プロセス流体の圧力を測定するための圧力センサ（１０）は、容器（２８）と、電極（５０）と、ダイヤフラム（４８）とを含む。容器（２８）はプロセス流体を受ける。電極（５０）は容器（２８）の内壁に一体化している。ダイヤフラム（４８）は、少なくとも電極（５０）の一部を覆うように延び、プロセス流体の圧力に応じて電極（５０）に関連して動くよう構成されている。電極（５０）とダイヤフラム（４８）との間の静電容量はプロセス流体の圧力に関連する。
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本発明によっては、測定ガスの物理的な特性、特に内燃機関の排ガスにおけるガス成分の圧力、温度又は濃度を測定するため測定フィーラであって、フィーラケーシング（１０）内に保持されかつガス感受性のセンサ区分（１１１）で前記フィーラケーシング（１０）から突出するセンサエレメント（１１）と、前記センサ区分（１１１）を取巻く保護管（１２）とを有する形式のものが提供されている。排ガスに含まれた水滴と固体物質とに対するガス感受性のセンサ区分の有効な保護を、保護管（１２）の費用的に好適な製作と相俟って達成するためには、保護管（１２）は横断面で螺旋形を呈する管壁でスパイラル形状に構成されている。
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本発明は、基体４、４．１及び特に測定値を変換及び／又は伝送するセンサ素子５−５．４を有するセンサにおいて、センサ素子５−５．４に受容素子６−６．４が割当てられていることを特徴とする。
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本発明では、高周波共振器（２０）の領域において媒体の物理的特性を検出するための方法および装置が提案される。ここでは、高周波の交流電圧が高周波共振器に供給され、測定容量である媒体によって高周波共振器（２０）において引き起こされた透磁率変化が評価される。有利には、閉鎖的な空間内のガスまたは混合気の圧力（２１）または圧力差が検出される。前記閉鎖的な空間は、有利には内燃機関の燃焼室であり、前記閉鎖的な空間に、高周波共振器（２０）の導波構造体の開放端を使用して、高周波の交番的なフィールドが印加される。
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【課題】
【解決手段】密封チャンバを画成する部分と通じて取り付けられた第一のダイヤフラムと、好ましくは、スペーサにより、第一のダイヤフラムから電気的に絶縁された第二のダイヤフラムとを有するチャンバを画成する部分を含む、圧力を検知する装置である。ダイヤフラムは、可撓性であり且つ導電性表面を有している。センサチャンバが第二のダイヤフラムの両側部に取り付けられている。該センサチャンバは、検知する雰囲気と通じた開口部を有している。ダイヤフラムの一方は、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、他方のダイヤフラムは、無孔であり、センサチャンバ内の圧力変化に応答して一方のダイヤフラムから又は該一方のダイヤフラムに向けて動く。電気的接続部は、センサチャンバ内の圧力の関数としてダイヤフラムの間の静電容量を測定する。
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外側面の異なる位置に、ガス圧力計（９）を取付ける圧力計取付部（２）と、外部からガスの給排気を行う給排気部（３）と、弁棒（１２）を挿入することができると共に、配管接続機能を有するアダプタ（１１）を取付けるアダプタ取付部（４）が設けられた収納スペース（６）と、上記収納スペースと連通する連通路を有し、外部から、上記収納スペースに挿入される弁棒（１２）を操作するハンドルを挿入するための作業穴（７）、とが設けられ、内部には、上記圧力計取付部と、給排気部と、収納スペースとをそれぞれ連通するガス通路（５）が形成されたガス配管用ブロックおよびコノブロックを用いたガス配管である。ガス配管において必要な、開閉と給排気の機能を一つの部品に集約し、外形寸法の縮小とコスト低減を図ったもの。 （もっと読む）

タンク内に収容された流体又はダクトを流れる流体の圧力の検査装置が、次のものを備える。即ち、装置１００、装置１００の外側を覆う軸対称の外部容器（１）であって、カウンタばね（３）により連結本体（２）に対する遠位位置に保持されるものとを有する。外部容器（１）は、前記本体（２）に対して軸方向に摺動し、これにより、装置（１００）の非起動状態から起動状態への切換えが許容される。このような装置（１００）の切り換えは、外力（Ｆ）に起因する。

