【課題】可能な限り簡単な機械的設計でありながら、根本的な条件が大きく変化した場合でも、ガスの流量を高精度で計測することができるガスメーターバルブを提供する。
【解決手段】本発明のガスメーターバルブ（１）は、バルブシート（２）と、最大開位置においてバルブシート（２）から離間している一方、最大閉位置においてバルブシートに対して押し付けられる閉塞部材（３）と、弾性付勢装置（４）と、弾性付勢装置（４）を用いて最大開位置から最大閉位置まで閉方向（６）に閉塞部材（３）の位置を調節するための調節装置（５）と、を備えている。少なくとも閉方向（６）について、調節装置（５）の弾性付勢装置（４）が、閉方向について直列に機械的に連結され、かつ、相互に弾性特性が異なる複数の弾性要素（７ａ）（７ｂ）を有している。 （もっと読む）

【課題】流路を気密的に遮断する弁があるが、摩耗による外部漏れ、複数の作動部材のため、メンテナンスが困難であった。耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁を提供する。
【解決手段】弁体８は、外側弁体部９および内側弁体部１１を有す。内側弁体部は、外側弁体部に対して相対的に直線的に移動可能であり、閉鎖設定において弁体への圧力差により、内側弁体部は、弁筺体に押し付けられ、外側弁体に対する差圧力は無くなる。弁座５は、放射状に内側を向いた第１内面１４を有し、外側弁体部は、放射状に外側を向いた第１外面１５を有する。第１外面は、閉鎖設定において、放射状に封止する接触が第１内面との間に存在する配置となる。外側弁体部は、放射状に内側を向いた第２内面１６を有し、内側弁体部は、放射状に外側を向いた第２外面１７を有する。第２外面は、放射状に封止する接触が第２内面との間に存在する配置となる。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の圧力解除状態において閉塞部材が所定の位置にあるようなバルブを提供する。
【解決手段】バルブの一又は複数の貫通開口部（２）を閉塞するための閉塞部材（１）が、駆動機構（３）により閉位置と開位置との間で動かされる。駆動機構（３）が、閉塞部材（１）を閉位置に変位させるための第１圧力作用空間（４）と、閉塞部材（１）を開位置に変位させるための第２圧力作用空間（５）とを備えている。バルブは、閉塞部材（１）を閉位置又は開位置に向かって付勢する弾性要素（６）を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガスが漏れない方法で隔離することができる半導体または基材加工プロセスチャンバ内に半導体素子または基材を移送するためのフラップ移送弁を提供する。
【解決手段】第一の密封平面４１上に存在する第一の密封表面３により、フレームの形態に取り囲まれた細長い第一の開口部１と、第一の密封表面３に対応し、第二の密封平面４２上に位置する第二の密封表面９を有する細長い弁閉鎖体ビーム４とを有し、支持体４０は、弁閉鎖体ビーム４の背面７上に配置され、支持体４０上には、旋回可能な接続部４３を介し、傾斜軸４４を中心として、限定された旋回角度を通して旋回することができるように、弁閉鎖体ビーム４が配置されている。支持体４０は、弁閉鎖体ビーム４と合わせて、旋回軸受６０により、旋回軸１０を中心として旋回することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であり、かつ、コスト面で経済的な真空扉機構を提供する。
【解決手段】閉塞要素（１）一又は複数のロッド（９）（９’）（９”）に固定され、開口部（２）を開放する開位置、開口部（２）を覆う一方で開口部を取り囲むシート（７）から離れている中間位置、及びシート（７）に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される。傾動アクチュエータ（２５）（２５’）（２６）（２６’）の内部空間（２７）を画定する一又は複数のウォール（３９）が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成されている。傾動アクチュエータは、扉本体（１０）の当接面（３８）と、チャンバウォール（３）の当接面（３７）若しくはチャンバウォール（３）に保持されている固定部材（２１）と、のうち一方又は両方に支持されている。 （もっと読む）

