【課題】 構造が簡単で容易に製造することができ、且つ、プローブ先端の向きによる測定誤差の検証にも使用することができる、高精度な３次元測定機検証用長尺ゲージを提供する。
【解決手段】 ３次元測定機のプローブが当接する基準測定面となる基準孔１Ｂが、上面と下面間を貫通して長手方向に沿って複数配列されている横断面矩形状の長尺なゲージ本体１Ａと、前記ゲージ本体の下面とこれに直角な一方の側面に突設された複数の支持脚１ａとを備えている。これらの支持脚は、前記下面と前記一方の側面のそれぞれの長手方向両端近傍位置と中央位置に、扁平な２等辺３角形の頂点となる配置で突設され、ゲージ本体は、これらの下面または一方の側面の何れかの支持脚で３次元測定機の測定テーブル面に支持される。 （もっと読む）

【課題】
コンタミネーションの付着を低減する、微細な基準寸法を有する、電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材を提供する。
【解決手段】
少なくともシリコンを含み、予めピッチ寸法が求められている回折格子の配列よりなる電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材において、寸法校正用標準部材の溝パターンの表面に１ｎｍから５ｎｍのシリコン酸化膜を形成することによって、電子ビーム照射によって付着するコンタミネーション量を低減する。 （もっと読む）

【課題】基準面を従来よりも効率的、かつ、高精度に仕上げることができる基準器を提供すること。
【解決手段】基準器である直定規１は、長尺状の本体２を備え、この本体２は、当該本体２の長尺方向に沿って略平行に伸びる四つの平坦面３〜６を有する。このうちの一つの平坦面３には、長尺方向の両端を結ぶ互いに略平行な２条の溝部３１が形成され、平坦面３は、溝部３１によって、三つの範囲に区分されている。平坦面３の隣り合う溝部３１で挟まれた範囲が基準面３３とされ、その両側にガイド面３４，３５が形成されている。この基準面３３をラッピング仕上げ法で仕上げる際に、直定規１の自重および押圧力によりラッピング剤の研磨砥粒が、基準面３３の端部だけでなく、溝部３１に向かっても移動して、この溝部３１が研磨砥粒の逃げ場となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】削正位置を正確に確認することができるうえ、作業効率の向上が図れる。
【解決手段】レール削正用定規１は、レール頭部２Ａを包囲するように形成されたフレーム３と、フレーム３をレール２に固定させるための固定手段１０と、フレーム３がレール２に固定された状態で、レール２の中心軸線Ｏ方向に直交する方向に延びる基準面２１ａを有し、レール２の頭頂面２ａに当接するとともに、フレーム３に中心軸線Ｏ方向に沿って移動可能に設けられた移動する基準定規２１と、基準面２１ａに沿って移動可能であるとともに、基準面２１ａより中心軸線Ｏ方向のレール２側の位置に先端指示部２２ａを有する判定子２２とを備えている。 （もっと読む）