サーマルインクジェットヘッドは、抵抗体（１３０）から放散されインクを気化させずに基板（１２２）内を伝わる熱の一部分を冷却するために使用されるフィン（３５０）や突起（６５０）などの拡張面要素を備える。このヘッドは、光ビームと異方性エッチングを使用して製造される。 （もっと読む）

【課題】高密度化されたヘッドのスジムラの視認性を低減させる。
【解決手段】液体が充填される圧力室毎に設けられる略薄板状の複数の圧電素子の変位を利用して、前記圧力室内の前記液体を加圧し、前記圧力室に連通するノズルから前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記圧電素子の厚さ方向は、前記ノズルの液体吐出方向に略垂直であり、且つ、前記圧電素子は前記圧電素子の厚さ方向に複数配列されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】機能性薄膜の材料となる適正量の液体を精度よく吐出することができ、これにより基板上に常に均一な厚みの機能性薄膜を形成することが可能な信頼性にすぐれた塗布装置および液体吐出装置を提供する
【解決手段】電圧の印加により振動する圧電振動子１７を有し、その圧電振動子１７の振動により基板Ｗ上に液体を吐出するヘッド９と、圧電振動子１７に加わる電圧のレベルを調整する電圧調整回路３２と、圧電振動子１７に加わる電圧のレベルを検知する検知手段とを備えている。この検知手段の検知結果に応じて、電圧調整回路３２を操作する。 （もっと読む）

【課題】
使用温度範囲域で構成部材の熱膨張差に起因するそりや接着部の剥離がなくインクを安定に吐出でき、安価なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】
構成部材の全部若しくは一部を、チタンを主成分とするＴｉ_３（Ｎｂ，Ｔａ，Ｖ）＋（Ｚｒ，Ｈｆ）＋Ｏと表わされるβ型チタン合金にする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートと流路基板との貼り合わせ面において気泡等の空間の発生を防ぎ、液漏れのない、インク滴の吐出状態を均一に出来る高品質なインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 複数のノズルを有するノズルプレートと、ノズルプレートと貼り合わせることでなる、ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、インク供給路、及び共通インク室、並びにインク供給口とが形成された流路基板とを備え、ノズルプレートと流路基板とを貼り合わせて形成した流路ユニットを含むインクジェット式記録ヘッドにおいて、ノズルプレート及び流路基板の少なくとも一方は、圧力室、インク供給路、共通インク室及びインク供給口のいずれとも通じていない１つ以上の貫通穴を有している。 （もっと読む）

【課題】 共通電極と流路ユニットとが信頼性高く電気的に接続されるようにする。
【解決手段】 圧電シート４１〜４３が積層されたアクチュエータユニット２１が流路ユニット４に接着されている。圧電シート４１と圧電シート４２との間に共通電極３４が配置されている。アクチュエータユニット２１の流路ユニット４との接着面には、圧電シート４３を貫通する孔４９ａの開口が形成されており、共通電極３４と電気的に接続された導通配線４９ｂが孔４９ａ内に埋め込まれている。導通配線４９ｂの端部には端子４６が形成されている。流路ユニット４のアクチュエータユニット２１との接着面には凹部３０が形成されている。凹部３０の底面には凸部３０ａが形成されている。そして、端子４６が凸部３０ａと接して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって好ましい圧力検出が可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】正常吐出時の検出信号の周波数ｆo及び吐出異常時の検出信号の周波数ｆ1が検出信号のカットオフ周波数ｆBCよりも小さくなるように構成されるので、検出信号の電圧をモニタすることで、圧力室に発生する圧力波の周波数低下を伴う圧力異常を検出することができる。正常吐出時の検出信号の周波数ｆo及び吐出異常時の検出信号の周波数ｆ1を検出信号のカットオフ周波数ｆBCよりも小さくするには、圧力センサの静電容量、圧力センサから得られる検出信号に所定の信号処理を施す信号処理部の入力抵抗、該検出信号が伝送される配線の抵抗成分、容量成分が適宜設定される。 （もっと読む）

