【課題】広い面積の測定領域における温度分布を効率的に測定することができ、軸対称でない温度分布も測定対象とすることができるレーザー・スペックルによる温度測定方法および装置を提供する。
【解決手段】レーザー発振器１からのレーザー光を散乱する散乱板２１〜２３と、散乱レーザー光を平行光線とする平行化レンズ３１〜３３と、平行レーザー光を集光する集光レンズ５１〜５３と、レーザー光のスペックル・パターンを検出する画像センサー６１〜６３とを備えたスペックル検出系を複数系統使用する。複数系統のスペックル検出系を、レーザー光が測定領域内のそれぞれ異なる領域を通過するように配置する手順と、レーザー発振器から複数系統のそれぞれのスペックル検出系にレーザー光を入射する手順と、それぞれのスペックル検出系によるスペックル・パターンの検出結果を総合的に処理することにより測定領域の温度分布を求める手順とを有する。 （もっと読む）

【課題】低温においてマルテンサイト変態を生じる低熱膨張材料を機器内部に使用している精密機器において、その低熱膨張材料のマルテンサイト変態の発生有無を、機器を分解することなく、極めて安価かつ簡便に知ることができるようにする。
【解決手段】機器内部で使用している低熱膨張材料と同一の材料によって形成した低温履歴表示板３１を機器の外面に設ける。低温履歴表示板３１の表面は鏡面研磨する。低温履歴表示板３１を観察するだけでマルテンサイト変態の発生を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】改良された、遠隔で空気を検知する方法および光学的に空気データを検知するシステムを提供すること。
【解決手段】遠隔で空気を検知する方法であって、該方法は、同調可能なレーザによってレーザ放射を生成することと、該レーザ放射を投射される成分およびコントロール成分にスプリットすることと、 該コントロール成分を１つ以上の電子的コントロール信号に変換することと、 該投射される成分を空気に投射して、散乱放射を誘発することと、該散乱放射の一部分を後方散乱放射として受信することと、該後方散乱放射を１つ以上の電子的後方散乱放射信号に変換することとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】非接触、高精度で気体の温度を容易に３次元測定可能な温度測定装置を提供する。
【解決手段】気体の温度を測定するために、対象とする温度場６に対し、複数の方向Ａ、Ｂ、Ｃから、背景に置かれた粒子パターンの描かれたシート１をインライン照明し、温度場６によって生じる屈折率の変化をＣＣＤカメラＡ、Ｂ、Ｃ方向で撮影する光学的可視化法を適用し、複数のディジタル画像を作成する。それらの画像に相互相関アルゴリズムならびに代数的再構成法と呼ばれるコンピュータトモグラフィー解析法を用いて、温度変化による光の屈折率分布を算出する。さらに屈折率と温度の関係を適用することにより気体の３次元温度分布を計測できる。 （もっと読む）

【課題】理論スペクトルと実測スペクトルのフィッティング（マッチング）による温度の計算について、その計算時間を短縮するための新規の技術を提案する。
【解決手段】 前回の温度分析で求められる或る温度（Ｔｂ・Ｔｃ・Ｔｄ）を基準とする第一温度範囲（ＴＣ〜ＴＤ）内にて定義される一部の理論スペクトルと実測スペクトルのフィッティングを行って概算温度Ｔαを求めることを少なくとも一回行うステップ（Ｓ１・Ｓ２）と、前記概算温度Ｔαを基準とし、前記第一温度範囲よりも狭い第二温度範囲（ＴＥ〜ＴＦ）内にて定義される全部の理論スペクトルと実測スペクトルのフィッティングを行って算出温度Ｔβを求めるステップ（Ｓ３・Ｓ４）と、を有することとする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】温度検知要素により、正確なその場温度測定を可能にする。温度検知要素は、プロセスチャンバ内に配置される。温度検知要素は、空洞を有しており、空洞の開口部を覆うように透明カバーが配置されている。材料が、温度検知要素の空洞内に配置され、センサが、透明カバーを通して材料の相変化を検知するよう構成されている。 （もっと読む）