【課題】電極とシリコンとのオーミック・コンタクトを容易に得ることができ、その電極を使用してシリコンのライフタイム測定ができ、その測定に利用できる測定ヘッドを提供する。
【解決手段】測定対象であるシリコン１に電極２Ａ，２Ｂを押し当てて回転させ、シリコン１と電極２Ａ，２Ｂとの接触部にオーミック・コンタクトを形成し、シリコン１にパルス光を照射し、その照射により発生する過剰キャリアにより変化する電気伝導度の時間的な変化量を測定して少数キャリアの再結合ライフタイムを測定する。電極２Ａ，２Ｂをシリコン１に押し付けるシリンダと、電極２Ａ，２Ｂを回転させるモータと、当該電極と電気的に導通するプローブと、シリコン１に励起エネルギーを出射する光照射部を備え、電極を押し具でシリコン１に押し付けながらモータで回転させて、電極２Ａ，２Ｂとシリコン１とのオーミック・コンタクトを得られるようにした。 （もっと読む）

【課題】判定作業の効率化を図り、被測定用半導体材料を面的にＰＮ判定する。
【解決手段】ＰＮ型判定装置は、被測定用半導体材料に検査光を照射する光学系と、前記検査光が照射される部分に発生する電磁波を検出する同調コイルと、当該同調コイルで検出した検出波形の位相のずれ方をもとにＰ型又はＮ型を判定する判定部とを備えた。前記判定部は、前記検出波形と基本波形とを比較したとき、Ｐ型とＮ型の２種類の検出波形のうちの一方が前記基本波形と逆位相又は他方の検出波形と比較して逆位相に近いときＰ型と判定し、前記２種類の検出波形のうちの他方が前記基本波形と同位相又は一方の検出波形と比較して同位相に近いときＮ型と判定する。ＰＮ型判定方法の要部は、前記判定部での処理機能と同様である。 （もっと読む）

【課題】 試料に交流電圧を長時間連続的に印加すると、試料に連続的に渦電流が発生し、その渦電流によるジュール損失により試料の温度が上昇してしまい、所望の温度条件下での試料の電気特性が計測できず、膜厚、傷といった物理的状況の同定にも誤差が生じる。
【解決手段】 試料への電圧印加を連続的な交流ではなく、試料における熱量発生が最小限で済む単発パルスとすることで、計測による試料の温度上昇を極力避け、測定精度を向上させるようにした。この単発パルス電圧の発生は、コイルに流した電流の急激な減少によって行うようにした。単発パルス電圧発生期間における試料の渦電流損失を、パルス発生前のコイルの励磁エネルギーとパルス発生期間にコイルを通して回生されるエネルギーとの差によって計測する。 （もっと読む）

【課題】 試料に印加する交流磁界の発生磁束が磁心全般に広がるため検知される空間分解能（測定分解能）が低下する。
【解決手段】 磁心が磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製である渦電流センサを使用し、磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数（寸法共鳴が生ずる周波数）又はその近傍の周波数で前記渦電流センサを作動させて（磁心を励磁して）定在波の山の部分に磁束を集中させて、その磁界（磁束断面積）を磁心の磁路断面積より小さくし、その磁束を渦電流センサの磁心に与えるようにした。渦電流センサの磁心を、磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製として、励磁時の磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数で作動させると、発生磁束が定在波の山の部分に集中するようにした。磁心材料をＭｎ−Ｚｎフェライトとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 フェライトコアに巻かれた励磁コイルと交流電源の間に接続されるリード線のインダクタンス及び抵抗成分の影響を受けて、励磁コイルに供給される交流電圧を一定に保つことが出来ず測定誤差の要因となっている。
【解決手段】 渦電流センサの磁心に交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に電圧検出コイルを設け、渦電流発生時の電圧検出コイルの誘起電圧を検出コイルのインピーダンスに対して高入力インピーダンスである検出器で検出する。前記検出器で検出された検出電圧で励磁コイルに印加する高周波電圧を制御する。測定用渦電流センサと試料を測定しない非測定用渦電流センサを使用し、夫々の渦電流センサの磁心に励磁コイルとは別に設けた電圧検出コイルを夫々の誘起電圧が逆方向となるように直列接続し、非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と、試料測定した測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を前記直列接続した電圧検出コイルの測定端子で検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】長尺帯状や長大な検査試料に対して簡単な構成で容易に且つ正確に膜厚を測定する。
【解決手段】ポリエステルフィルム１１に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置である。ローラ検査部２に、前記ポリエステルフィルム１１の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で支持される検査ヘッド１０と、前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間に介在した状態でローラ検査部２の外周に設けられると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間隔を設定間隔に支持する隔離膜１４とを備えて構成した。 （もっと読む）