【課題】良好な圧電特性を有し、簡易なプロセスにて製造可能とする圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、プラズマを用いる気相成長法により、基板上に電極を介して圧電膜が成膜されている。圧電膜は１種又は複数種のペロブスカイト型酸化物（不可避不純物を含んでいてもよい）であって、基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状結晶体１７からなる柱状構造膜１３からなる。柱状構造膜１３の表面において観測される多数の柱状結晶体１７の端面１７ｓが、端面１７ｓの最小の外接円の径ｒが１００ｎｍ以下から５００ｎｍ以上に亘って分布する大きさを有しており、かつ外接円の径ｒが１００ｎｍ以下のものを２０％以上、５００ｎｍ以上のものを５％以上含むものであり、柱状構造膜１３の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 光誘起磁性材料と強磁性体の磁気的相互作用を利用することで、耐久性・環境性・微細構造に優れたインクジェットヘッドが可能となる。
【解決手段】 インク流路３を形成しているインク流路壁、インク流路壁の一部に振動板５、振動板５上部に光誘起磁性材料薄膜層２、光誘起磁性材料薄膜層２とインク流路３を挟んで対向する位置に強磁性体１を配置し、光照射により光誘起磁性材料薄膜層２の磁性を変化させることで、強磁性体１と磁気的相互作用を生じさせ、吸引及び反発を繰り返すことでインク流路３の体積変化を伴い、インクを吐出する。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出エネルギーを発生する発熱抵抗体の抵抗値を最適に設定して、高品位な画像を記録することができるインクジェット記録ヘッド、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】発熱抵抗層７０４によって、シート抵抗値が異なる発熱抵抗体を同一基板上に形成する。 （もっと読む）

【課題】 光誘起磁性材料と磁歪素子を組み合わせ用いることで、変位量が大きく、吐出制御性・耐久性・環境性に優れたインクジェットヘッドが可能となる。
【解決手段】 インク流路３を形成しているインク流路壁、インク流路壁の一部に磁歪素子１、磁歪素子１と同じ側に少なくとも一つの光誘起磁性材料薄膜層２を配置し、光照射によって光誘起磁性材料薄膜層２の磁性を変化させることで、磁歪素子１が変形し、インク流路３の体積変化によりインク吐出口４よりインクを吐出させる。 （もっと読む）

【課題】 既存の方式のインクジェットヘッドが有していた課題を解決するとともに、高速かつ高精細で経時安定した品質の画像プリントを可能にする。
【解決手段】 平行に形成された複数の液室と該液室からインクを吐出するためのノズルと振動板を有し、該振動板の変形にともなう該液室の容積変化によりインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、該振動板上に磁性体薄膜を形成し、該液室と平行な少なくとも１対の配線を配置させ、該配線に電流を流して発生した磁界と該磁性体薄膜による磁界との相互作用を利用した該振動板の変形でインクの吐出を行行う。 （もっと読む）

【課題】優れたインクジェットノズル組立体を提供する。
【解決手段】インクジェットノズル組立体は、フロアおよびルーフを有したノズルチャンバを備える。ルーフは、そこに画成されたノズル開口、およびフロアに向かって可動である移動部分を有する。組立体はさらに、ノズル開口からインクを吐出するために、複数のカンチレバービームを有する熱曲げアクチュエータを備える。アクチュエータの第１アクティブビームはルーフの総面積の少なくとも３０％を画成する。 （もっと読む）

