【課題】熱膨張係数が大きく異なるセンサ素子と金属ステムとを接合部材を介して接合し得る圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサチップ５０と金属ステム４０に形成されるダイアフラム４３とを接合する接合層６０は、第１接合面６１の熱膨張係数がセンサチップ５０の熱膨張係数に等しく、第２接合面６２の熱膨張係数が金属ステム４０の熱膨張係数に等しく、第１接合面６１から第２接合面６２にかけて熱膨張係数が連続的に変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 燃焼機の燃焼室内の圧力を測る際の熱による影響を低減する。
【解決手段】 燃焼機用圧力検出装置用パッケージ１は、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、上面に形成された凹部５および凹部５から下面にかけて貫通した貫通孔４を有した基体と、基体２の凹部５を覆って上面に取着されたダイヤフラム３と、基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられた圧力検出素子６とを具備する。ダイヤフラム３から圧力検出素子６に熱が伝わりにくくなり、燃焼室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができるので、圧力検出素子６による圧力の測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 回路基板部を設け場合であっても燃焼圧センサを変更することなく低コスト性及び汎用性を高めるとともに、耐熱性部品及び耐振性部品、更には耐熱性構造及び耐振性構造に対する要求条件をより緩和させる。
【解決手段】 ケーブル部２を、長さの短いケーブル前部２ｆと長さの長いケーブル後部２ｒにより構成し、かつケーブル前部２ｆを、燃焼圧センサ５０ｓからの電気信号Ｓｄを入力可能に構成するとともに、ケーブル前部２ｆとケーブル後部２ｒの間に、ケーブル前部２ｆに入力する電気信号Ｓｄを、少なくとも増幅処理してケーブル後部２ｒに出力する回路基板部４を接続し、さらに、この回路基板部４を、密閉したケーシング部１２に収容し、かつケーシング部１２の内部に、回路基板部４を覆う絶縁性を有する充填材１１を充填する。 （もっと読む）

【課題】高温の用途における静電容量式圧力プローブまたはセンサを提供する。
【解決手段】静電容量式圧力センサ１００はプローブ筐体の内部検出チャンバ３０内に配設され、かつ、その中央部分上に形成される第１の電極５２を有する、サファイヤダイアフラム４２を含む。ダイアフラム４２の中央部分および第１の電極５２は、内部検出チャンバ３０内で、かつ圧力センサ１００によって、遭遇する圧力変動に反応して撓むように適合および構成される。その上に形成される第２の電極５４を有するサファイヤ基板４６は、サファイヤ積層を形成し、その間に基準チャンバ８０を画定するように、その周辺を中心として、サファイヤダイアフラム４２に融合される。サファイヤダイアフラム４２のサファイヤ基板４６への融合前に、全ての接触表面は、結合積層を形成し、融合に必要な温度を低下させるように、化学処理され、プラズマ励起を用いて準備される。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムの熱変形を抑制することができるとともに、燃焼室で発生する煤によって圧力検出精度が低下することをも抑制できる圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力センサ１０は、内燃機関の燃焼室に臨む位置に配設される。圧力センサ１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０に固定されているとともに、ハウジング２０の内側と外側とを区画しているダイアフラム３０と、ダイアフラム３０の変形に応じて出力値が変化するセンサ部５０と、ダイアフラム３０の外側の表面上で発泡してその外側の表面の全体を覆っている耐火性の断熱部材４０とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、チップ支持体とその上に配置されたセンサチップとを含むセンサモジュールに関する。本発明のセンサモジュールは、チップ支持体の第２の側に、凹部を有する少なくとも１つの部分的なカバーを備えており、チップ支持体および／またはセンサチップの熱を凹部の箇所で放出できる。本発明はまた、凹部を有するカバーを備えたセンサモジュールの製造方法に関する。
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【課題】ダイアフラム部の熱歪み誤差の更なる低減を図る。
【解決手段】ダイアフラム部５の外縁部５１に対してダイアフラム溝部５３を形成する。これにより、外縁部５１よりも薄肉となっている側壁部５４が形成され、薄肉部５２の径方向の拘束力が減少し、薄肉部５２が径方向へ熱歪みし易くなる。このため、側壁部５４が変位して薄肉部５２の熱膨張を径方向外側に逃がすことが可能となり、燃焼圧に対する薄肉部５２の変位方向における中央部５２ａの変位量をより抑制することが可能となる。したがって、中央部５２ａの変位量を十分に抑制できる、紙面上下方向の熱歪み誤差を低減できる。 （もっと読む）

