本発明は、化学組成Ｃ_ａＳｉ_ｂＢ_ｄＮ_ｅＯ_ｇＨ_ｌＭｅ_ｍ（Ｍｅは、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｙ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｐｒ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｎからなる群の少なくとも１つの金属であり、ａ＋ｂ＋ｄ＋ｅ＋ｇ＋ｌ＋ｍ＝１である）を有する保護コーティングに関する。本発明によれば、０．４５≦ａ≦０．９８、０．０１≦ｂ≦０．４０、０．０１≦ｄ≦０．３０、０≦ｅ≦０．３５、０≦ｇ≦０．２０、０≦ｌ≦０．３５、０≦ｍ≦０．２０の条件が満たされる。本発明は、また、保護コーティングを有するコーティング部材、並びに部材のための保護コーティング、特に多層膜を製造するための方法に関する。
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本発明は、基材（１００）の表面に、特に鍛造用の型の表面に、表面コーティングを形成するためのコーティング系（１）に関し、ここで、コーティング系は、（Ｖ_ａＭｅ_ｂＭ_ｃＸ_ｄ）_α（Ｎ_ｕＣ_ｖＯ_ｗ）_βの組成の少なくとも１つの表面コーティングを含み、式中、コーティングに存在する原子Ｖ_ａ、Ｍｅ_ｂ、Ｍ_ｃ、Ｘ_ｄに対して、（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ）＝α、α＝１００％であり、コーティングに存在する原子Ｎ、Ｃ、Ｏに対して、（ｕ＋ｖ＋ｗ）＝β、β＝１００％であり、コーティングにおける全原子の合計（α＋β）＝１００原子％であり、ここで、４０≦α≦８０原子％であり、Ｍｅ_ｂは、化学元素の周期律表のＺｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍからなる化学元素の群からの少なくとも１種の元素であり、Ｍ_ｃは、Ｔｉ、Ｃｒからなる化学元素の群からの少なくとも１種の元素であり、Ｘ_ｄは、化学元素の周期律表のＳ、Ｓｅ、Ｓｉ、Ｂからなる化学元素の群からの少なくとも１種の元素であり、式中、０≦ｕ≦１００、０≦ｖ≦１００、及び０≦ｗ≦８０である。本発明によれば、５０≦ａ≦９９、１≦ｂ≦５０、０≦ｃ≦５０、及び０≦ｄ≦２０である。
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【課題】同一の被覆チャンバの中でアーク蒸着とスパッタリング工程の両方で基体を被覆する方法および被覆装置の提供。
【解決手段】蒸着装置１は、ガス雰囲気を設定及び維持するプロセス・チャンバ３を含み、プロセス・ガス用の入口４及び出口５、並びにアノード６、６１、及びターゲットとして形成されターゲット材料２００、２０１、２０２を含む円筒形の蒸着カソード２、２１、２２を有する。さらに電気的なエネルギー源７、７１、７２が、アノード６、６１とカソード２、２１、２２との間に電位を発生させ、円筒形のカソード２、２１、２２のターゲット材料２００、２０１、２０２を電気的なエネルギー源によって気相に移すように設けられ、また磁場を発生させる磁場源８、８１、８２が設けられる。プロセス・チャンバ３内には、円筒形の蒸着カソード２、２１及び円筒形のアーク・カソード２、２２が同時に設けられる。 （もっと読む）

【課題】磁気促進大電力スパッタリング法において、イオン化度を高くし、同時にターゲットの表面から正の電荷を除去し、ターゲットの加熱を防止すると共に、ターゲット材料の利用率を高くすること。
【解決手段】プロセスチャンバ内で、あるシーケンスの複合放電パルスを発生し、スパッタリングガスをイオン化する大電力パルス化マグネトロンスパッタリング法において、この複合放電パルスは、第１のパルス時間（τ_１）の間印加される大電力スパッタリングパルス（１０）と第２のパルス時間（τ_２）の間印加されるターゲット上の電荷を除去する小電力電荷除去パルス（１１）とを含み、前記第２パルス時間（τ_２）に対する前記第１パルス時間（τ_１）の比（τ_１／τ_２）は最大で０.５である。 （もっと読む）

