【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】部品装着前の位置合わせに必要な装置誤差のデータを正確に取得して部品を高精度で基板に装着することができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】装着ヘッド１５のツール（部品用ツール２０又は治具用ツール２０Ｊ）の加熱を行うヘッド側加熱ヒータＨ１のほか、治具部品ＪＧが載置される治具部品載置部ＡＲ２の加熱を行う載置部側加熱ヒータＨ２を備え、治具部品載置部ＡＲ２の温度がヘッド側加熱ヒータＨ１によって加熱された治具用ツール２０Ｊの温度とほぼ同じ温度になるように載置部側加熱ヒータＨ２の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 膜濾過工程用現場検出分析装置の提供。
【解決手段】 本発明は光感知装置と駆動装置とデータ処理装置とを備えた膜濾過工程用現場検出分析装置開示する。前記光感知装置は線形の第一アレイに配列される複数の感知素子を含有して、線形の位置にケーキ層の厚み変化に関する信号を検出する。前記駆動装置は前記光感知装置は少なくとも一つの局部平面にケーキ層の厚み変化を検出できるように、前記ケーキ層上に平行に前記濾材と前記光感知装置との相対的移動ことができるように前記光感知装置を駆動する。前記データ処理装置は前記光感知装置を接続し、前記光感知装置から検出され前記信号を連続的に処理と分析する、さらにすぐにこの膜濾過工程中に少なくとも一つの局部平面にケーキ層の厚み変化を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物を撮像し、その画像に基づいて行う局所的な位置補正の精度を高める。
【解決手段】検査装置は、複数の検査対象要素を有する被検査体を撮像して検査する。この検査装置は、被検査体画像において検査対象要素を相互に接続するパターンから特徴点を生成し、特徴点の基準位置からの変位に基づいて被検査体画像の位置ずれを補正する位置補正部と、位置が補正された被検査体画像を検査する検査部と、を備える。位置補正部は、パターンを表す折れ線上に特徴点を生成してもよい。位置補正部は、パターンを表す折れ線に含まれる線分の延長線上に特徴点を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。
【解決手段】干渉計１Ａは、干渉計１Ａから射出される光の光量を調整可能に構成された調光手段３Ａと、受光手段４７，４９の受光量が所定の第１閾値以下か否かを判定する第１判定手段と、第１判定手段が、受光量が第１閾値以下と判定した場合、調光手段３Ａに、干渉計１Ａから射出される光の光量の低減を命じる低減信号を出力する低減信号出力手段とを備える。調光手段３Ａは、低減信号が入力された場合、光源から射出される光の光量を低減させる。従って、干渉計１Ａが反射体１０１を見失ってしまった場合、調光手段３Ａが干渉計１Ａから射出される光の光量を低減させることとなるので、干渉計１Ａの周囲で作業する人に干渉計１Ａから測定光が照射されてしまうことを防止でき、移動体２までの距離を安全に測定できる。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、マスクの面形状の情報を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】レチクルの形状情報を計測する計測装置において、投影光学系ＰＬの物体面側に配置され、複数の位相マーク２０が形成されたパターン面を有するレチクルＲと、投影光学系ＰＬの像面側に配置され、位相マーク２０に対応して複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、撮像素子３８の検出信号からそのパターン面の形状情報を求める演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】篩の編み目、コンクリート、地質、アスファルトの表面状態の品質を分析・評価することができる品質検査方法および品質検査装置に関する。
【解決手段】編み目または表面に微細開孔を有する被測定部材４４が予め決められた大きさのものであるか否かをパーソナルコンピュータ４１に予め記憶されたデータと比較することによって品質を判断することができる。デジタルカメラ４２は被測定部材４４を撮影し、微細開孔の大きさ、分布等により品質を分析することができる。デジタルカメラ４２は、被測定部材４４をデジタルカメラによって撮影し、画像データとしてパーソナルコンピュータ４１に読み込み込まれる。パーソナルコンピュータ４１はデジタルカメラ４２によって予め読み込まれている基準スケールの画像データに被測定部材４４の画像データを重ね１ピクセル毎に比較される。 （もっと読む）