【課題】内燃機関、特にオットーエンジンの燃焼室圧を検出するための装置（１１０）を提供する。
【解決手段】装置（１１０）は、センサハウジング（１２４）を備え、センサハウジング（１２４）は、内燃機関の燃焼室（１２６）に少なくとも部分的に挿入されるために設けられる。センサハウジング（１２４）内には、少なくとも１つの機械−電気変換素子（１４２）が収容されており、機械−電気変換素子（１４２）は、少なくとも１つのセンサホルダ（１５４）、特に当該機械−電気変換素子（１４２）を少なくとも部分的に囲むセンサホルダ（１５４）によって、センサハウジング（１２４）から隔てられている。センサホルダ（１５４）は、少なくとも部分的に剛性を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム部をエンジンヘッドに押し付けるようなシール面を必要としなくても放熱性を確保でき、かつ、燃焼室につながる誘導管を無くせるようにする。
【解決手段】ダイアフラム部９をセンサ本体とは別体とし、エンジンヘッド１０におけるセンサ装着穴１１の先端位置を覆うようにエンジンヘッド１０と一体化させる。このダイアフラム部９によってシールされることにより、燃焼室とセンサ装着穴１１とが完全に仕切られ、燃焼室内の燃料ガスがセンサ装着穴１１側、つまりセンサ本体側に浸入することが防がれる。そして、ダイアフラム部９がエンジンヘッド１０に直接接続されているため、放熱性を確保できる。また、ダイアフラム部９がセンサ装着穴１１の先端位置を覆うように固定されることでエンジンヘッド１０と一体化された構造であるため、燃焼室につながる誘導管を無くすことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】構成要素（１４）の内部における静圧を測定するための装置（１２）を提供する。
【解決手段】本装置（１２）は、構成要素（１４）に結合されたハウジング（２０）を含み、ハウジング（２０）は、その中に配置された可動構成要素（２６）を含み、可動構成要素（２６）は、構成要素（１４）の内部における静圧に応答して、作動可能に該構成要素（１４）内に伸長可能でありまた該構成要素（１４）から後退可能であり、また本装置（１２）はさらに、ハウジング（２０）内に配置されかつ構成要素（１４）の内部の流体から熱的に保護されたセンサ（５０）を含み、センサ（５０）は、構成要素（１４）の内部における静圧の測定を可能にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】センサチップのセンシング部を気密封止するための封止部材の破損を抑制し得る圧力センサを提供する。
【解決手段】センシング部が長手方向一側端部に形成されるセンサチップ４０において、このセンサチップ４０の長手方向中央部４０ｃは、長手方向に直交する断面の角部５５が湾曲状に形成されている。そして、センサチップ４０は、この長手方向中央部４０ｃにて接着剤６０を介してハウジング３０における他端部側の内周面３０ｃ支持されている。 （もっと読む）

【課題】流体の温度及び圧力を測定できる上限が高く、しかも高感度に圧力を検出できる検圧装置、及びその受圧部の成形方法を提供する。
【解決手段】検圧装置４は、導通部材１と弾性薄肉管２と検出手段３とを備える。導通部材１は、その一端５から他端６を貫く導通孔７が形成され、一端５から他端６の途中に、導通孔７に通じる検圧孔８が開放されている。弾性薄肉管２は、導通部材１の導通孔７に嵌入され、平面状の受圧部９が形成されている。検出手段３は、導通部材１にハウジング３１を介して固定されたロードセル１０と、受圧部９に加わる力をロードセル１０に伝達する連結部材１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】高温領域でも使用可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、測定用配管に固定されるハウジング２０と、このハウジング２０よりも比熱の小さいコネクタケース３０と、被検出媒体の圧力によるダイアフラム４２の変形に応じた電気信号を出力するセンサ素子４４と、この電気信号に応じた出力信号を作成する環状基板５０とを備えている。ハウジング２０とコネクタケース３０とを組み付けることにより形成される冷却室Ｓｃ内に、センサ素子４４および環状基板５０が配置されるとともに冷却液Ｗが充填される。 （もっと読む）

【課題】感圧素子を電気的に外部へ引き出すための電気経路に損傷が発生する可能性を従来に比べて低減することができ、従来に比べて信頼性の向上を図ることのできるグロープラグ一体型燃焼圧力センサの基板保持部材及びこれを用いたグロープラグ一体型燃焼圧力センサ並びに燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供する。
【解決手段】感圧素子１１は、配線基板１２の端部に固定されている。線基板１２の導体パターン１３と感圧素子１１とは、ボンディングワイヤ１４によって電気的に接続されている。基板保持部材４００は、外形が略円形で内側が矩形状の筒状とされており、ボンディングワイヤ１４の周囲を、当該ボンディングワイヤ１４との間に間隔を設けて覆い、かつ、内側の対向する内壁部で配線基板１２の側壁部分を保持している。 （もっと読む）