【課題】木材系材料、木材複合材料、又はプラスチックを機械加工するための切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆を形成する層組織（４）が、切削工具（１）の切削エッジ（３）の表面（２）の上に存在し、前記層組織（４）の最外層（４１、４１００、４１０１）が、式、［Ｃｒ_１−ｘＯ_ｘ］_ｚＸ_ａＣ_ｂＮ_ｃ（ここで、０．０５＜ｘ＜０．７５であり、０＜ｚ≦１、０≦ａ＜１、０≦ｂ＜１、０≦ｃ＜１であり、ｚ＋ａ＋ｂ＋ｃ＝１であり、Ｘは、元素周期表のＳｉ、Ｂ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｔｈ、ランタニド系元素、第ＩＩａ族元素からなる化学元素群からの元素である）の組成物から形成されていることを特徴とする切削工具。 （もっと読む）

【課題】基体、特に摩耗を受ける工具の表面を形成するための層組織、その層組織を有する基体、特に工具を提供する。
【解決手段】組成、［Ｍ_ｏＳｉ_ｐＡＹ_ｑ]γ［Ｎ_ｒＣ_ｓＯ_ｔ]δ、〔ここで、（ｏ＋ｐ＋ｑ）＝γ、（ｒ＋ｓ＋ｔ）＝δ、及び（γ＋δ）＝１００であり、４０≦γ≦６０であり、Ｍは、元素周期表のＡｌ、及び第二族IVｂ、Ｖｂ、VIｂの元素からなる群の少なくとも一種類の金属である〕の少なくとも一つの第一硬質層を含む層組織において、ＡＹが、元素周期表のＭｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、及び第二族IIIｂの元素、及び主族Ｉａ、IIａ、IIIａの元素、及びランタノイド系の元素からなる群からの少なくとも一種類の元素であることを特徴とする、層組織。 （もっと読む）

【課題】摩耗を受ける基体、特に工具の表面に表面層を形成するための層組織を提供する。
【解決手段】組成（Ａｌ_ａＭｇ_ｂＣｒ_ｃＭｅ_ｄＢ_ｅＡＸ_ｍＳｉ_ｋ）α［Ｎ_ｕＣ_ｖＯ_ｗ］β〔ここで、（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＋ｍ＋ｋ）＝α、（ｕ＋ｖ＋ｗ）＝β、及び（α＋β）＝１００、４０≦α≦６０、であり、Ｍｅは、元素周期表の第二亜族ＩＶｂ、Ｖｂ、及びＶＩｂの少なくとも一種類の元素であり、ＡＸが、元素周期表の第一亜族Ｉａの元素、及びＢｅ、Ｃａ、Ｓｒ、及びＢａの元素、及び第二亜族ＶＩＩｂ、ＶＩＩＩｂ、Ｉｂ、ＩＩｂ、ＩＩＩｂの元素、及びランタノイド系の元素からなる群からの少なくとも一種類の元素であり、０．００４≦ｍ＜６０である〕の少なくとも一つの第一硬質層を含む層組織において、０．４≦ａ≦５８、及び０．０４≦ｂ≦１２、及び１８≦ｃ≦４２であることを特徴とする、層組織。 （もっと読む）

本発明は、カソード３２の蒸発表面３３上でアーク放電を生成するために、リング形状の磁場源２と、カソード３２としての蒸発材料３１を備えたカソード本体３とを有する真空アーク蒸発源１に関する。カソード本体３は、軸線方向において、カソード底部３４によって第１の軸線方向に、また蒸発表面３３によって第２の軸線方向に制限されており、リング形状の磁場源２は、蒸発表面３３の面法線３００に平行又は反平行に極性を有するように、且つ蒸発表面３３の面法線３００に同心になるように配置されている。本発明によれば、磁場振幅リング４が、蒸発表面３３から遠い側で、カソード底部３４の正面に、第２の予め指定された距離Ａ２に配置される。さらに、本発明は、アーク蒸発源１を有するアーク蒸発チャンバ１０に関する。
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