【課題】 種々の性能要求に適合したそれ相応に数多くの界面活性剤についてのニーズ、並びにそれらを製造する好適な方法についてのニーズに応える。
【解決手段】 式（Ｉ）による界面活性化合物を含む組成物であって、
ＲＯＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＲ_１Ｒ_２ＺＣＲ_１Ｒ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２ＯＲ （Ｉ）
そこでは、ＺがＳ、ＳＯ又はＳＯ_２であり、Ｚ、Ｒ、Ｒ_１及びＲ_２の特定の意義に応じて、ある範囲の平衡表面張力及び／又は動的表面張力、並びにある範囲の発泡性能特性を有し得る組成物が提供される。式（Ｉ）の化合物は、金属硫化物又は二硫化物のようなスルフィド供給源のアルキルグリシジルエーテルとの反応を含むプロセスによって製造され得る。それらの化合物は、界面活性剤の使用を必要とする広範囲ないかなる用途においても有用であり得る。 （もっと読む）

【課題】選択的なエッチングから生じる残留物を除去する洗浄用組成物と処理方法の提供。
【解決手段】グリコールエーテルを含む１種以上の水溶性有機溶媒、水、フッ素含有化合物がアンモニウムフルオリドである場合には、さらなるフッ素含有化合物を組成物に添加しないことを条件とするフッ素含有化合物及び随意選択的に第４級アンモニウム化合物、さらに随意選択的な腐食防止剤を含む組成物。ならびに当該組成物と基板とを接触させることを含む処理方法。 （もっと読む）

本発明は、半導体の基板から有機及び無機のポストエッチ残渣ならびにポリマー残渣及び汚染物質を除去するために使用される水性組成物に関する。これらの組成物は、水溶性有機溶媒、スルホン酸及び水から構成される。 （もっと読む）

【課題】非揮発性液体媒体に可逆的に貯蔵されるガスの迅速な充填と送給を可能にし、送給及び送給ガスの純度を改善する貯蔵及び送給システムを提供する。
【解決手段】ガス用の低圧貯蔵及び送給システムは、反対のルイス酸性又は塩基性を有するガス８と可逆的に反応する反応性ルイス塩基又はルイス酸の反応性液体媒体６を収容する内部部分を有する容器４、エネルギーを当該反応性液体媒体へ又はそれから移動させるためのシステム、又は、製品ガス精製器（例えば、ガス／液体分離器）９、又は両方、を含む。 （もっと読む）

【課題】 酸素含有ガスから酸素を分離する電気化学的装置で導電性連結材と電解質の間の電気絶縁性支持材として使用するのに好適な材料とその製法を提供する。
【解決手段】 １種以上の電気絶縁性セラミックと一緒にされた無機酸化物のガラス又はガラス−セラミックを含む混合物を約７００℃より高い温度で焼成して製造され、焼成後の上記混合物の熱膨張率と上記電解質の熱膨張率又は上記連結材の熱膨張率との差が約２μｍ／（ｍ・℃）未満である材料とする。 （もっと読む）

本発明は、透明導電性酸化物材料に関する。本発明によれば、上記酸化物材料は、スペクトル特性を改変することができる少なくとも１つの金属とともに提供される。 （もっと読む）

【課題】 基材から望ましくない物質を除去するのに用いられるプロセスガスのフッ素利用率を増大させる方法を提供する。
【解決手段】 モル比が約０．０１〜約０．９９の水素源／フッ素源を提供するのに十分な量において水素源をプロセスガスに添加する工程を含む、フッ素源を含むプロセスガスのフッ素利用率を増大させる方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 反応器内の内壁や部品に付着した窒化チタン残留物の効果的な除去方法を提供する。
【解決手段】 (a)フッ素含有物質及び塩素含有物質からなる群より選ばれる少なくとも一種の反応体を含む処理ガスを供給すること、(b)当該処理ガスを、少なくとも一種の反応体からなる少なくとも一種の反応性化学種で富化して富化された処理ガスを生成させ、この富化を第一の場所で行うこと、(c)基体表面の少なくとも一部が窒化チタンで被覆されている基体を、５０℃を超える基体温度で供給すること、そして(d)当該基体表面の窒化チタンを、富化された処理ガスと接触させて基体表面から窒化チタンを揮発、除去し、この接触を第一の場所とは異なる第二の場所で行うこと、を含む基体表面から窒化チタンを除去する方法。 （もっと読む）

【課題】 内側容器から外側容器への逆流を防止できる、高純度流体を収容し且つ分配するための装置を提供すること。
【解決手段】 内部に多量の高純度流体を収容できる外側容器１０と、前記外側容器１０と関連させた、前記高純度流体を分配するための出口４と、前記出口４を通って前記外側容器１０から出る高純度流体の流量を制御できるバルブ３と、前記外側容器１０に少なくとも一部分が位置し、前記出口４と連通し、かつ前記外側容器１０の内部と連通した入り口１２を備えている内側容器９と、前記内側容器９内に収容された、望ましくない成分を含有する前記高純度流体を精製するための精製媒体７と、高純度流体が前記内側容器９から前記外側容器１０の内部に流れ出るのを防止する流量制御装置とを備えているように構成する。 （もっと読む）

【課題】 改善された火炎安定性と完全な燃料の燃焼を有する多段燃焼システムを提供すること。
【解決手段】 炉であって、その中に設けられた熱負荷と燃焼雰囲気を有する炉と；燃料を燃焼雰囲気に噴射するよう適合された１つ又は複数の燃料ランスと；該１つ又は複数の燃料ランスと関連し、該１つ又は複数の燃料ランスによって燃焼雰囲気に噴射された燃料を点火するよう適合された１つ又は複数の点火器とを含む、燃焼システムが提供される。 （もっと読む）