本発明は、改善された光学的及び赤外線反射特性を有するｌｏｗ−Ｅ薄膜の光学積層体及びその作製方法を提供する。より特定的には、本発明は、硝酸といった強酸等の酸化剤を金属酸化物堆積工程において含めることにより、従前のものよりも低い放射率値を示す金属酸化物薄膜コーティングを提供する。本発明はまた、本願に記載の薄膜のコーティング効率を上昇させる方法を提供する。
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本発明は、薄膜被覆技術に有用な新しいプラズマ源を提供し、更にプラズマ源の使用方法を提供する。より具体的には、本発明は、プラズマ強化化学蒸着に有用な線状及び二次元のプラズマをそれぞれ生成する、新しい線状及び二次元のプラズマ源を提供する。また、本発明は、薄膜被覆を形成する方法及びそのような方法による被覆効率を向上させる方法を提供する。
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本発明は、改良された光学的及び電気的特性の透明導電性酸化（ＴＣＯ）薄膜を提供し、更にＴＣＯ薄膜の製造方法を提供する。特には、本発明はＴＣＯの光学的特性の改善及び電気的特性の生産後の改良を可能にするＴＣＯ薄膜を製造するオンライン方法を提供する。
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本発明は、エネルギー回収手段と複数のバーナーとを備えた炉において実行される燃焼方法であって、燃焼排ガスからの熱をエネルギー回収手段を用いて回収し、前記回収された熱を使用して空気を加熱する方法に関する。本発明に従うと、複数のバーナーのうちの少なくとも一部が酸素リッチの酸化剤及び燃料の燃焼を実行し、エネルギー回収手段によって加熱された空気の少なくとも一部を使用して、バーナー用の酸素リッチの酸化剤及び／又は燃料を加熱する。 （もっと読む）