【課題】基板及びリソグラフィ装置の性能に関する物理的特性を迅速に検出する。
【解決手段】概ね第一方向に延在する少なくとも１本の線によって形成された延在パターンの特性を検出する。延在パターンは、基板又は基板テーブル上に形成され、好ましくは線の幅の少なくとも５０倍の長さにわたって延在する。検出方法は、基板テーブルを第一方向に移動させ、その第一方向ｘに沿って延在パターンの特性を測定することを含む。特性は、第一方向に対して直角の第二方向ｙにおける延在パターンの物理的特性の結果である。次のステップでは、延在パターンの測定位置から基板テーブル位置の較正を導出することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により低コストで導入することが可能であって、腹囲や胸囲などの身体測定を行うことが可能な身体測定装置の提供。
【解決手段】被測定者の身体表面までの距離を測定する距離計２と、被測定者の身体表面の測定位置を決定するために被測定者を撮像するカメラ３と、距離計２およびカメラ３を高さ調節可能に支持するホルダ４と、ホルダ４を被測定者の周囲で走行させるためのレール５と、ホルダ４をレール５上で走行させながら距離計２により被測定者の身体表面までの距離を測定し、身体表面の測定位置の周長を算出する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】タッチペン等によるタッチ可能なエリアが、狭くなることを防止できると共に、遮光検出スキャニング速度の向上を図ることが可能なタッチパネル装置を提供する。
【解決手段】複数の投光器７及び複数の受光器８が、方形状のエリアの横方向１ａ，１ｂ及び縦方向の辺に沿って等ピッチ間隔で配列され、受光器８による遮光検出が連続して行われる遮光検出スキャニングの結果に基づいて、上記エリアにおける光の遮光位置の座標値が検出されると共に、複数の投光器７、及び、複数の受光器８は、下層と上層の２層に重ねて配列され、上層の配列における個別の配置位置は、下層の配列における個別の配置位置から半ピッチずれて配置されると共に、下層に配列されている受光器８が用いられる遮光検出スキャニングと、上層に配列されている受光器８が用いられる遮光検出スキャニングとは、同時に並行して行われるようにして、タッチパネル装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の表面の平坦度を高感度で簡易に検出する。
【解決手段】 被検査物２を乗せるステージ１と、被検査物の上面に対して任意に選択した角度方向からその上面に光を照射する光源５と、光源によって照射されるその上面の領域のエッジに光軸が合うように、被検査物の上面に対して選択した角度方向に置かれ、被検査物の上面の領域のエッジからの反射光を受光するライン・センサ９とを備える、マクロ検査装置１００である。 （もっと読む）

【課題】Bar形障害物を精度良く検出する。
【解決手段】Bar形障害物の検出は、視差画像より得られる横方向視差を用いてPole形障害物までの距離・高さを検出し、その上でBar形障害物が存在するかどうかを確認する方法をとる。さらに、観察点の移動による前後視差を加えることで、Bar形障害物の検出精度を上げることを可能としている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドから吐出され、基板に着弾した液滴の接触角を精度よく測定可能なシステムを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド３０と、インクジェットヘッドのノズル３１から吐出された液滴の飛翔状態を観察するための第１の撮像デバイス１１および第１の撮像用レンズ１２を含む第１の観察ユニット１０と、インクジェットヘッドのノズル３１から吐出された液滴がターゲットの基板２に着弾した後の状態を側方から観察するための第２の撮像デバイス２１および第２の撮像用レンズ２２を含む第２の観察ユニット２０と、第１の撮像用レンズ１２の焦点位置１３および第２の撮像用レンズ２２の焦点位置２３を結ぶ第１のラインＸ１に沿ってインクジェットヘッド３０を移動させるヘッド移動機構５０とを有する観察システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】隠れ点を考慮して簡易に精度良くマッピング画像を取得できるようにする。
【解決手段】同期制御部２０により距離画像を取得するための撮像部２Ａおよび撮像部２Ｂの駆動を同期させて距離画像および２次元画像を取得する。対応関係算出部３０により、距離画像上における画素と、２次元画像上における画素との対応関係を算出する。この際、隠れ点検出部３１において、撮像部２Ａからは臨むことができるが撮像部２Ｂからは臨むことができない被写体上の隠れ点を距離画像および２次元画像上において検出する。マッピング部３２により、対応関係に基づいて、隠れ点を視認可能に２次元画像を距離画像にマッピングしてマッピング画像を生成する。 （もっと読む）