【課題】可膨張式チャンバにおけるリークが生じた場合、可膨張式チャンバ内の流体が圧力により減圧チャンバ又は真空チャンバに流入することを防止しうる汎用的な装置を提供する。
【解決手段】本発明の閉塞装置は、可動に支持されている閉塞要素（１）と、貫通開口部（３）がチャンバウォールに適合するように構成されている基体（２）と、可膨張式チャンバ（６）を有し、閉位置において閉塞要素（１）とシート（４）との間に介在して閉塞用素（１）をシート（４）に対して密封する弾性シール部材（５）と、を備えている。弾性シール部材（５）が、可膨張式チャンバ（６）にリークが生じた場合に流体を受容する補助チャンバ（７）を備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストの構成であり、拡張ユニットの微小なストロークだけで閉塞プレート及び対プレートのそれぞれが、シート及び対シートのそれぞれに対して押し付けられる真空バルブを提供する。
【解決手段】各プレート（１０）（１１）が、閉塞装置（１２）の開位置において各平面（１３）（１４）に対して平行に配置されている。閉塞装置（１２）が、両プレート（１０）（１１）の間において、バルブロッド（２３）に対して固定され、両プレート（１０）（１１）の間隔を広げて、各平面（１３）（１４）に対して平行な拡張面（１７）（１８）を有するシート（８）（９）に対して閉塞プレート（１０）を押し付ける拡張ユニット（１６）を備えている。閉塞装置（１２）が、縦軸線（２６）の方向に拡張ユニット（１６）に対して動かされるとともに、縦軸線（２６）の方向に動かないようにプレート（１０）（１１）に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】帯状部材が加工処理される真空装置に用いられる真空バルブであって、バルブ開口部を通じて帯状部材が案内される際、閉塞可能かつバルブ開口部が密閉可能な真空バルブを提供する。
【解決手段】パッキン(10)(11)がその延在範囲のうち第１パッキン主要部の中央部(19)にある第１範囲(22)において、閉塞子(9)に対して固定されるとともに溝部(12)(13)の２つの側壁のうち一方の側壁(24’)を構成する押縁部材(23)によりクランプされている。また、パッキン(10)(11)の延在範囲のうち第２範囲において、溝部(12)(13)を画定する２つの側壁(24)(25)および底壁(26)が閉塞子(9)により構成されている。 （もっと読む）

【課題】バルブ閉鎖の全長に亘って均等な接触力、密閉力のフラップトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム４は共通回転軸１０の周りに回動できるように軸受け要素２７に取り付けられている。回転軸１０は第１の開口部１の側面において、第１の密閉面３の平面２８上を延びている。バルブ閉鎖ビーム４は閉鎖位置と開放位置との間で、回転軸１０の周りに約９０度まで回動できる。閉鎖位置ではバルブ閉鎖ビーム４の閉鎖面８は、第１の開口部１をカバーして閉鎖する。開放位置ではバルブ閉鎖ビーム４は第１の開口部１から離れるように回動して、第１の開口部１を開放する。回転軸１０は第１の開口面１５に向き合う軸受け要素２７の片側にあり、シャフト軸１２は第２の開口面１６に向き合う軸受け要素２７の反対側にある。 （もっと読む）

【課題】スロット状の開口部を有するトランスファーバルブであって、保守および修理時に、プロセスチャンバからトランスファーバルブを取り外すことなく、交換可能であり、バルブ閉鎖部の全長に亘って、均等な接触力および密閉力を生成できるトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム４、回転軸受およびシャフト１１は気密なバルブハウジング１４内でバルブカバー２０上に配置され、シャフト１１、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム４は、バルブカバー２０を切り離して移動させることによって、バルブハウジング１４から切り離し可能である。バルブハウジング１４内で、シャフト軸に沿って、互いに所定距離離れて分散配置され、そしてバルブ閉鎖ビーム４およびシャフト１１が取り付けられた少なくとも３つの軸受要素２７によって、回転軸受が形成される。 （もっと読む）