【課題】圧電体層の厚さを均一に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数の流路形成基板用ウエハー１１０に順番に圧電体前駆体膜となる塗布溶液７３をスピンコート法により塗布する際に、圧電体前駆体膜の各層となる塗布溶液７３の塗布を開始する流路形成基板用ウエハー１１０の順番を所定枚数ずらして行う。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータへの液体の侵入を防止するシール性が低下しにくい。
【解決手段】ノズル２０とノズル２０に連通する圧力室１４とを含むインク流路が形成された流路ユニット４の上面に、隔離板６１を介して圧電アクチュエータ５が配置されている。圧電アクチュエータ５が圧力室１４内のインクに圧力を付与することにより、ノズル２０からインクの液滴が噴射される。圧電アクチュエータ５と流路ユニット４とは、ハウジング５１に支持されている。ハウジング５１と流路ユニット４との間には隙間が形成されている。隔離板６１がハウジング５１に向かって延びており、ハウジング５１と流路ユニット４との隙間を塞いでいる。 （もっと読む）

【課題】個別インク流路、ノズルフィルタといったノズル構造部材の寸法を変更することなく小型化され、かつコストダウンされたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１からインクを吐出するためのエネルギーを発生する、シリコン基板上に設けられたインク吐出圧エネルギー発生素子２を有する。また、該インク吐出圧エネルギー発生素子２に対応して設けられた吐出口１１に連通する個別インク流路１８と、シリコン基板１を貫通するシリコン基板貫通孔１３とを有する。さらに、シリコン基板貫通孔１３内に供給されたインクをインク流路に供給する共通インク供給口１７を有する。共通インク供給口１７は、シリコン基板貫通孔１３の開口部内に延出した延出部材により形成されている。延出部材に、個別インク流路１８を形成する個別インク流路壁１６の底面が当接している。 （もっと読む）

【課題】液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】リザーバ３２の壁面の少なくとも一部が傾斜した傾斜面１３１となっており、傾斜面１３１によって、リザーバ３２の鉛直方向下側が、鉛直方向上側よりも拡幅された下層部３２Ｂとなっており、下層部３２Ｂに相対向する領域には、リザーバの圧力を吸収するコンプライアンス部５１が設けられており、リザーバ３２の下層部３２Ｂよりも鉛直方向上側の上層部３２Ａから圧力発生室２１に連通している。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口の配置レイアウトの自由度を向上させることが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口１３を開設したノズルプレート４、及び、ノズル開口に連通する圧力発生室８を形成した圧力発生室プレート９を備えた記録ヘッド１において、ノズルプレートと圧力発生室プレートとの間に、圧力発生室とノズル開口とを連通する連通貫通口２４が開設されたノズル連通プレート５を複数設け、この連通貫通口によって１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を連通させる。 （もっと読む）

【課題】１つのノズルに対して複数の圧電体が配置された液滴吐出ヘッドにおいて、電気配線の高密度化を図る。
【解決手段】複数の圧電体７０の一方７０Ａを、電気配線７２によって駆動回路８２に共通に電気的に接続する。これにより、圧電体７０と駆動回路８２、８３を結ぶ配線数は、個別で接続される線に加えて、共通で接続される線になるため、すべてが個別に接続される構成に比して配線数が約１／２程度に低減する。このため、電気配線の高密度化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータにおいて圧電層を挟んで対向する電極間の位置ズレを検出する。
【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、下部圧電層４１及び上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が互いに積層されることによって形成されている。上部電極４５及び中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じていると、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積が増加又は減少し、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積がこれとは反対に増加又は減少する。そして、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量との差を検出し、検出した差が所定量よりも大きいか否かによって上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否かを判定するとともに、検出した差の値からその位置ズレ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】柱状壁の密着力を向上させて、より信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、吐出口２２と、インク液室４８と、インク吐出エネルギー発生素子２と、インク供給口２０と、インク流路４９と、インク供給口２０とインク流路４９との間に配置された柱状壁４５とを備える。インク吐出エネルギー発生素子２上に形成された複数の膜のうちの最上層のシリコン窒化膜１１に凹状開口４２が形成されている。柱状壁４５の第２の底面４５ｃは、凹状開口４２を介してシリコン窒化膜１１より下層のプラズマ酸化膜７に接合されている。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口が並べられて吐出口列が形成された記録ヘッドで気泡を膨張させてインク供給口側へ移動させる回復処理が行われた場合に、気泡がノズルからスムーズに除去される記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、発泡室３０３と、電気熱変換素子３０１と、吐出口３０２と、インク流路３０４とを有するノズル３１０を複数具えている。インク供給口３０７とインク流路３０４との間には、インク供給口３０７から発泡室３０３へ供給されるインクを間に通すことでインクに含まれる不純物をインクに対して分離させるためのノズルフィルタ３０６が複数配置されている。そして、インク流路入口３１１とノズルフィルタ３０６との間の距離をＬ１とし、隣り合うノズルフィルタ３０６の間の距離をＬ２とすると、Ｌ１とＬ２との関係がＬ１≦Ｌ２を満たす。 （もっと読む）