非円形である透明な容器の側壁の厚みを検査する装置に関し、容器（１２）を静止位置に保持し、軸線（１６）を中心として容器を回転させるコンベア（１４）を具備している。光源（１８）は、コンベア上の容器の側壁に光エネルギーを向ける。アナモルフィックレンズ系（２２）は、レンズ系の軸線に対して実質的に平行である、容器の側壁の内面及び外面の部分から反射された、光センサ（１８）エネルギーに、レンズ系の軸線（４６）を向ける。情報処理装置（２６）は、センサに応答して、容器の回転が増加するとき、容器の側壁の内面と外面とから反射された光エネルギーの間におけるセンサでの分離の関数として、側壁の厚みを決定する。 （もっと読む）

【課題】直線道路やカーブ道路におけるレーンマークを認識することができる車両用レーンマーク認識装置を提供する。
【解決手段】今回のサイクルでの車線中心線の位置や形状、車線幅の予測結果を用いて、レーンマークに対応するデータを抽出し（ステップＳ４）、この抽出したデータの車軸方向成分（ｘ軸の成分）を補正して車線中心線に相当するデータを生成し（ステップＳ５）、この生成したデータを用いたハフ変換処理により、車線中心線の位置や形状を算出する（ステップＳ６）。続いて、ステップＳ４で抽出したデータの車線中心線からの相対位置の度数分布を算出し（ステップＳ７）、この度数分布に対して自己相関関数を演算して、道路の車線幅を算出する（ステップＳ８）。ステップＳ９では、カルマンフィルタによって、今回のサイクルや数サイクル後における車線中心線の位置や形状、車線幅を推定／予測する。 （もっと読む）

本発明に従う装置は、基本的に２つの異なる測定モードで作動可能な対物レンズ（８）を有する。第１干渉モードでは、測定対象物（９）は干渉光学的に測定される。第２イメージングモードでは、イメージ処理ルーチンに供される光学イメージが作られる。２つの操作モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結する照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
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【課題】高精度でしかも高速に対象物の重心を求めることが可能な対象物の重心検出方法を提供する。
【解決手段】画素のＸ方向に沿って画素ラインごとに順次画像データをスキャンし、当該画素ラインでの対象物の画素数とそのラインのＹ座標位置（ｙ０〜ｙ９）からラインごとにモーメントの総和と対象物の画素数の総和を求めて対象物の重心Ｙ座標を検出する。このＸ方向スキャン時に、対象物の画素が検出されるごとに、そのＸ座標位置（ｘ０〜ｘ９）に、最初並びに最後に画素が検出されたラインのＹ座標を記録し（バッファ４１〜４４）、その座標値からＹ方向のラインごとのモーメントの総和と対象物の画素数の総和を求めて重心Ｘ座標を検出する。このような構成では、スキャンはＸ方向にだけ行われるので、重心を求める処理速度が高速になる。 （もっと読む）

【課題】鋳鉄のシリンダーブロック等の鋳出し文字の認識精度が高く、ライン上の計測許容時間内で計測でき、実際の製造ラインで使用し得るものを提供する。
【解決手段】鋳物の鋳出しによる文字数字の凹凸形状を計測する三次元計測手段と、得られた三次元計測データの高さ方向のデータをグレースケール化処理して二次元画像データに変換後に更に２値化処理を行う画像データ変換手段と、得られた画像データを予め学習した情報に基づき文字数字を判別する文字数字判別手段とを備える。鋳出し文字は、文字表面が黒色で、艶有りや艶無しが混在し、鋳鉄に鋳出しされた文字の影はバックグラウンドと同系色であり、また、鋳出し状態や潰れなどによって文字形状が不安定な文字であるため、測定対象物の表面色、状態に影響を受けずに安定したセンシングが行える光切断法を三次元計測手段として用いた。 （もっと読む）