【課題】高画質、高速描画に対応しつつ、低電圧で駆動することが可能であり、小型化が可能な液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】極性を有するインクを吐出するノズル２１と、ノズル２１に連通するとともに、インクが充填される液室２３と、を備えた液滴吐出装置において、液室２３内に、通電により膨張収縮変形可能な導電性高分子膜５０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多層構造の圧電素子の変形効率を高める。
【解決手段】圧力室１２とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子１７は、互いに積層された上層圧電体３４及び下層圧電体３５からなる圧電体層３１と、この圧電体層３１に付与される電場を発生する電極層３３，３６，３７とを備える。そして、振動板１４側から、共通下電極３７、下層圧電体３５、駆動電極３３、上層圧電体３４、共通上電極３６の順にそれぞれ積層して形成する。また、共通上電極を上層圧電体の幅方向一端から他端まで一連に形成し、さらに、共通上電極を共通下電極よりも幅広に設ける。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量をリニア制御することが可能であり、微細化が容易なアクチュエータを提供する。
【解決手段】機能液を吐出するノズル１４を備える圧力室１５と、一方の面が圧力室１５の一面を構成し他方の面が空隙２８に対面しており、圧力室１５の容積を拡大する方向、および縮小する方向に弾性変形可能な振動板２０と、振動板２０の少なくともどちらか一方の面上に積層配置された、表裏面を磁極とする薄膜永久磁石２２と、通電時に生じる磁束が薄膜永久磁石２２の膜面に対して略垂直となるように配置された電流経路２４と、を含むことを特徴とする磁気アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って電圧を印加して駆動させても、絶縁性を低下させず高い信頼性を有する圧電体薄膜素子、それを用いたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドを印字手段として備えたインクジェット式記録装置を得ること。
【解決手段】圧電体層１４は、第１，第２，第３の３つの圧電体層１４ａ，１４ｂ，１４ｃで構成され、第１及び第３の圧電体層１４ａ，１４ｃの各圧電定数は、いずれも第２の圧電体層１４ｂよりも小さくなっている。これによって、第１、第３の圧電体層１４ａ，１４ｃと対応する電極層１３，１５との界面に発生する内部応力を低減でき、高電圧印加や長期間駆動によるクラック発生の大幅な低減効果が期待できる。 （もっと読む）

【課題】金属イリジウム自身の持つ耐キャビテーション性、電気化学的安定性、耐熱性、耐熱衝撃性を確保しながら、コゲが付着しにくい表面性が得られるような耐キャビテーション膜を提案する。
【解決手段】インクを吐出するために利用される熱エネルギーを通電によって発生する発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に接続される電極とを有する電気熱変換体が具備されるインクジェットヘッドにおいて、
前記抵抗体上に耐キャビテーション保護膜が具備されており、
該耐キャビテーション保護膜が本質的にイリジウムとフッ素からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】金属不純物の析出を抑えて吐出特性及び駆動耐久性の高い静電アクチュエータを製造することが可能な静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ボロン拡散源５１を用いてＳｉ基板４１の一方の面にボロンドープ層を形成する工程を有し、エッチングストップ技術により当該ボロンドープ層を振動板として形成する静電アクチュエータの製造方法において、ボロンドープ層を形成する際のボロン拡散源５１に、Ｂ₂Ｏ₃を主成分とし、Ｒｈ含有量が０．４４ｐｐｍ以下のボロン拡散源を用いるものである。 （もっと読む）

【課題】大量生産する際に費用が嵩むことのないインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】インク排出口２４と相互連結され、磁気プレート１３に電気的に連結された電磁石コイル１１と可動壁１５から構成されるノズルチャンバを有し、ノズルチャンバは磁場内にあり、電磁石コイルを駆動すると、可動壁はローレンツ力を受けて動かされ、その結果インク排出口を介してノズルチャンバからインクが排出されるインクジェットノズル装置４。 （もっと読む）

【課題】液滴の制御を容易にする液滴射出装置を提供する。
【解決手段】本液滴射出装置は、マニホールドと、マニホールドに音響的に結合された粘弾性構造と、マニホールドに流体連通した複数の液滴発生器と、からなる。この粘弾性構造は、例えば約０．５ｋＨＺ乃至約５ｋＨｚの周波数範囲など、画像のバンディングを生じうる周波数を含む周波数範囲にわたって音響減衰をもたらすことができる。別の例として、粘弾性構造は、例えば約５ｋＨｚ乃至約４５ｋＨｚの周波数範囲など、画像に濃度ノイズを生じうる周波数を含む周波数範囲にわたって音響減衰をもたらすことができる。また、粘弾性構造は、液滴射出周波数を含む周波数範囲にわたって音響減衰をもたらすことができる。 （もっと読む）