【課題】従来は、シリコンプロセスでチャージアンプのオペアンプを構成し、自動車エンジンなどの内燃機関の燃焼圧を測定する為にエンジンに近づけて設置した場合等の高温環境下で、シリコンで構成される保護回路のリークが増大することによって電荷が保持できず、チャージアンプを構成することができないという課題があった。
【解決手段】本発明のチャージアンプは、入力端子とオペアンプの負の端子との間に、直列に接続した保護回路と保護容量とを有し、接合リークと入力端子間を分離することで、蓄積された電荷が保護回路のリークの影響を受けないという構成を有している。このため、高温環境下においても接合リークの影響を受けないチャージアンプとすることができる。 （もっと読む）

【課題】受熱によるダイアフラムの変形を低減化する。
【解決手段】筒内圧センサはハウジング、金属ステム１３、およびダイアフラム１４を有す。ハウジング、金属ステム、およびダイアフラムを溶接して一体化する。ダイアフラム１４は内層１４ｉと外層１４ｏとを有す。内層１４ｉと外層１４ｏとを析出硬化系ステンレスによって形成する。異なる析出硬化熱処理を施すことにより、内層１４ｉの線膨張率を外層１４ｏの線膨張率より大きくする。内層１４ｉと外層１４ｏとを冷間圧延圧接法または電子ビーム溶接により接合させる。 （もっと読む）

【課題】 高温用静電容量式静圧／動圧センサを提供する。
【解決手段】 本発明は、ガスタービン・エンジンで用いるような高温用途のための静電容量式圧力プロ−ブに関する。本発明の静電容量式プロ−ブ又は圧力センサ１０は、特に、圧力ポート３６を有する内部の検出チャンバー４２と、検出電極６２に隣接して位置する内部の基準チャンバー５２とを画定するセンサ・ハウジング２０を含む。基準チャンバー５２は、ヘインズ２３０アロイから作られた可撓性ダイヤフラム４４により検出チャンバー４２から分離され、検出チャンバー４２内に加えられる圧力に応じたダイヤフラム４４の撓みが、検出電極６２により検出される静電容量値の変化に対応する。 （もっと読む）

【課題】内燃機関の筒内圧の測定に用いられるひずみゲージ等の使用環境を緩和する。
【解決手段】本発明の筒内圧測定装置１は、ボア外壁７２のひずみに対応するひずみ信号を出力するひずみ信号出力手段９４と、該ひずみ信号出力手段９４からのひずみ信号に基づいて筒内圧を導出する筒内圧導出手段８０とを備え、前記ひずみ信号出力手段９４は前記ボア外壁７２の冷却部位に設けられることを特徴とする。かかる構成によれば、ひずみ信号出力手段９４はボア外壁７２の冷却部位に設けられるので、その使用環境は緩和され得る。具体的には、前記冷却部位は、ウォータージャケット６６を区画形成するウォータージャケット画成部位である。 （もっと読む）

【課題】メタルケース９とキャップ１０との接合部分において熱膨張率の違いによる熱応力の影響を抑制し、また製造工程を減少してコストを安くすることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力伝達部材１１ａ、１１ｂにセンサ部２１を備え、圧力伝達部材１１ａ、１１ｂが撓むことでセンサ部２１に測定媒体の圧力が印加されるようにする。このような圧力センサによれば、圧力伝達部材１１ａ、１１ｂにセンサ部２１が備えられているのでメタルケース９とキャップ１０とを同じ材質で構成することができる。このため、メタルケース９とキャップ１０との接合部分において熱膨張率の違いによる熱応力の影響を抑制することができる。また、キャップ１０を特殊な材料を用いずに構成することができるため、キャップ１０の製造工程を減少することができ圧力センサを製造するコストを安くすることができる。 （もっと読む）

【課題】圧力センサをエンジンに取り付け、エンジンの燃焼室の圧力を検出するようにした圧力センサの取付構造において、圧力センサの胴体部の熱歪みを低減し、圧力検出誤差の低減を図る。
【解決手段】胴体部１の外面のうちシール面３３よりも胴体部１の一端部側の部位を、当該部位が燃焼室２０２内の燃焼ガスに直接接触するのを防止するカバー部材３００により被覆している。それによれば、カバー部材３００が、胴体部１の外面のうちシール面３３よりも胴体部１の一端部側の部位と燃焼ガスとの間を遮断することで、当該部位の熱負荷が低減するため、圧力センサ１００の胴体部１の熱歪みを低減し、圧力検出誤差の低減を図ることができる。 （もっと読む）