【課題】コーティングシステムにおいて、できるだけ簡単なデザインで、圧力差が極めて高い場合に、二つの区間の間の確実な封止が可能になるスライド弁。
【解決手段】閉鎖部材２２が作業位置内に移動する際に、閉鎖部材２２にかかる作動力により、ハウジング壁２４の開口部２５を取囲む封止面２６に圧力がかかり、この圧力が作動力のレベルに依存している。 （もっと読む）

【課題】機能信頼性をより高めた、互いに接続された２つのプロセスユニット間を蒸気が漏れないよう遮断するバルブを提供すること。
【解決手段】２つのプロセスユニット間を接続する流路３と、該流路３内に設けられたシャットオフ装置を備えて成る、互いに接続された前記２つのプロセスユニット間を蒸気が漏れないよう遮断するバルブにおいて、当該バルブを囲繞して設けられたヒータ装置１５から熱伝導するよう接続された、蒸気による結露を生じない範囲を、前記流路３の蒸気と接触する表面に設けた。
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【解決手段】 本発明は、基体が蒸着装置の加熱された蒸着チャンネル中を動く際に、固体および／または液体被覆材料の蒸発およびその蒸気状被覆材料の基体上への蒸着によって、連続的に運搬される基体を熱的に真空被覆する方法において、蒸着チャンネル（３）を、最少の運搬速度に達しない場合でもまたは基体が静止した場合でも、少なくとも１つの位置変更可能な中空要素（７）の差し込みよって、基体が内部空間に存在する様に外部空間（３）と内部空間に分離することを特徴とする、上記真空被覆法に関する。この方法を実施するための装置にも関する。
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【解決手段】 本発明は、充填可能な坩堝に被覆材料が蒸発の目的で配置され、そして被覆装置の一部として真空室中に配置されている、被覆材料を蒸発させるための蒸発装置において、蒸発装置（１）が真空弁（９）を介して減圧可能な装填室（８）に連結されている蒸発室（２）を有し、該蒸発室（２）中には被覆材料（５）を充填可能な坩堝（６）を収容する蒸発器（３）を配備しそして該蒸発器が蒸気排出側で、即ち蒸着室に面する側で、第一の蒸気遮断弁（４）を介して蒸着室に連結されていることを特徴とする、蒸気蒸発装置に関する。
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【解決手段】 本発明は、蒸着装置においての固体および／または液体被覆材料の蒸発およびその蒸気状被覆材料の基体上への蒸着によって、蒸着チャンネル中を移動する連続搬送される基体を熱的に真空蒸着する蒸着法において、被覆材料（１０）を、蒸着室（２）の外部に配置され且つ蒸発装置当たり少なくとも１つの蒸発器（６）を備えた少なくとも１つの蒸発装置（３）中で蒸発させ、その際に蒸発器（６）と蒸着チャンネル（１３）との間の蒸気供給を制御することを特徴とする、上記蒸着法に関する。
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この発明は、真空成膜設備を通して搬送方向に移動可能な基板に成膜するための真空成膜設備用ゲートシステム（１）であって、入力側と出力側に、それぞれ一次真空ゲートチェンバー（２）と成膜チェンバー（４）に隣接した搬送チェンバー（３）とを備えており、その場合に、搬送方向に対して入力側の搬送チェンバーの前と、搬送方向に対して出力側の搬送チェンバーの後で精密真空に設定可能であるゲートシステムに関する。一次真空ゲートチェンバー（２）が、搬送チェンバー（３）に直接隣接しており、一次真空ゲートチェンバー（２）内で精密真空に設定可能である。
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