【課題】変位ばらつきをさらに改善することが可能な液体噴出装置及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体の内部に内部電極を具備する圧電アクチュエータを、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記内部電極と前記流路部材１１との間に前記圧電体よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とし、また、圧電体からなる振動板２の上に、一対の電極４、６で圧電体層５を挟持してなる変位素子７が複数設けてなる圧電アクチュエータ１を、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記振動板２の内部に該振動板２よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インクの吐出効率を向上させることができ、また、市販の圧電プレートを用いた場合においても所望の吐出孔率が得られるインクジェット記録ヘッド、インクジェット記録措置、および圧電アクチュエータ特性調整方法の提供。
【解決手段】圧電アクチュエータが、前記圧力室に相当する領域を占め、電歪作用によって駆動される圧電駆動部と、前記圧電駆動部に隣接して設けられ、電圧を印加する電極が設けられる電極パッド部とを備えるとともに、前記圧力室の壁面に沿った溝が圧電アクチュエータの圧力室側の面に前記圧電アクチュエータの全幅に渡って形成されてなり、前記圧電駆動部と前記電極パッド部とは前記溝によって区分されてなることを特徴とするインクジェット記録ヘッド （もっと読む）

【課題】
インクが流れる孔を小さく、精度良く形成し、且つ耐食性を有するフィルタ部を備えたインクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】
インクを蓄える加圧室と、該加圧室にフィルタ部を通してインクを供給する手段と、前記加圧室からオリフィスを通してインク液滴を噴射する手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタ部と前記振動板が同一部材からなり、かつ、前記フィルタ部の隣接するフィルタ孔の中心間距離が等しく、フィルタ部厚さが前記フィルタ孔の最小距離の３倍以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動板の厚み制御性がよく、ＳＯＩウェーハを用いず、また熱工程に影響されない、圧電膜型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧力発生手段と振動板構造体を中間転写体上に形成する工程と、中間転写体上の圧力発生手段及び振動板構造体と第２の基板を接合する工程と、中間転写体を圧力発生手段と振動板構造体から剥離する工程によって製造する。また、中間転写体はシリコン基板とする。また、中間転写体はシリコン基板であり、且つ、多孔質層を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブをインクジェットヘッドのノズル表面の撥水性処理に適用したインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 液体が充填された加圧液室（１１８）に圧力発生手段（１１２）により圧力変化を生じさせ、加圧液室（１１８）に通じたノズル（１１９）から該液体を吐出させて記録媒体上に付着させるインクジェットヘッドであって、ノズル（１１９）が形成されるノズルプレート（１１４）表面にカーボンナノチューブ（１３０）が突出した撥水層が形成されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 変位量の大きいアクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるアクチュエータは、基板と、前記基板の上方に形成された下部電極と、前記下部電極の上方に形成された電歪ポリマー膜と、前記電歪ポリマー膜の上方に形成された上部電極と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 流路形成基板上に圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して振動板除去部を形成する工程と、少なくとも振動板除去部に対向する領域を覆って絶縁膜を形成すると共に絶縁膜に貫通孔を形成する工程と、流路形成基板上に密着層を介して金属層を形成して貫通孔を封止すると共に密着層及び金属層をパターニングしてリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして連通部を形成する工程と、貫通孔に対応する領域の密着層及び金属層をウェットエッチングにより除去する工程と、庇部をドライエッチングにより除去してリザーバを形成する工程と、リザーバを含む流路の内面に保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層及び金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の密着層及び金属層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着剤によって接着する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び密着層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、連通部に対応する領域の密着層をウェットエッチングにより除去する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、連通部側からウェットエッチングすることによって金属層を除去しリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子４とシリコンの振動板１８とを接合する際に、割れが発生してしまうことを防止する。
【解決手段】 インクを吐出するノズル、前記ノズルに連通する圧力室、前記圧力室の一側壁をなす振動板などからなり複数の板を積層して形成したインク流路部と、基台に圧電素子からなる柱状の振動子を列設して形成した駆動部とを有し、前記駆動部と前記インク流路部の前記振動板とを接合したインクジェットヘッドにおいて、前記振動板はシリコンであり且つ前記振動子との接合面側が薄い樹脂層で覆われ、前記振動子は前記樹脂層と接着剤により接合する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を備える圧電素子搭載装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】圧電素子搭載装置１０は、フレキシブル基板１と、フレキシブル基板１に設けられている圧電素子２と、フレキシブル基板１に設けられ、圧電素子２と接続され、スイッチング素子として機能する薄膜トランジスタと、を備える。圧電素子２は、フレキシブル基板１上にマトリクス状に複数配置されている。圧電素子搭載装置１０は、フレキシブル基板１を支持する支持部材１５をさらに備え、フレキシブル基板１のうち、支持部材１５により支持される箇所に挟まれた領域に、圧電素子２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 高解像度化が図れ、かつ小型化も図れるようにした液滴吐出ヘッドの製造方法と、その製造方法によって製造される液滴吐出ヘッドと、その液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、液体が充填される圧力室５０と、圧力室５０の一部を構成する振動板４８と、圧力室５０へ流路６６、６８を介して供給する液体をプールするプール室３８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有する液滴吐出ヘッド３２の製造方法であって、支持基板７６上に振動板４８を設けるとともに、振動板４８に圧電素子４６を設け、配線９０を備えた天板４０を振動板４８に設けた後、支持基板７６を振動板４８から取り外してなる圧電素子基板７０に、圧力室５０が形成された流路基板７２を接合する。そして、この製造方法によって製造される液滴吐出ヘッド３２と、その液滴吐出ヘッド３２を備えた液滴吐出装置１０とする。 （もっと読む）

