【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置１〜４及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ６を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面７にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】複雑で時間のかかるキャリブレーションを必要とせずに、高精度の路面の縦断プロファイルを作成できる移動式の三次元レーザ計測システムを提供する。
【解決手段】本発明の計測システムでは、以下の３段階のステップで路面の縦断プロファイルを作成する。最初に、計測車２に搭載されたレーザスキャナ２１を用いて、走行しながら道路の路面の平面位置と高さを計測して第１の三次元点群データＧ１を取得する。次に、第１の三次元点群データＧ１を、計測車２に搭載されたＧＰＳ受信機２２および慣性計測装置２３を用いて取得したデータに基づいて修正して、地理座標系で表示された第２の三次元点群データＧ２を作成する。最後に、第２の三次元点群データＧ２から計測車２のいずれかのタイヤの軌跡に対応する第３の三次元点群データＧ３を切り出し、この第３の三次元点群データＧ３に基づいて、路面の縦断プロファイルを作成する。 （もっと読む）

【課題】通常のカメラによっては鮮明な環境情報を取得することが困難な環境に無人走行体が投入された場合にも、無人走行体を正確、容易かつ高能率に遠隔操縦可能な遠隔操縦システムを提供する。
【解決手段】無線無人走行体５に、レーザ光走査式三次元測距装置１０６と、往路前方カメラ１１２と、メインカメラ１１３と、復路前方カメラ１１５と、俯瞰カメラ１１８とを搭載する。安全な場所に設置された表示装置に、レーザ光走査式三次元測距装置１０６により検出された三次元画像と、各カメラ１１２，１１３，１１８により撮影された映像を表示する。オペレータはこれらの三次元画像及びカメラ画像を参照しながら、無線無人走行体５の遠隔操縦を行う。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駅ホーム側だけで入線・停車した電車の車両ドアの開閉状態を検知することができ、外乱光や車両汚れの影響を受けず、高い検知精度で車両ドアの開閉状態に係る情報を取得でき、さらに、旅客の乗降状態および混雑状態を考慮して高い精度で車両ドアの開閉状態を検知できる車両ドア開閉の検知装置および検知方法を提供する。
【解決手段】この車両ドア開閉検知装置１３は、駅ホーム１１に停車した電車１４の車両ドア１５の開閉状態を検知する装置であり、乗降口４１付近の車両床面４２を含む範囲を測距対象範囲１８と設定して駅ホーム側に設置された距離画像センサ２１と、距離画像センサが取得した三次元距離画像４４，４５に基づいて車両ドアの開閉状態を判断する車両ドア開閉判断手段３２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第１光源、第２光源、第１検出器、第２検出器及び算出部を備える。第１光源は第１波長と第２波長との間で波長が走査された走査区間を含む第１光を生成する。第２光源は第３波長の第２光を生成する。第１検出器は第１光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第１干渉縞を検出する。第２検出器は第２光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第２干渉縞を検出する。第３波長は第１波長及び第２波長の合成波長より短い。算出部は第１時刻において第２干渉縞の位相のデータから第２干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第１時刻より後の走査区間における第１干渉縞の位相の変化に基づいて第１時刻以降における第２干渉縞の次数を算出し、該算出された第２干渉縞の次数を用いて第１時刻以降における被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状に対応するデータファイルのサイズを小さく、転送や取り扱いを容易とする。
【解決手段】レーザ光２００の走査によって構成される面（走査面）と３次元形状をもつ対象物３００との交線上に、各測定点は離散的に存在する。この３次元形状データ処理方法においては、データとして、３次元空間座標の点群データの代わりに、各走査面上における各測定点の平均位置Ｇ_ｎの空間的位置、走査面における座標軸Ｕ_ｎ、Ｖ_ｎ軸の方向、各測定点Ｐ_ｎ，ｉ（１≦ｉ≦ｋ）についての、走査面での２次元座標（ｕ_ｎ，ｉ、ｖ_ｎ，ｉ）を記録する。ただし、この２次元座標を記録する代わりに、後述する符号化された値を記録することもできる。 （もっと読む）

【課題】ワークピース内の接合領域を監視する光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置１００は、接合対象であるワークピース１６の方向に光扇２２を投射して、前記接合対象であるワークピースの接合領域１０内に、その接合領域内の接合継ぎ目１４と交差する三角測量光ライン２４を生成するのに適した第１光源２０を備える少なくとも一つの光切断装置１８と、前記接合対象であるワークピースの接合領域を均一に照光する第２光源２８を備える照光装置２６と、接合継ぎ目上に投影された三角測量光ラインの空間分解画像を生成する、第１測定ビーム経路３２を有する第１光センサ３０と、接合継ぎ目の空間分解画像を生成する、第２測定ビーム経路３６を有する第２光センサ３４とを含み、第２測定ビーム経路は、第１測定ビーム経路内に同軸結合され、第１光センサの読み取り速度は１ｋＨzを上回り、第２光センサの読み取り速度は５００Ｈｚ未満である。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】穴のある被検物に対して、その穴の内側の形状を効率よく適切に測定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】中空状の被検物の内面に測定光を照射するとともに、該被検物に照射した測定光を受光して、被検物の形状を測定する形状測定装置は、被検物に照射するライン状の測定光を出力する光出力部と、光出力部と隔てて設けられ、予め定められた方向から受光する測定光の散乱光を検出する受光部と、測定光を検出する位置に応じて受光部の位置が調整され、照射した光の出力位置と、受光部の位置との距離に応じて被検物との距離を算定する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】分解能を維持しつつ広い計測レンジで変位を測定することが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、レーザダイオード１と、フォトダイオード２と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）３と、レンズ４〜６と、ピンホール７ａが形成された絞り板７と、アーム８ａ，８ｂを有する音叉状の振動子８と、振動子８のアーム８ａに取り付けられたレンズ９（コリメートレンズ）と、振動子８のアーム８ｂに取り付けられたレンズ１０（対物レンズ）とを備える。レンズ９の焦点距離は、レンズ１０の焦点距離の２倍以下、好ましくは１倍と定められる。 （もっと読む）