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本発明は管路内部に流れる液体を検査する測定装置用コネクタに関し、前記コネクタは円板状取り付けリング（１１）を有し、前記リングは２つの実質的に平坦な平面（１２，１２′）、外側表面（１３）および軸方向に貫通する開口（１５）を決定する内側表面（１４）を有する。取り付けリング（１１）は少なくとも１個の放射状ドリルホール（１６）を有し、ドリルホールは外側表面に通じ、測定装置に接続できる。本発明は更にこの種の測定装置を備えた測定プローブおよび（メタ）アクリル酸とアルカノールの反応による（メタ）アクリル酸アルキルエステルの製造方法へのこの測定プローブの使用に関する。
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【課題】システムの漏れ個所の低減と、取り付けボルトの締め付けによる機械的ストレスが測定誤差を大きくするのを防止する。
【解決手段】圧力モジュール（２００）は圧力センサ（２０４）から流体隔離部材（２０６，２０８）へ延長されている管（２１０，２１２）を有するセンサアッセンブリ（２０２）を含む。圧力センサはモジュールハウジング（２１４）内の空洞（２１６）内に収容される。モジュールハウジングは接合部によって流体隔離部材に接合されて空洞内へのプロセス流体の漏れに対する障壁を提供する支持部材（２１８，２２０）を含む。モジュールハウジングの底面外側のねじ付きプロセス入口部（２３０，２３２）はモジュールハウジング内のプロセス通路（２３６，２３８）を通じてプロセス流体を流体隔離部材に接続する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基部に配置されたセンサ要素と、基部に近接する位置に配置されたカバーとを有する、センサ装置及び検知方法が開示されている。該カバーは、全体として、センサ隔膜と、カバーの一部を形成することができる凹部とを有している。フランジ付き領域又はフランジ付き部分を、カバーの底部分に接続することもできる。フランジ付き領域は、センサ装置を取り付ける保持具と接触する面を提供し、該面は、そのセンサの作動中、センサ隔膜が保持具と接触し、また誤りを誘発させるのを防止するような要領にてセンサ装置を保持具に対して保持する。カバーは、カバーの底部分に接続し且つ、底部分を取り囲むフランジ付き部分又はつば形状部分を有することもできる、フランジ付き部分は、センサ隔膜に対し平行に配置することができる。
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本発明は、容量型センサに関するものであって、密封キャビティを備えたハウジングと；キャビティ内に配置されたプレートと；キャビティの一部を形成し、なおかつ、プレートから離間して配置された、ダイヤフラムと；このダイヤフラム上に設けられた第１導電性層と；プレート上に設けられた第２導電性層と；を具備し、第１導電性層および第２導電性層が、キャパシタの両電極を形成し、このキャパシタのキャパシタンスが、プレートに対してのダイヤフラムの位置に応じて変化するものとされている。
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本発明によれば、特に薄膜基板を処理するために適した、磁化可能な基板例えば特殊鋼基板のための支持装置に関する。このために、本発明による支持装置は、少なくとも１つの磁気作用を有するベースエレメント（１）を備えており、該ベースエレメント（１）が、基板（２）のための少なくとも１つの受容部（７）を有している。
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【課題】小型の圧力センサを提供すること。
【解決手段】感圧素子２０を有するコネクタハウジング３０と，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０とを有している。そして，センサハウジング４０に対してコネクタハウジング３０を一定の挿入軸線に沿って挿入することにより感圧素子２０とシールダイヤフラム４３との間には圧力室４２が形成されている。コネクタハウジング３０には，該コネクタハウジング３０に作用する上記挿入軸線に略平行な荷重を受けるためのコネクタ側荷重面３８を圧力室４２に露出させて設けてある。また，センサハウジング４０には，該センサハウジング４０に作用する上記挿入軸線に略平行な荷重を受けるためのセンサ側荷重面４３８を圧力室４２に露出させて設けてある。さらに，圧力室４２には，一方の面がコネクタ側荷重面３８に当接すると共に，他方の面がセンサ側荷重面４３８に当接するスペーサ６０が配設されている。 （もっと読む）

【課題】接合強度がさらに向上し、充分な歩留まりが得られるようになる力学的物理量変換器の製造方法およびその変換器の提供。
【解決手段】陽極接合においては、シリコン酸化膜11に含まれる酸素イオンの数と接合強度とが密接な関係にあるので、上ガラス30の表面に非晶質のシリコン酸化膜11を成膜するにあたり、モノシランガスに対して適度な量の亜酸化窒素ガスを加えてシリコン酸化膜11の成膜を行えば、陽極接合時に移動する酸素イオンの数が増え、シリコン酸化膜11が形成された上ガラス30とシリコン基板２との接合強度が向上し、これにより変換器の歩留まりが改善される。 （もっと読む）