【課題】個別配線の引き出し領域を確保しつつ、確実にＧＮＤ電位を確保する。
【解決手段】ＧＮＤ表配線４６Ａ及びＧＮＤ裏配線４６Ｂは、第２貫通穴４３Ｂに充填された第２導電性部材４５Ｂを介して後述する圧電体５４の上部電極５２に接続されると共に、ＧＮＤ表配線４６Ａ側で基準電位端子４６Ｃと接続されている。ＧＮＤ裏配線４６Ｂは、裏面４２Ｂの全面に膜状に形成されると共に、第１貫通穴４３Ａの外側に環状の絶縁空間４３Ｃが構成されている。絶縁空間４３Ｃにより、第１貫通穴４３Ａからに充填された第１導電性部材４５ＡとＧＮＤ裏配線４６Ｂとの絶縁が行われている。表面４２Ａに配線された個別配線４４及びＧＮＤ表配線４６Ａは、樹脂保護膜４７で被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】
二段形状のノズル開口であっても、パンチが折れ難いノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】
金属板３１の一方の面から他方の面に向けて第１パンチ３６を金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に、底を有する第１下穴４０を形成する第１下穴形成工程と、
前記第１下穴を形成した金属板の一方の面から第１下穴の底に前記第１パンチよりも細い第２パンチ５０を打ち込むことにより、第１下穴の底に第１下穴よりも細い第２下穴４２を形成すると共に前記他方の面に膨出部５２を形成する第２下穴形成工程と、
第１下穴と第２下穴を形成した金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して前記両下穴を一連に貫通させてノズル開口とする貫通工程と、
を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室１２に液体を噴射するための圧力を付与するように形成された圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に接続されたリード電極９０と、リード電極９０に接続されるＣＯＦ基板４１０と、ＣＯＦ基板４１０をリード電極９０が設けられた面から立ち上がるように支持する支持部材４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】良好な液体吐出特性を備えると共に、コストを削減できる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２に圧力を付与する圧力発生手段と、圧力発生室１２に連通するリザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０とを具備し、リザーバ形成基板３０には、リザーバ部３１を封止する封止膜３２がリザーバ形成基板３０に一体的に設けられていると共に、封止膜３２を含むリザーバ部３１の内壁には耐液体性を有する液体保護膜４１が設けられており、封止膜３２と封止膜３２の表面に設けられた液体保護膜４１とが、リザーバ１００内の圧力変化を受けて変形するコンプライアンス部４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いても、高密度化を達成できる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１００は、第１方向に延伸している複数の圧力室１２ａ，１２ｂを有する基板１０と、基板の下方に設けられ、各圧力室に連続しているノズル孔２２を有するノズル板と、基板の上方に設けられた振動板と、振動板の上方であって前記各圧力室の上方に設けられた圧電素子３０とを含み、第１方向に直行する第２方向から見て、第１と第３のノズル孔２２ａは重なる位置に、且つ、第２及び第４ノズル孔２２ｂと重ならない位置に設けられ、第２方向から見て、第１と第３の圧電素子３０ａは重なる位置に、且つ、第２及び第４圧電素子３０ｂと重ならない位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】面積を比較的小さく作成できると共に、良好なインク吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッドとこの液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置とを提供する。
【解決手段】第１のリザーバ部３１が設けられたリザーバ形成基板３０とを含む流路ユニット４００を具備し、第１のリザーバ部３１は、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通部３１ａと、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対面側で且つ貫通部３１ａよりも他方の列の流路１６側に貫通部３１ａに連続して設けられた段差部３１ｂとを有し、他方の列の圧力発生室１２に連通し第２のリザーバ１０２の少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部２５が、流路ユニット４００の厚さ方向で段差部３１ｂと実質的に重なるように流路ユニット４００に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口により近い位置で温度を検出することが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】
ヘッドユニット１１には、温度センサ部５８がそれぞれ設けられている。この温度センサ部は、例えば熱電対からなり、温度を感知する感温部５９と、この感温部５９と温度検出回路７８との間を電気的に接続する配線部６０とから構成されている。本実施形態においては、流路形成基板４５のノズル形成基板３５との接合面の一部を反対面側に窪ませてセンサ収容部６１を形成し、ノズル形成基板に接する状態で感温部をセンサ収容部内に収容している。つまり、温度検出手段を、ノズル形成基板のインク噴射側の面とは反対側の背面に隣接させて配設している。 （もっと読む）

