【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板に装着された素子の検査方法において、素子に対応する形状テンプレートを生成する段階と、照明部の格子パターン光を基板に照射してピクセル別高さ情報を獲得する段階と、ピクセル別高さ情報に対応してコントラストマップを生成する段階と、コントラストマップと形状テンプレートとを比較する段階と、を含む。本発明によると、測定対象物を正確に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置および測定方法を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光源および格子素子を含み、前記格子素子をｎ回移送させて移送ごとに測定対象物に格子パターン照明を投影するｍ個の投影部と、前記測定対象物で反射される格子パターン画像を撮影する結像部と、前記ｍ個の投影部のうち、いずれか一つの投影部を用いて前記格子パターン画像を撮影する間に、少なくとも一つの他の投影部の格子素子が移送されるように制御する制御部と、を含む。これにより、３次元形状の測定時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板上における測定対象物の測定方法を提供すること。
【解決手段】プリント回路基板上の測定対象物を測定するために、第１照明ユニットを利用して格子パターン光をプリント回路基板に照射して撮影された第１画像を利用してプリント回路基板の３次元高さ情報を取得する。その後、取得された高さ情報を利用してプリント回路基板上に基準高さ以上で突出した第１領域を測定対象物として確定する。その後、第２照明ユニットから発生した光をプリント回路基板に照射して撮影された第２画像を利用して、プリント回路基板のカラー情報を取得する。取得されたプリント回路基板のカラー情報のうち、測定対象物に確定された第１領域の第１カラー情報を基準カラー情報に設定する。その後、基準カラー情報と第１領域以外の領域でのカラー情報とを比較して第１領域以外の領域で測定対象物が形成されているかを判断する。 （もっと読む）

【課題】測定装備用ハウジングおよびこれを含む測定装備を提供する。
【解決手段】測定装備用ハウジング１００は、測定装置３００を収容し、本体１１０、第１ドア１２０、及び第２ドア１３０を含む。本体１１０は、所定領域が開放される。第１ドア１２０は、本体１１０と結合され、本体１１０の開放された所定領域の少なくとも一部をカバーする。第２ドア１３０は、本体１１０と結合され、本体１１０の開放された所定領域の少なくとも一部をカバーし、前面にディスプレーユニット２００が装着されて第１面から第２面に向かって回転が可能である。したがって、ディスプレーユニット２００が装着されるための空間を減少させ、ディスプレーユニット２００の観測範囲を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】測定作業の生産性を向上した３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】ベアボードを測定位置に移送し、ベアボードに第１パターンプロジェクターの格子をＮ回移送させながら第１方向に第１格子パターン照明を照射し、ベアボードに照射された第１格子パターン照明に対応するＮ個の格子パターン映像を撮影し、パッドの第１高さ位相を算出し、ベアボードに第２パターンプロジェクターの格子をＮ回移送させながら第１方向とは異なる第２方向に第２格子パターン照明を照射し、ベアボードに照射された第２格子パターン照明に対応するＮ個の格子パターン映像を撮影し、パッドの第２高さ位相を算出し、算出されたパッドの第１高さ位相及び第２高さ位相を用いて基準面を算出して貯蔵し、ソルダが形成されたパッドを有するボードを測定位置に移送し、同様のプロセスを行うことによって基準面に対する相対的なソルダの高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の歪曲を適切に補償した検査領域の設定方法を提供する。
【解決手段】ステージに測定対象物を配置し、測定対象物に対する基準データを呼び出し、測定対象物に対する測定データを獲得し、測定対象物に対する測定データと測定対象物に対する基準データから少なくとも一つの特徴オブジェクトを選択し、基準データおよび測定データから選択された特徴オブジェクトに対する少なくとも一つの特徴変数をそれぞれ抽出し、特徴変数および定量化した変換公式を用いて測定対象物の変化量を算出し、算出された変化量を補償して検査領域を設定する。 （もっと読む）

【課題】多重波長を用いた３次元形状の測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明の多重波長を用いた３次元形状の測定装置は、検査対象物を測定位置に移送させる移送ステージと、検査対象物に対して第１等価波長を有する第１パターン光を第１方向に照射する第１プロジェクターと、検査対象物に対して第１等価波長と波長が異なる第２等価波長を有する第２パターン光を第２方向に照射する第２プロジェクターと、移送ステージの検査対象物から反射される第１パターン光による第１パターンイメージと前記第２パターン光による第２パターンイメージとを撮影するカメラ部と、第１プロジェクターと第２プロジェクターとを制御し、第１パターンイメージと第２パターンイメージとがカメラ部で撮影されると、第１パターンイメージ及び第２パターンイメージを受信して検査対象物の３次元形状を算出する制御部と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ３次元形状の測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の３次元形状の測定方法は、データベースからフィーチャー情報を読み出し、ボードを測定位置に移動し、測定ヘッドをボードの検査領域に移動し、３次元測定のための第１光と２次元測定のための第２光とを検査領域に照射して、反射された第１反射イメージと第２反射イメージとを撮影し、フィーチャー情報と、第１反射イメージおよび第２反射イメージのうち少なくとも一つ以上とを比較して検査領域の歪曲を検査し、検査領域を再設定し、再設定された検査領域を検査することを含むことを特徴とする。本発明の測定方法によれば、３次元形状を正確に測定することができる。 （もっと読む）