【課題】レーザビームの照射位置の誤差を簡便に較正できるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】レーザ発振器から発振されるビームＬを被加工物が配置される所定面４に向けて反射させるミラー１１２、１２２と、ミラー１１２、１２２の方向を変化させることでビームＬの光軸を所望の目標照射位置へと位置づける光軸操作機構１１１、１２１と、ミラー１２２に映る目標照射位置及びその周辺の領域を撮像するカメラセンサと、カメラセンサにより撮像した画像を参照して光軸操作機構１１１、１２１に指令した目標照射位置と所定面４における実際のビームＬの光軸の位置との誤差を検出する誤差較正機構とを具備する加工機を構成し、前記誤差に基づき、加工時にビームＬをその目標照射位置に照射するために光軸操作機構１１１、１２１に与えるべき指令の補正量を決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】被加工物の加工対象範囲に無数の穴を形成する加工において、被加工物の加工対象範囲に含まれるある領域とこれに隣接する領域との境界が肉眼で視認できる程度に露わとなる問題を回避する。
【解決手段】被加工物３の加工対象範囲の一部をなす加工領域に対して多数の穴３２を形成する加工を行うことができる加工装置と、加工対象範囲のある領域に前記加工がなされた後、被加工物３を加工装置に対して相対的に移動させて未加工の領域を加工装置による新たな加工領域として位置づける移送装置と、加工装置が形成する穴３２の配置位置３１を規定する情報を記憶する加工パターン記憶部と、加工パターン記憶部に記憶している情報により規定される個々の穴３２の位置３１に、各穴３２毎にランダムな位置補正量を加えて各穴３２毎の目標加工位置を決定する制御部とを具備する加工機を構成した。 （もっと読む）

【課題】太陽電池またはエレクトロルミネッセンスデバイスの製造過程における、裏面電極膜及び光電変換層をともに切削除去する加工を支障なく遂行し、透明導電膜等へのダメージを回避する。
【解決手段】最上層にある裏面電極膜３に向けてレーザ光４３を照射して少なくとも裏面電極膜３を切削する第一の照射工程と、第一の照射工程にてレーザ光４３を照射した箇所の近傍にレーザ光４４を照射して裏面電極膜３の下方に残存する光電変換層２を切削する第二の照射工程とを個別に実行することとした。第一の照射工程にて照射するレーザ光４３と、第二の照射工程にて照射するレーザ光４４とは、波長、出力、パルス幅またはビームプロファイルを相異させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】加工対象となる基板の加工機への搬入、及び／または、基板の加工機からの搬出を速やかに行い得る、好適な加工機用搬送装置を提供する。
【解決手段】基板９に対し加工を行う際に基板９を下方から支持する支持機構４と、支持機構４に設けられて基板９の下面が載置される摩擦軽減体４２と、摩擦軽減体４２に載置される基板９の側端面に当接して当該基板９を移送する搬送機構２とを具備し、搬送機構２が、回転駆動されて摩擦軽減体４２に載置される基板９の側端面を搬送方向に沿って送り出す駆動輪２１と、駆動輪２１を支持するとともに駆動輪２１を前記搬送方向とは交差する内外方向に変位させることができ、駆動輪２１を摩擦軽減体４２に載置される基板９の側端面に向けて押圧する支持部材２２とを備えている搬送装置２を構成した。 （もっと読む）

【課題】サブストレート型太陽電池の製造過程における、発電層及びＴＣＯ膜を除去して分離溝を形成する加工を簡便に実行できるようにする。
【解決手段】ＣＩＧＳ系発電層２の材料の沸点がＭｏ裏面電極膜１の材料の沸点よりも低いことを利用し、発電層２及びＴＣＯ膜３をセル単位に分割する分離溝３１を形成するレーザ加工工程（ｆ）の際、レーザ光３２を敢えて薄膜１、２、３側から裏面電極膜１と発電層２との境界部近傍に向けて照射し、第一の電極膜１の融点以下かつ発電層２の沸点以上の温度を生じさせ、ＴＣＯ膜３諸共発電層２を吹き飛ばして除去することとした。 （もっと読む）

