【課題】前駆体の循環堆積によって三成分金属ケイ素窒化物膜を製造するための改善された方法を提供する。
【解決手段】金属アミドと、ＮＨ及びＳｉＨ官能性の両方を有するケイ素源とを前駆体として使用することにあり、それによりこのような金属−ＳｉＮ膜が形成される。これらの前駆体は、循環堆積によって基材表面に逐次的に適用される。例示的なケイ素源は、以下の式、即ち、（Ｒ¹ＮＨ）_nＳｉＲ²_mＨ_4-n-m（ｎ＝１、２；ｍ＝０、１、２；ｎ＋ｍ≦３）；及び（Ｒ³₂Ｎ−ＮＨ）_xＳｉＲ⁴_yＨ_4-x-y（ｘ＝１、２；ｙ＝０、１、２；ｘ＋ｙ≦３）によって表されるモノアルキルアミノシラン及びヒドラジノシランであり、式中、Ｒ^1-4が同じであるか又は異なり、アルキル、ビニル、アリル、フェニル、環状アルキル、フルオロアルキル、シリルアルキルからなる群より独立して選択される。 （もっと読む）

【課題】ガス原料流中の粒子を測定及び分析するためのシステム及びそれを含む方法の提供。
【解決手段】一つの側面において、システムは、並列に配置される粒子計数器と粒子捕捉フィルタとを含む。もう一つの側面において、システムは、ガス原料流から微量の分子状不純物を除去して不純物の存在を減らすための浄化装置を含む。 （もっと読む）

本発明は、硬化対象材料の紫外線硬化を加速させるための、赤外線吸収剤の使用に関する。赤外線吸収剤は、好ましくは、ＡＴＯ、ＩＴＯ、ＺｎＯ、ＬａＢ_６、および前記物質の混合物から選択される。硬化対象材料としては、好ましくは、注型用樹脂、特にアクリル樹脂またはアクリレート樹脂をベースとする樹脂が使用される。本発明により、出発材料を板ガラス間に塗布し、これを変換して積層体を形成させる、積層板ガラスの製造が可能になる。 （もっと読む）

【課題】製造中に生じる半導体デバイスの欠陥、特にパターンのつぶれを、スループットを犠牲にすることなく低減するための方法とそのための処理溶液を提供すること。
【解決手段】１種以上の界面活性剤を含む処理溶液を使用して、半導体デバイス製造時の欠陥数を低減する。この処理溶液は、特定の好ましい態様において、パターニングしたホトレジスト層の現像の際又はその後でリンス液として使用すると、パターンのつぶれのような現像後の欠陥を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】不活性化層を形成しない塩を含む電解質を提供する。
【解決手段】サイクリックボルタンメトリー（ＣＶ）測定において、第１サイクルの還元電流より低い第２サイクル還元電流を有する電解質であって、電極に実質的な電気化学的不活性化を起こさない少なくとも１種の塩を含む電解質を用いる。電解質はリチウムとボレートクラスターアニオンまたはヘテロボレートクラスターアニオンからなるリチウム塩の電解質である。さらに添加剤としてホウ素、リン、硫黄、フッ素、炭素などから選択される無機化合物を含む。 （もっと読む）

【課題】 含酸素燃料の燃焼のための方法を提供すること。
【解決手段】 液体燃料を有効直径を有する液体燃料用導管を通して該液体燃料用導管の該有効直径の２倍以下の長さを有するエマルジョンチャンバーに導入する工程；噴霧用ガスを少なくとも１つの噴霧用ガス用導管を通して該エマルジョンチャンバーに導入する工程；該液体燃料と該噴霧用ガスを該エマルジョンチャンバー内で混合し、該エマルジョンチャンバー内の平均滞留時間が５００〜８００μｓであり、その速度が１２ｍ／ｓ以下であるエマルジョン混合物を生成する工程；及び該エマルジョン混合物を一般に長方形のオリフィスを通して酸素富化酸化剤流に放出する工程を含む方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】電子デバイス被着フィルム前駆物質の提供。
【解決手段】銅、銀、金、コバルト、ルテニウム、ロジウム、白金、パラジウム、ニッケル、オスミウム又はインジウムを含有する金属ケトイミナート又はジイミナート錯体と、その製造及び使用方法が、ここに記載される。一部の態様においては、ここに記載され金属錯体は、例えば原子層堆積又は化学蒸着条件により基材上に金属又は金属含有フィルムを被着させるための前駆物質として使用可能である。 （もっと読む）

【解決手段】（ａ）内部を有する圧力容器であって、容器の内部にガスを導入するのに適合した入口、容器の内部からガスを抜き出すのに適合した出口、及び軸線を有する圧力容器、（ｂ）圧力容器の内部に配置されそして直列に配列されている複数の平面状イオン輸送膜モジュールであって、各膜モジュールは、混合金属酸化物セラミック材料を含み、且つ内部領域と外部領域を持つ、複数の平面状イオン輸送膜モジュール、並びに、（ｃ）圧力容器の内部に配置され、そして該容器内のガスの流動方向を変化させるのに適合した、１又はそれ以上のガス流動制御隔壁、を含むイオン輸送膜システム。 （もっと読む）

【課題】有機化合物の可逆的水素化／脱水素化により水素を貯蔵及び提供するための改良法の提供。
【解決手段】有機化合物は、当初、完全又は部分的水素化状態にある。水素発生ルートの改良は脱水素化段階に存在し、そして脱水素化有機化合物の回収は、次の各段階；水素化有機化合物を、脱水素化触媒を組込むマイクロチャネル反応装置に導入する段階；水素化有機化合物が液相中に存在する条件下で、水素化有機化合物の脱水素化を実施する段階；液相の脱水素化有機化合物と気体水素とが含まれている反応生成物を発生させる段階；気体水素から液相の脱水素化有機化合物を分離する段階；そして、水素と液相の脱水素化有機化合物とを回収する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】新規アルコキシシラノールを提供する。
【解決手段】ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシ）（イソ−プロポキシ）シラノール、ビス（イソ−プロポキシ）（ｔｅｒｔ−ブトキシ）シラノール、ビス（ｔｅｒｔ−ペントキシ）（イソ−プロポキシ）シラノール、ビス（イソ−プロポキシ）（ｔｅｒｔ−ペントキシ）シラノール、ビス（ｔｅｒｔ−ペントキシ）（ｔｅｒｔ−ブトキシ）シラノール、ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシ）（ｔｅｒｔ−ペントキシ）シラノール及びそれらの混合物からなる群より選択された組成物。 （もっと読む）