【課題】 高精細なインク流路を備えたインクジェット記録ヘッドを、歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口へ液体を供給するための流路と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、ネガ型感光性樹脂が流路形成用遮光膜パターンを介して複数積層されたネガ型感光性樹脂の積層物を、前記エネルギー発生素子が形成された基板上に形成する工程と、 該積層物に吐出口マスクを介して露光，現像することにより、前記吐出口と前記流路とを形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】薄板プレート上に形成された接着剤の層から、ノズル、液体貯留室又は液体流路等の開口部に対応する不要な接着剤の部分を物理的に除去してパターン化する工程で、プレートに塑性変形を生じないようにした液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】接着層形成工程２０１で、ノズル、液体貯留室又は液体流路等の開口部が形成されたプレートの少なくとも一面に接着剤が固形化した薄膜状の接着層を形成する。次に、接着層パターニング工程２０３で、プレート上に形成されている接着層における開口部上に対応した部分を、液中超音波にて物理的に除去する。この液中超音波による処理では、プレートに塑性変形を生じさせず、しかもバッチ処理により効率良く接着剤のパターニングを行うことができる。次に、接合処理工程２０５で、複数のプレートの相互間を接着層によって接合させて一体化して液滴吐出ヘッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】 サテライト液滴の発生等による悪影響を画像形成に与えることなく圧力室への液体のリフィルを促進することにより、安定した画像を高速で形成すること。
【解決手段】 所定の記録媒体向けて液体を吐出する複数のノズル５１と、複数の吐出口５１にそれぞれ連通する複数の圧力室５２と、複数の圧力室５２の容積をそれぞれ変化させる複数の第１の圧電素子５８と、複数の圧力室５２に連通する共通液室５５と、共通液室５５の容積を変化させる第２の圧電素子６８を備え、第１の圧電素子５８により圧力室５２の容積を縮小させてノズル５１から液体を吐出させた後に圧力室５２の容積を拡大させ、このような圧力室５２の容積の拡大後に第２の圧電素子６８により共通液室５５の容積を縮小させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】ダンパー効果を損ねることなく、積層・接着時の組立性の良いインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】圧力室１６の形成されたベースプレート１４と、スペーサプレート１３と、マニホールド室１２ａが圧力室１６と少なくとも一部が重なる位置に設けられたマニホールドプレート１２と、ダンパー壁２１ｂを有するダンパープレート１１と、ノズル１５が設けられたノズルプレート１０とを積層するにあたり、ダンパープレート１１をマニホールドプレート１２の上方または下方に接して挿入する。ダンパープレート１１は、マニホールド室１２ａに対面する部位に隔壁２１を隔てて隣接した複数の凹部２１ａを形成された板材１１ａと、マニホールド室１２ａと凹部２１ａとを仕切る可撓性のダンパー壁２１ｂを構成する薄膜材１１ｂを接合させて構成した。 （もっと読む）

