【課題】膜厚測定の対象測定領域内の絶縁性薄膜の膜厚の空間分布を得る。
【解決手段】試料と、カンチレバーに保持された探針との間に可変直流電圧を印加する原子間力顕微鏡を用いて、絶縁性薄膜の膜厚分布を測定する膜厚評価方法で、試料の測定領域に電圧を変化させて印加するとともに、発生電流および絶縁破壊電圧を測定し、前記測定領域のうち任意の１点の膜厚を基準値として、各測定点の絶縁破壊電圧および（１）式の関係に基づいて、前記測定領域内の相対膜厚の分布を求めることとする。
膜厚＝絶縁破壊電圧÷絶縁破壊電場強度 （１） （もっと読む）

本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なうための装置に関する。装置は、複数の処理局と、処理すべき対象を保持するための保持装置を備えている送り装置とを有している。送り装置はそれぞれの保持装置によって保持されている対象をある処理局から後続の処理局へと規則的に運搬するよう構成されている。複数の処理局の内の一つが検査局であり、該検査局は電圧源と、該電圧源と接続されている電極と、評価ユニットとを有している。評価ユニットは、電極と検査局にあるそれぞれの対象との間の電圧変化を検出するよう構成されている。更に本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう装置のために相応に構成されている検査局並びに丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう方法に関する。
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【課題】プローブと測定試料との間にミクロンオーダーの距離を保持しつつ、試料の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ移動機構３によりプローブ２をＸＹ平面方向に走査させ、走査に伴う複数位置において、プローブ移動機構３によるプローブ２のＺ軸方向の位置又は電圧印加機構による印加電圧を変化させてプローブ２と試料表面との間に絶縁破壊を発生させ、絶縁破壊が生じたときの位置測定機構４又は電圧測定機構６の測定結果に基づいて試料の表面形状を得る。 （もっと読む）

【課題】微細加工用工具を用いて、精度よくかつ実用的に微細精密加工を行なうことのできる工作機械及び加工方法の提供を目的とする。
【解決手段】工具６を工作機械１の主軸５に取り付ける工具取付け工程（Ｓ４）と、主軸５を実加工と同じ条件で回転させる主軸回転工程（Ｓ５）と、主軸５の位置を安定化させる安定化工程（ステップＳ６）と、工具６を被加工体７の近辺まで接近させて、工具６と被加工体７との間の放電現象を検知する放電検知工程（Ｓ７）と、放電された位置データより被加工体７の加工原点を算出する原点算出工程（Ｓ８）と、算出された被加工体７の加工原点に基づいて加工位置へ主軸６を移動させ加工を開始する加工工程（Ｓ９）と、加工条件が変化しているときは、主軸回転工程（Ｓ５）から加工工程（Ｓ９）までの工程を再度実行する方法としてある。 （もっと読む）

【課題】人手に頼ることなく、対向して非接触で回転するローラ部材Ａとローラ部材Ｂとの間の周期的に変動する空隙距離の空隙距離計測方法及びこの方法を使用した現像カートリッジの検査装置の提供。
【解決手段】対向するローラ部材Ａとローラ部材Ｂとの間にＡＣ電圧を印加し、前記ローラ部材Ａと、前記ローラ部材Ｂとの間の空隙距離を計測する空隙距離計測方法において、少なくとも非接触の状態で前記ローラ部材Ａと前記ローラ部材Ｂのどちらか一方を回転させながら、前記ＡＣ電圧と流れた電流を測定することによって放電開始電圧Ｖｓを求め、前記放電開始電圧Ｖｓを基点に前記ＡＣ電圧を上げた時の前記ローラ部材Ａと、前記ローラ部材Ｂとの間の放電電流の変化量を測定することで、前記ローラ部材Ａと前記ローラ部材Ｂとの間の空隙距離の回転による変動量を計測する空隙距離計測方法。 （もっと読む）