【課題】通常駆動時における圧電素子の駆動回路の特性を維持しつつ、本発明を適用しない場合に比較して圧電素子の共振周波数の検出精度を高めることができる圧電素子の駆動回路、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】内部電源端子７４ａにソース端子が接続されたＰＭＯＳ８６ａと、ドレイン端子がＰＭＯＳ８６ａのドレイン端子に接続されると共に、ソース端子が接地されたＮＭＯＳ８６ｂと、ＮＭＯＳ８６ｂと並列に接続された圧電素子６２と、を備え、インピーダンス・アナライザ７８が、圧電素子の共振周波数を検出するとき、圧電素子６２に対応する遮断周波数が共振周波数を超えるように、ＰＭＯＳ８６ａのゲート端子に電圧Ｖ_biasを印加し、かつＮＭＯＳ８６ｂのゲート端子に電圧Ｖ_in+ｖ_inを印加する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成された圧電装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電装置１００は、（１１０）単結晶シリコンからなる基板１０と、基板１０に形成された駆動ＩＣ５０と、基板１０の上方に形成され、駆動ＩＣ５０によって駆動される圧電素子４０と、を有し、駆動ＩＣ５０は、トランジスタ７０を含むアナログスイッチ５２を有し、トランジスタ７０は、チャネル方向が実質的に基板１０の＜００１＞方向である。 （もっと読む）

【課題】絞り部としての必要な流路抵抗を確保することができ、且つコンパクトで駆動電圧の低下が可能な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ベースプレート１５は、絞り部５３のそれぞれ一部となる、第１の絞り部形成孔５１が設けられた樹脂層１５ｂと、第２の絞り部形成孔５２が設けられた金属層１５ａの二層からなり、複数のノズル孔５にインク流路２２を介して連通する圧力室２１を有するキャビティプレート１６と、複数の圧力室２１にインクを供給するマニホールド室２６を有するマニホールドプレート１４ｂとの間に介挿して接合される。ベースプレート１５における一方の層材料からなる樹脂層１５ｂは、第２の絞り部形成孔５２の周辺を覆って、各圧力室２１内に収容された状態で他方の金属層１５ａに部分的に積層され、第２の絞り部形成孔５２よりも開口面積の小さい第１の絞り部形成孔５１が形成される。 （もっと読む）

【課題】外部電極をより高精度に形成することにより不良率を低減しうる圧電素子形成部材の製造方法を提供する。
【解決手段】個別内部電極１２と共通内部電極１１とが圧電材料層８を挟んで交互に積層された圧電振動板２３の表面に、上記個別内部電極１２に導通する個別外部電極１６と、共通内部電極１１に導通する共通外部電極１７が形成される圧電素子形成部材を製造する方法であって、上記圧電振動板２３表面の個別外部電極１６の形成領域と、上記共通外部電極１７の形成領域との境界領域にマスク材４を配置して外部電極形成材料を蒸着することにより外部電極を形成する際に、上記マスク材４が共通外部電極形成領域を横切る支持部材６を有する。 （もっと読む）