【課題】 吐出不良を防止でき且つ流路形成基板の破壊を防止できる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 流路形成基板１０のノズルプレート２０側の面に、圧力発生室１２の列１３の周囲の少なくとも一部に連続的に設けられると共に流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着する接着剤２５が入り込んだ溝部１６を有し、且つ溝部１６が少なくともその一部に流路形成基板を貫通しない非貫通部を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 圧電層と電極との間の密着性を向上させることが可能な圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 絶縁材料層３１の表面上に複数の個別電極３２を形成するとともに、各個別電極３２の表面に凹部（貫通穴３２ａ）を形成し、個別電極３２の表面に圧電層３３を形成し、さらに、圧電層３３の表面に共通電極３４を形成するため、個別電極３２の表面上の圧電層３３の一部が貫通穴３２ａ内に入り込んで絶縁材料層３１に密着して、圧電層３３が個別電極３２から剥がれにくくなり、個別電極３２と圧電層３３の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であってもクロストークの発生を回避することができ、安定した流体噴射特性を得られるようにする。
【解決手段】基板１２上に形成された振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６と、当該振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６によって流体に圧力変化が与えられる圧力室２２と、当該流体の排出口２５とを備えたを備えた機能素子において、前記基板１２に前記圧力室２２へ通じる少なくとも一つの貫通孔３０を設け、その貫通孔３０を介して前記圧力室２２内への流体の供給を行い、前記排出口２５を介して当該圧力室２２内からの当該流体の排出を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】インクの滞留、インク漏れ、あるいは、電極にかかる短絡、マイグレーション等の問題発生につながる要素を徹底的に排除したインクジェットプリントヘッドに好適に用いられる圧電／電歪アクチュエータを提供すること。
【解決手段】２つの側壁６と、その２つの側壁６を接続する天井壁７及び底壁２と、を含む壁部により形成された１又は複数のセル３を具備し、少なくとも２つの側壁６が圧電／電歪作動部４で構成され、その圧電／電歪作動部４の変位によってセル３の容積が変化するセル駆動型圧電／電歪アクチュエータである。このセル駆動型圧電／電歪アクチュエータは、天井壁７に２つの微小孔８が備わるとともに、壁部のセル内面を全て覆う１層以上のシームレスな薄膜１７が形成されているところに特徴があり、このアクチュエータをインクジェットプリントヘッドに適用することにより課題が解決される。 （もっと読む）

【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）