【課題】走行方向に延伸する溝と、当該走行方向とは交差するピッチ送り方向に延伸する溝とをともに速やかに形成できる加工機を実現する。
【解決手段】レーザ加工時に基板９を動かないよう保定する保定機構５と、走行方向に走行しかつその走行方向とは交差したピッチ送り方向にも移動可能な加工ノズル３と、基板９を下方から支持しながらレーザ加工時に固定の基板９及び架台７に対してピッチ送り方向に相対移動しレーザ光軸との干渉を回避可能な支持機構４とを具備する加工機１において、支持機構４に、走行方向に沿って延伸する複数の走行方向開口４１と、ピッチ送り方向に沿って延伸するピッチ送り方向開口４５とをともに設けた。 （もっと読む）

【課題】ＣＩＧＳ系薄膜太陽電池の製造過程においてＣＩＳＧ層に分離溝を形成する加工が難しい問題を解消する。
【解決手段】ＣＩＧＳ系発電層２の材料の沸点がＭｏ裏面電極膜１の材料の沸点よりも低いことを利用し、発電層２をセル単位に分割する分離溝２１を形成するレーザ加工工程（ｄ）の際、レーザ光４２を敢えて基板０側から当該基板０を透過させて第一の電極膜１に照射し、第一の電極膜１の融点以下かつ発電層２の沸点以上の温度を生じさせ、発電層２を吹き飛ばして除去することとした。 （もっと読む）

【課題】製造ラインに配設すべきレーザ加工機の数を減らすことができ、発電効率の向上をも見込めるような、新たな薄膜太陽電池の製造プロセスを提供する。
【解決手段】基板０上の第一の電極膜１をセル単位に分割する分離溝１１を形成した後、発電層２及び第二の電極膜３を重ねて製膜する。そして、発電層２及び第二の電極膜３をセル単位に分割する分離溝２１を形成しつつ、当該分離溝２１の両側縁部において第一の電極膜１と第二の電極膜３とを電気的に短絡するよう溶接する。しかる後、分離溝２１の一方側の側縁部において、第一の電極膜１と第二の電極膜３との溶接部分３１を電気的に絶縁するよう除去する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインに配設すべきレーザ加工機の数を減らすことができ、発電効率の向上をも見込めるような、新たな薄膜太陽電池の製造プロセスを提供する。
【解決手段】基板０上に第一の電極膜１、発電層２及び第二の電極膜３を重ねて製膜した後、これら積層膜１、２、３をセル単位に分割する分離溝１１、２１を形成する。次いで、分離溝１１、２１内に絶縁体６を塗布し、分離溝１１、２１の一方側の側縁部における第二の電極膜３と第一の電極膜１とを絶縁する。しかる後、分離溝１１、２１内に導電体７を塗布して、分離溝１１、２１の一方側の側縁部における第二の電極膜３と他方側の側縁部における第一の電極膜１とを短絡する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を大形の加工対象物の所要の箇所に照射して加工を行うレーザ加工機に関し、ガルバノスキャナを採用する場合の問題を回避する。
【解決手段】加工対象となる基板０を支持しながら所定の回転軸Ａ回りに基板０を回動させることが可能な支持体１と、前記支持体１に支持させた基板０の被加工面に向けてレーザ光を照射するとともにそのレーザ光軸を前記回転軸Ａと略平行な軸Ｂ回りに回動させることが可能なレーザ照射装置２とを具備するレーザ加工機を構成した。基板０の被加工面に向かうレーザ光の光軸の鉛直方向に対する角度θ₁と、支持体１に支持させた基板０の被加工面の水平方向に対する角度θ₂とは、θ₂≒θ₁／２の関係に維持する。 （もっと読む）