【課題】素子の変形により電気的変化を生じるセンサであって、時間が経過しても感度が低下しないセンサを提供する。
【解決手段】電歪素子の変形により静電容量変化を生じる電歪センサ（４０）において、第１の電歪材料層（１）およびその両面に各々配置された一対の電極（３ａ、３ｂ）より構成される第１の電歪素子（１０）と、第２の電歪材料層（１１）およびその両面に各々配置された一対の電極（１３ａ、１３ｂ）より構成される第２の電歪素子（２０）と、これら電歪素子間に挟持された基材（２５）とを含む受感部（３０）を設ける。受感部（３０）は、外力の作用を受けることにより変形である。第１および第２の電歪材料層（１、１１）の静電容量をそれぞれ測定可能なように、各電極に引出し線（５ａ、５ｂ、１５ａ、１５ｂ）が接続される。第１および第２の電歪材料層（１、１１）は、１０μｍ以下の厚みおよび２０以上の比誘電率を各々有するものとする。 （もっと読む）

【課題】クリアランス測定システムを提供すること。
【解決手段】クリアランス測定システム（１２）は、通常なら連続する表面幾何形状を有する第１の物体（１４）上に配設された参照幾何形状（８６）と、第２の物体（１６）上に配設されたセンサ（６４）とを含む。センサ（６４）は、第１の物体（１４）からの第１の感知パラメータを示す第１の信号と、参照幾何形状（８６）からの第２の感知パラメータを示す第２の信号とを生成するように構成される。クリアランス測定システム（１２）はまた、第１と第２の物体（１４、１６）の間のクリアランスを推定するために、第１および第２の感知パラメータの間の測定差に基づいて、第１および第２の信号を処理するように構成された処理ユニット（１９８）を含む。 （もっと読む）

【課題】 センサ精度を低下させることなく被取付部に簡単、かつ確実に取り付けできるようにする。
【解決手段】 一端側が開口されたハウジング９と、該ハウジング９の開口端を塞いで取り付けられた蓋体１３と、蓋体１３の内面に固定してハウジング９内に配設された歪みゲージＡとを備え、蓋体１３の一部に、ハウジング９の開口部外周より外側へ向かって延び、かつ、先端側がハウジング９の閉端側方向へ向かって斜めに反り返されている取付け部１４を有し、蓋体１３の反り返っていない内側部分１３ａの外表面をアーム８の表面に当接させ、かつ、反り返っている取付け部１４の反り返しを戻して、この取付け部１３ｂを、アーム８の表面にスポット溶接して取り付けるようにする。 （もっと読む）

【課題】エンドタブ部のサイドエッチング量のばらつきを軽減させるエンドタブ形状を有するストレインゲージを提供する。
【解決手段】ベース材である樹脂フィルム上に貼着した金属箔に、グリッド部とエンドタブ部とを有するパターンをエッチング技術により形成して成るストレインゲージにおいて、前記エンドタブ部は、前記エンドタブ部にかかるサイドエッチングの影響を前記グリッド部にかかるサイドエッチングの影響と同等にする形状にパターニングされて成ることから、エンドタブ部のサイドエッチング量のばらつきを軽減し、一定形状のストレインゲージ作製を可能とするものであり、これによるエンドタブ比のばらつきの軽減に伴い、クリープ特性のばらつきが軽減されたストレインゲージを、歩留まり良く生産可能とするものである。 （もっと読む）