位置検出のための誘導位置センサーが、送信機コイルと受信機コイルとを含み、受信機コイルが、送信機コイルが交流電源によって励起される時、受信機信号を発生する。移動可能なカプラーは、送信機コイルと受信機コイルとの間の誘導結合を、受信機信号がカプラー要素位置に敏感なように、変更する。例えば、カプラー要素は、送信機コイルおよび受信機コイルの共通の中心軸の回りを回転することができる。更なる例において、参照コイルが、提供された参照信号が、カプラー要素の角度位置での変動に実質的に不感であるように、構成される。受信機信号と参照信号との間の比率は、カプラー要素位置に対して敏感であるが、実質的に同程度で参照信号と受信機信号に影響するコモンモード因子に対しては、実質的に不感である。
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本発明は、電磁誘導を使用して、導電性の測定対象のオブジェクトの寸法および／または電気的特性を、非接触式に測定するための方法に係る。この方法において、電磁場が、測定対象のオブジェクトを貫通するように発生される。本発明は、以下の方法ステップにより実現される；トランスミッタ・コイルを、測定対象のオブジェクトの一方のサイドに配置する；レシーバ・コイルを測定対象のオブジェクトのもう一方のサイドに配置する；磁場を、トランスミッタ・コイルの中に発生させる；トランスミッタ・コイルの中に発生させた磁場に、一つのレベルから他のレベルへの突然の変化を生じさせる；レシーバ・コイルの中に誘導される電圧を検出する；トランスミッタ・コイルの中での磁場が変化する時間Ｔ２から、レシーバ・コイルの中に電圧が誘導され始める時ｔ１までに、経過した時間を決定する；誘導される電圧の強さを決定し、そして、測定対象のオブジェクトの厚さおよび／または電気伝導度を計算する。
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本発明は、測定対象のオブジェクト（２）の、例えばその幾何学的寸法またはその電気伝導度などのような、被調査特性を、電磁誘導を使用して非接触式に決定するための方法に係る。この方法において、電磁場が、測定対象の前記オブジェクト（２）の一方のサイドに配置されたトランスミッタ・コイル（３）の中に発生され；測定対象の前記オブジェクト（２）を貫通する磁場が、測定対象の前記オブジェクト（２）のもう一方のサイドに配置されたレシーバ・コイル（４）により検出される。本発明は、下記工程を有している：コントロール・コイル（５）を、前記トランスミッタ・コイル（３）の近傍に配置する；前記トランスミッタ・コイル（３）の磁場の中に変化を発生させる；前記コントロール・コイル（５）の中の磁場の変化を検出する；前記レシーバ・コイル（４）の中の磁場を検出する；前記コントロール・コイル（５）の中と前記レシーバ・コイル（４）の中で、それぞれ磁場の変化が検出される時間の相違を決定する；測定対象の前記オブジェクト（２）を磁場が貫通する時間（Ｔ２）を決定する；その時間から、測定対象の前記オブジェクト（２）の厚さまたは電気伝導度を決定する。

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【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）