読む）

【課題】フェルール端面の頂点ずれの測定において、高精度な繰り返し再現性が得られる光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】先端面が球面に形成され、かつ、中央に光ファイバが挿入固定したフェルールをフェルール保持具に配置し、光源から前記フェルールの先端面に光を照射して反射させた光と前記光源から光路長を異ならせた光を前記フェルールの先端面に照射して反射させた光とをそれぞれ受光することで干渉縞を形成するとともに、干渉縞の中心位置Ｑから前記フェルールの先端面に照射する光軸中心位置Ｌまでの仮想距離がフェルールの頂点ずれ距離として測定する光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置において、前記フェルール保持具は、フェルールの外径よりわずかに大きな内径を有した精密スリーブが用いられることを特徴とする光ファイバ用フェルールの頂点ずれ測定装置を用いてフェルール端面の頂点ずれの測定を行う。 （もっと読む）