２点係止式熱アクチュエータ（９０）は、対向するアンカー（１４）を有する凹部が形成されたベース部材（１０）を含む。ベース部材に、対向する係止縁部にて取り付けられる変形可能な部材（２０）は、低い熱膨張係数を有する第１の材料の第１の層（２２）と高い熱膨張係数を有する第２の材料の第２の層（２４）とを有する平らな積層体として構成される。変形可能な部材は、係止縁部の近傍に係止部（２４ａ）、及び、係止部間に中央部を有し、係止部の曲げ剛性が中央部の曲げ剛性よりも実質的に低い。
（もっと読む）

二点固定型熱アクチュエータは、対向する固定端を有する凹部を備えて形成された基盤要素を有する。対向する固定端の位置で基盤要素に取り付けられた変形要素が、低い熱膨張係数を有する第１の材料から成る第１の層と高い熱膨張係数を有する第２の材料から成る第２の層とを含む平面状の積層体として構築される。この変形要素は固定端に隣接する固定部分と該固定部分間の中心部分とを有し、固定部分の曲げ剛性は中心部分の曲げ剛性より実質的に低くされる。
（もっと読む）

【課題】ノズルプレートが無機材料によって形成された液体吐出記録ヘッドを低コストで歩留まり良く製造可能とする。
【解決手段】液体を吐出させるためのエネルギーを発生する発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を駆動するための電気回路とを備えたシリコン基板３の表面側に無機材料からなるノズルプレート６が積層され、シリコン基板３を貫通する液体供給口からシリコン基板３とノズルプレート６との間に設けられている流路２１へ液体を供給可能な液体吐出記録ヘッドであって、シリコン基板３の表面のうち、流路２１が設けられている部位に所定の深さの凹部８が形成され、その凹部８の上に吐出口７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 インクジェット・プリントヘッド・ヒータチップは、その上に複数の薄いフィルム層から形成され、かつ、使用に際してインク滴を噴射するヒータスタックを備えたシリコン基板を有する。この薄いフィルム層は、シリコン基板の断熱層と、断熱層上の抵抗層と、抵抗層上のドープされたダイヤモンド類似カーボン層と、ドープされたダイヤモンド類似カーボン層上のキャビテーション層とを含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層は好ましくはシリコンを含有し、また、窒素、チタニウム、これらの組合せ又は他の成分を含有していてもよい。シリコンを含有する場合は、好ましいシリコン濃度は、約２０〜約２５原子パーセントである。好適なキャビテーション層は、ドープされていないダイヤモンド類似カーボン層、タンタル層又はチタニウム層を含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層の厚さは、約５００〜約３０００オングストロームである。キャビテーション層の範囲は、約５００〜約６０００オングストロームである。インクジェット・プリントヘッド及びプリンタもまた開示される。
（もっと読む）

【課題】変位ばらつきをさらに改善することが可能な液体噴出装置及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体の内部に内部電極を具備する圧電アクチュエータを、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記内部電極と前記流路部材１１との間に前記圧電体よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とし、また、圧電体からなる振動板２の上に、一対の電極４、６で圧電体層５を挟持してなる変位素子７が複数設けてなる圧電アクチュエータ１を、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記振動板２の内部に該振動板２よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

複数台のノズル（３）と各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッド（１）が開示される。各ヒーター素子は、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱するように構成される。各ヒーター素子は２つの対向する面を有し、チャンバ（７）内でノズルよりも下に吊される。気泡はヒーターの両面に形成される。
（もっと読む）