【課題】電磁駆動力によって可動する可動部材の動きを簡素な構成で直接検出し、異常発生を確実に診断する。
【解決手段】ステップモータのモータ軸６５の下端部に作動検出軸６７を連設し、作動検出軸６７の下端部にスプリングによって付勢されたバルブ軸５３の上端部を当接させる。また、作動検出軸６７の軸方向の規定位置に作動検出軸６７の外周面から径方向に突出する複数の爪状の突起部材６８を配設し、電磁駆動部の下部にモータ軸６５の進退動作に応じて作動検出軸６７の各位置の突起部材６８と接触する突起部材６９を固設する。モータ軸６５の可動範囲の最小位置或いは最大位置への移動に伴って突起部材６８，６９が接触して振動若しくは音が発生するため、この振動若しくは音をセンサ７０で検出することにより、軸体（可動部材）の動きを簡素な構成で直接検出して異常発生を確実に診断することができる。 （もっと読む）

【課題】測定機の測定速度を自由に設定でき、この測定機の暗振動も考慮した校正を行える校正用円環状部品を、低コストで得られる構造及びその製造方法を実現する。
【解決手段】円環状素材１４に、所定の数の凸部１２、１２を有するスプライン軸１１を圧入する事により、この円環状素材１４の外周面にこれら各凸部１２、１２に対応する数の凹凸を形成する。そして、この外周面に研磨加工を施す事により、これら各凹凸を除去してこの外周面をほぼ円筒面とする。その後、上記円環状素材１４をこのスプライン軸１１から抜き取る事により、測定面である外周面に、所定の大きさの振幅を有し、上記各凹凸に対応する数の凹凸を、互いに滑らかに連続した状態で形成して、上記校正用円環状部品を得る。これにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに折り畳んで容易に持ち運ぶことができ、部品の搬入現場などで簡便に使用することできる三次元座標測定機を提供する。
【解決手段】１対のコラム２，３がベース１上に垂直に立設可能に配置され、１対のコラム２，３間にＸ軸ガイド４が水平に固定される。Ｘ軸ガイド４内でＸ軸方向に移動可能にＸ軸移動部７が配設される。ベース１上にＹ軸ガイド５が水平に配設され、Ｙ軸ガイド５内にＹ軸方向に移動可能にＹ軸移動部８が配設される。Ｚ軸ガイド６がＸ軸移動部７に対し垂直に固定され、Ｚ軸ガイド６内にＺ軸方向に移動可能にＺ軸移動部９が配設される。１対のコラム２，３が、ベース１上のコラム基部２ａ，３ａに対し折畳み軸２ｂ、３ｂを介して折畳み可能に連結される。プローブ１０が、Ｚ軸移動部９に対し着脱可能に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】運動誤差の補正を高精度に行える方法を提供する。
【解決手段】予め基準ワーク32を形状測定して得ておいた校正値信号を用いて測定ワーク40を形状測定して得られた測定値信号から運動部26の運動誤差による測定誤差を除去する方法において、該校正値信号は固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該基準ワーク32を形状測定した際の検出器36出力信号から該基準ワーク形状成分を除去したものであり、該測定値信号は該固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該測定ワーク40を形状測定した際の該検出器36出力信号から該測定ワーク形状成分を除去したものであり、該校正値信号を用いて該測定値信号に含まれる成分のうち該校正値信号と最も形状相関の高い成分を運動誤差成分として適応的に除去する工程(S10)を備えたことを特徴とする誤差補正方法。 （もっと読む）