【課題】プロセスガスとともに存在する未反応フッ素の量と、反応プロセスによって生成する液体溶解廃棄物（ＨＦ／ＮＨ₃）の量とを最小限に抑えながら、優れたＮＦ₃生産収量の達成を可能とする改良された反応プロセスを提供する。
【解決手段】基本的なＮＦ₃プロセスは、ＮＦ₃を形成するための条件化で、アンモニウムイオン源、例えば、酸性フッ化アンモニウムとＦ₂を反応させることにあり、当該プロセスの改良は、Ｆ₂とアンモニウムイオン源を第１温度で充填カラム又はモノリスカラムに並流かつ下方に通して導入する工程；当該カラムにおいてＦ₂とアンモニウムイオン源を反応させる工程；及び前記第１温度よりも高い第２温度で当該カラムからＮＦ₃と副産物の混合物を取り出す工程を含む。 （もっと読む）

基材の少なくとも一部の表面を処理するための装置及び方法がここに記載される。一の実施態様において、該装置は、内部容積部、該基材、及び排気マニホールドを含むプロセスチャンバー；一以上のエネルギー源によって一以上の反応性ガス及び随意的に追加的なガスを含むプロセスガスが活性化されて、活性化反応性ガスを提供する活性化反応性ガス供給源；及び該供給源及び該内部容積部と流体で連通している分配導管を有し：該分配導管は該活性化反応性ガスを該内部容積部及び直接的に該基材に導く複数の開口部を含み、ここで該活性化反応性ガスは該表面と接触し、該装置が該排気マニホールドを通じて該内部容積部から引き出される使用済みの活性化反応性ガス及び／又は揮発性生成物を提供する装置である。 （もっと読む）

【課題】 特定構造のアルキレンジアミン類、その新しい製造法、及びそれを含有する組成物の提供。
【解決手段】 水素と遷移金属触媒の存在下でＮ−（ポリヒドロキシアルキル）アルキルアミンと、ジニトリル、ジアルデヒド又はそのアセタール若しくはヘミアセタールを反応させて、Ｎ，Ｎ’−ジアルキル−Ｎ，Ｎ’−ビス（ポリヒドロキシアルキル）アルキレンジアミン類を製造する。該化合物は乳化剤、湿潤剤、発泡剤、レオロジー調整剤、分散剤などとして、洗剤、コーティング配合物、インク配合物、農業用配合物などに使用される。 （もっと読む）

本発明は、粒子上にケイ酸塩被膜を形成する方法、およびそれによって得られる粒子に関し、直径５０μｍ未満の未被覆粒子の分散液に、ケイ酸塩含有溶液を加え、音響励振することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】負極、正極、セパレータ、及び非プロトン性溶媒中に保持されたリチウム系電解質を含むリチウム二次電池、並びに当該電解質組成物を提供すること。
【解決手段】当該電解質は、以下の式、即ち、
Ｌｉ₂Ｂ₁₂Ｆ_xＨ_12-x-yＺ_y
（式中、ｘ＋ｙが３〜１２であり、ｘ及びｙが独立して０〜１２であり、ＺがＣｌとＢｒのうち少なくとも１つを含む）のリチウム塩を含む。 （もっと読む）

【課題】基板から炭素含有残渣類を除去するための方法を提供する。
【解決手段】酸素ソース、フッ素ソース、及び随意選択的に追加のガスを含むプロセスガスを用意すること、ここで、該プロセスガス中でフッ素に対する酸素のモル比が、約１〜約１０の範囲にわたる：１種以上のエネルギーソースを用いて該プロセスガスを活性化し、反応性種を供給し；そして該反応性種と該基板の該表面とを接触させ、該表面から該炭素含有残渣を揮発させて、除去すること、を含み、基板表面の少なくとも一部から炭素含有残渣を除去する。 （もっと読む）

【課題】 粗メチレンジアニリンを含むメチレンジアニリン供給原料の環水素化のための触媒プロセスにおける改良。
【解決手段】 粗メチレンジアニリン供給原料を、固定床支持体上に担持されたルテニウム触媒上を通過させ、脱気なしで冷却し、次に、前処理された粗メチレンジアニリン供給原料を、モノリス支持体上に担持されたロジウム触媒又は混合Ｒｈ／Ｒｕ触媒上で水素化し、そしてバッチ反応で環水素化を行うことからなる前処理プロセス、及びモノリス支持体上に担持されたロジウム及びルテニウムからなる触媒。 （もっと読む）

【課題】 エッチングプロセス及び／又はクリーニングプロセス中の物理的損傷及び／又は化学的損傷から、プラズマ反応器又は反応性種発生器等の半導体処理装置の内部コンポーネントを保護する装置及び方法を提供すること。
【解決手段】 ストロンチウムビスマスタンタレート（ＳＢＴ）等の３種以上の金属元素を有する層状超格子材料を使用して、反応室の内部コンポーネントの表面上に保護バリヤーを形成する。 （もっと読む）

導管（３）を通る可変比率のガス混合物の流量を制御するための体積流量制御器（１）は、導管を通るガスの流量を調節するための弁手段（５）、この弁手段を駆動するための駆動手段（９）、導管を通るガスの流量を測定するための、例えばペルトンホイールなどの、体積流量計（７）を有し、そしてこの流量計が、駆動手段に供給される調整信号（１１）を発生させる増幅器（１５）での設定点信号（１７）との比較のためにフィードバック信号（２９）を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段（１９）により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター（２１）と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器（２５）及びキャパシタ（２７）からなるスローダウン回路（２３）を含む。好ましくは、ポテンショメーターはディジタルポテンショメーター（４０３）であって、その電圧は回転エンコーダー（４１７）の独立した操作により変えることができる。
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【課題】８０℃から２５０℃までの比較的高温で動作する燃料電池のためのプロトン伝導性電解質を提供する。
【解決手段】電気化学デバイスと、電気化学デバイスで使用するための伝導媒体であって次式 Ｈ_aＭ_bＱ・ｎＨ₂Ｏ（式中のＨはプロトンであり、Ｍはカチオンであり、Ｑはフルオロボレート又はフルオロヘテロボレートアニオンであり、ｎは０．０１から１０００までの範囲にあり、ａは０．０１から２までの範囲にあり、ｂは０から２までの範囲にあり、ａとｂは該式を電気的に中性にするように選ばれ、そしてｂが０より大きい場合ｂのａに対する比は１００対１よりも小さい）を構成するプロトン伝導性電解質を有するプロトン伝導媒体。 （もっと読む）