サブピコリットルオーダー以下といった極めて微小な液滴を吐出する液体吐出ヘッドは、液体を小滴として吐出するための吐出口３と、該吐出口に対向する位置に設けられて液体に与える吐出用エネルギーを発生させるエネルギー発生素子１を有する。該エネルギー発生素子の面積を該吐出口に向かってそのまま移動させて形成される空間には材料部が存在しない。該吐出口のメニスカス面がそれより小さい面積を有する該エネルギー発生素子からの衝撃エネルギーを直接受けて、メニスカス面より小さい径の液滴がメニスカス面のほぼ中央部を破って吐出する。
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【課題】 膜面方向に加えられる外力に対する耐久性が高い圧電素子、圧電素子の製造方法、及び上記のような圧電素子を用いた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 基板ホルダ８４には、圧電膜が成膜される基材８２が載置される。基板ホルダ８４は、基板ホルダ駆動部８６によって駆動され、基材８２とターゲット材９６とのなす角度θが可変になっている。また、基板ホルダ８４は、基板ホルダ駆動部８６によって、ターゲット材９６に対して略垂直な回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。これにより、柱状の結晶体が集まった構造の圧電膜を成膜する際に、結晶体の基材８２に対する傾斜角を制御できる。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルが２次元状に配置されたマトリクスヘッドを備えたインクジェット記録装置において、主走査方向及び副走査方向に沿うすじむらの視認性を低減させ、好ましい記録画像を得ることができるインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル（５１）がマトリクス状に配置されたヘッド（５０）を用いて記録媒体（１６）上で重なり合うように形成される隣接ドット（１００）となるインク滴を打滴する際に、マトリクス配置されたノズルの列方向と主走査方向とのなす角度θを主走査方向を基準として０度＜θ＜９０度とするときに、記録媒体（１６）上における万線（１１０）の万線方向と主走査方向とのなす角度αを、主走査方向を基準として−９０度＜α＜０となるようにインク打滴が制御されるので、記録媒体（１６）上での着弾干渉が防止され、記録画像のすじむらの視認性を低減することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 共通電極と流路ユニットとが確実に電気的に接続されるようにする。
【解決手段】 圧電シート４１〜４３が積層されたアクチュエータユニット２１が導電接着剤からなる接着層６を介して流路ユニット４に接着されている。圧電シート４１と圧電シート４２との間に共通電極３４が配置されている。アクチュエータユニット２１の流路ユニット４との接着面には、圧電シート４３を貫通する孔４９ａの開口が形成されており、孔４９ａ内に共通電極３４と電気的に接続された導通配線４９ｂが埋め込まれている。導通配線４９ｂの端部には端子４６が形成されており、端子４６が接着層６と接している。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成において、低コスト化及び形成時間の短縮化を図るとともに、微細パターンの形成を可能としたパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明のパターン形成方法は、基板１８上に第１金属膜２８を形成する第１金属膜形成工程と、第１金属膜２８上に、パターンを形成しない基板１８上の位置に対応する第１金属膜２８が露出するようにマスクパターン３８を形成するマスクパターン形成工程と、マスクパターン３８をマスクとして第１金属膜２８上に絶縁膜４０を形成する絶縁膜形成工程と、マスクパターン３８を除去し、メッキ法により、マスクパターン３８を除去した第１金属膜２８上に絶縁膜４０をマスクとして少なくとも第２金属膜４２を形成する第２金属膜形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの変位をキャビティユニットに効率よく伝達しながら、圧電アクチュ−エータのセラミックス層をインクの侵入から保護する。
【解決手段】 圧電アクチュエータ２１は、複数の圧力室２４にわたって扁平な複数のセラミックス層４１〜４３を、その扁平な方向を圧力室２４が開口した面と平行にして積層して構成され、圧力室２４の開口を覆う側をセラミックス層とし、そのセラミックス層の圧力室と反対側に少なくとも一対の電極間に挟まれた他のセラミックス層を配置してなり、圧電アクチュエータ２１における圧力室２４の開口を覆うセラミックス層４１ａの少なくとも圧力室２４に対向する領域は、電気絶縁性を有する窒化物の保護膜５０で覆われている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高粘度液体の安定吐出を可能とする液体吐出装置の提供。
【解決手段】液体を吐出する複数のノズル５１と、複数のノズル５１のそれぞれと連通する複数の圧力室５２と、複数の圧力室５２のノズル５１が形成される側とは反対側に設けられ、複数の圧力室５２のそれぞれを変形する圧電素子５８と、を有する液体吐出ヘッドと、圧電素子５８と直列的に接続され液体吐出ヘッド内の液体を加熱する発熱素子と、圧電素子５８及び発熱素子の駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、圧電素子５８の駆動と同時に発熱素子を駆動することを特徴とする液体吐出装置の提供。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタヘッドとその製造方法、特に高性能化に関する。
【解決手段】複数のインク流路溝37が形成されたインク流路板33の下面に、圧電駆動電極53を内蔵する圧電基板52の上面が接合され、該圧電基板52には上面に開口する圧電干渉防止用スリット54が形成されたインクジェットプリンタヘッド51の製造方法において、複数枚の第１のグリーンシートに、圧電駆動電極53の電極パターンと圧電干渉防止用スリット54形成用貫通穴が形成された複数枚の第２のグリーンシートを重ね、焼成処理で一体化させた圧電基板52の製造に際し、複数枚の第２のグリーンシートの上に複数枚の第１のグリーンシートを重ねたのち、該貫通穴に第１および第２のグリーンシートより焼成収縮率が大きい無機組成物のペーストを充填することにより複数のグリーンシート間の位置合わせを行い、該焼成処理によって該ペーストの焼成体と該貫通穴の間に隙間を形成させる。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板に圧力発生室及び連通部を形成するエッチング工程と、リザーバ部と連通部とを連通させる連通工程とを具備し、且つエッチング工程よりも前に、連通部が形成される領域に振動板の厚さ方向の少なくとも一部を除去して凹部を形成すると共に、少なくともこの凹部に対向する領域が金属膜と金属膜の少なくとも何れか一方面側に存在する封止膜とからなるバリア膜で覆われた構造とし、エッチング工程では、流路形成基板をその他方面側から振動板及びバリア膜が露出するまでウェットエッチングすることにより圧力発生室及び前記連通部を形成し、連通工程では、凹部に対応する領域のバリア膜をエッチングにより除去してリザーバ部と連通部とを連通させるようにする。 （もっと読む）