【課題】センサのコスト及び嵩増大、及び／又は測定の精度不良を回避又は低減する光学スキャン機構を提供する。
【解決手段】装置は、リソグラフィ基板Ｗ上のマーク２０２の位置を測定する。測定光学システムは、マークを放射スポットで照明する照明サブシステムと、マークによって回折した放射を検出する検出サブシステム５８０とを備える。傾斜ミラー５６２は、放射スポットを、マーク自体のスキャン運動と同期して測定光学システムの基準フレームに対して移動させて、正確な位置測定値を取得するより多くの時間を提供する。ミラー傾斜軸５６８は、ミラー平面と対物レンズ５２４の瞳面Ｐとの交点に沿って配置され、スキャンのアーティファクトを最小限にする。他のタイプの装置、例えば共焦顕微鏡におけるスキャンのために同じ幾何学的構成を使用できる。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイを用いた技術を適用したうえで、解像力を向上させることができ、且つ解像力を任意に変更させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】標本Ｓからの観察光を集光する観察光学系ＯＳ２と、観察光をそれぞれ受ける位置に配列された複数のマイクロレンズＭＬを有するマイクロレンズアレイ２６と、それぞれのマイクロレンズＭＬに対して複数の画素が割り当てられ、各マイクロレンズＭＬを介して複数の画素で受光した観察光に基づき撮像データを取得する撮像素子３０と、マイクロレンズアレイ２６に入射する前の観察光を受ける位置に配置され、観察光を偏向させて観察光が各マイクロレンズＭＬを介して撮像素子３０に受光される位置を相対的に移動させる像シフト装置４０と、撮像素子３０で取得された撮像データに対して所定の処理を施す画像処理部３１とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】変位量への換算を迅速に処理する。
【解決手段】 対物レンズ１８は、光源１３が発した光束を被検面２３ａ上に微小スポットとして投射する。シリンドリカルレンズユニット２１は、曲率半径の異なる２つのシリンドリカルレンズ３０，３１をもっており、それぞれに被検面２３ａで反射した反射光束に異なる量の非点収差を与える。受光センサ１９は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部２４は、受光面から得られる出力信号に基づいて被検面２３ａの変位を検出する。選択部３３は、被検面２３ａの検出範囲に応じて、いずれか一方のシリンドリカルレンズ３０，３１を光路上にセットするように移動機構２２を制御する。 （もっと読む）

【課題】うねりによる影響を極力無くして被検面の変位量を検出する。
【解決手段】 対物レンズ１８は、光源１３が発した光束を被検面２３ａ上に微小なビーム光として投射する。シリンドリカルレンズ２１は、被検面２３ａで反射した反射光束に非点収差を与える。受光センサ１９は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部２６は、受光面から得られる変位信号に基づいて被検面２３ａの変位を検出する。表面すねり補正部２８は、変位信号に基づいて表面のうねりの周期ピッチを求め、その時点の被検面２３ａ上のビーム径が周期ピッチよりも大きくなるように集光レンズ２０と受光面１９ａとの間隔を変え、これに連動して対物レンズ１８を移動する。 （もっと読む）

【課題】受光センサにて受光した反射光のスポットが欠けた場合であっても、精度良く測定対象物の３次元形状を測定できる３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】受光信号の強度の閾値としてレベルＬ１を設ける。受光信号の強度が最も大きい受光素子の位置を基準位置Ｐ１（ｎ）とする。基準位置Ｐ１（ｎ）の両側から、受光信号の強度がレベルＬ１である受光素子又はレベルＬ１に最も近い受光素子の位置を１つずつ取得する。前記取得した２つの受光位置の中点と基準位置Ｐ１（ｎ）とのずれ量Ｄ１が許容値以下であれば、基準位置Ｐ１（ｎ）を反射光の結像位置Ｐ（ｎ）と決定し、結像位置Ｐ（ｎ）を用いて、その測定ポイントの３次元座標を算出する。ずれ量Ｄ１が許容値より大きければ、その測定ポイントの３次元座標を算出しない。 （もっと読む）

【課題】溶接線の径が多様に変化する筒形状部材であっても、計測機器の種類を増やすことなく、また、計測作業時間の増大を極力抑制する。
【解決手段】カメラ装置４が第１の撮影位置での溶接裏波８の全周にわたる撮影を終了すると、その装置本体４１は移動ステージ４２により第２の撮影位置に移動され、同様に、溶接裏波８の全周にわたる撮影を行う。このときの第１の撮影位置から第２の撮影位置までの距離Ｌは、第１の撮影位置におけるカメラ装置４と、撮影対象地点である溶接裏波８との間の距離Ｈに応じて設定される。そして、これら２個所の撮影位置で撮影された画像情報により、三角測量の原理に基づき溶接裏波８の３次元形状情報が演算され、この３次元形状情報に基づき突き合わせ溶接部の溶接品質が評価される。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）