【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】より簡単に画像測定機の校正を行うことができるようにする。
【解決手段】標準尺５１は、被検物を撮像して得られた観察画像に基づいて被検物の部位間の距離を測定する画像測定機の校正に用いられる校正器である。標準尺５１には、原点からの長さを示す目盛１０１と、目盛１０１の真値を得るための器差が内包されているコード１０２が設けられている。画像測定機の校正時には、画像測定機によりコード１０２の読み込みとデコードがされ、これにより得られた器差から目盛１０１の真値が算出される。そして、画像測定機により各目盛１０１を対象とした距離測定がされ、その測定結果と、コード１０２から得られた真値とから、画像測定機の測定誤差が求められる。目盛１０１の真値を得るためのコード１０２を標準尺５１に設けることで、より簡単に校正を行うことができるようになる。本発明は、観察システムに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】被検物に対する被検面の形状測定データの座標を高精度に求めること。
【解決手段】マーク形成工程（Ｓ１）と、形状測定工程（Ｓ２）と、マーク検出工程（Ｓ３）と、座標算出工程（Ｓ４）とからなる干渉計測方法であり、Ｓ１のマーク形成工程では、被検物の被検面に基準マークを形成する。マーク検出工程では、形状測定工程で得られた形状測定データからエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置を検出する。座標算出工程では、マーク形成工程にて形成された被検物の座標系を基準とする基準マークの位置情報と、マーク検出工程にて検出されたエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置情報との対応関係を求める。この対応関係に基づき、形状測定工程により得られた形状測定データを被検物の座標系に変換する演算を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度に光学素子の収差を測定する。
【解決手段】２光束干渉計１００Ａは、参照光の光路に配置され、円偏光の回転方向を逆にすると共に円偏光の位相をシフトする半波長板１０４と、半波長板を回転することによって位相シフト量を変更する半波長板回転手段１１１と、被検光の光路に沿って被検物Ｏの前後に配置され、円偏光を直線偏光に変換する一対の１／４波長板１０６ａ及び１０６ｂと、両１／４波長板が同一方向の進相軸を有するように両１／４波長板を回転する回転手段１１２及び１１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノイズ耐性が大きく、比較的短時間で位相つなぎを実行できる２次元位相データの位相つなぎ方法および、これを用いた干渉測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は２次元の位相分布を表す位相データに含まれる位相ジャンプを補正するための位相つなぎ方法であって、ある測定点および該測定点の周囲にある複数の測定点を用いて局所的な近似面を生成する手法を用いて、各測定点に関連した複数の近似面を構築するステップ（ｓ２〜ｓ４）と、隣接する近似面の間に位相ジャンプがある場合、一方の近似面に対して位相２πを加算または減算することによって近似面の位相つなぎを行い、参照近似面を生成するステップ（ｓ５）と、参照近似面と該参照近似面の生成に使用した測定点との間に位相ジャンプがある場合、この測定点に対して位相２πを加算または減算することによって測定点の位相つなぎを行うステップ（ｓ６〜ｓ９）等を含む。 （もっと読む）

【課題】縞感度の正確な値を容易に得ることができ、高精度に測定できる斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】プリズム底面１４１に対する予備測定用光の入射角θ_ｉを変更し、撮像手段１６にて検出される合成光の参照光領域の強度に基づいて入射角θ_ｉが臨界角θ_Ｃ１となる状態を検出する。続いてプリズム底面１４１に対する入射角θ_ｉを前記臨界角θ_Ｃ１に固定する。この臨界角θ_Ｃ１でプリズム底面１４１に測定用光を入射する。測定用光は予備測定用光より波長が長いので、一部の光がプリズム底面１４１を透過し合成光が形成される。この合成光に基づいて被測定面Ｓを測定する。縞感度の値は、予備測定用光および測定用光の波長から正確に定まるので、被測定面Ｓに対する入射角θ_ｔを直接測定する必要がなく、容易に該縞感度の正確な値を得ることができる。該縞感度で測定することで高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】白色干渉計測装置において、比較的短時間でカラー画像を取得し、かつ同時に複数の波長を使用して高さ情報を求める。
【解決手段】白色干渉計測装置（１）は、対象物（６００）に対して、相互に異なる波長を夫々有する第１光、第２光及び第３光を相互に独立に照射可能な照明手段（１１０）と、照明手段から照射された第１光、第２光及び第３光の各々の光路に配置された干渉対物レンズ（１３０）と、対象物を撮像可能な撮像手段（１２０）と、対象物及び干渉対物レンズ間の距離を変更可能な距離変更手段（１４０）と、距離を連続的に変更するように距離変更手段を制御しつつ、第１光、第２光及び第３光の各々を、所定の時間間隔で順次照射するように照明手段を制御すると共に、干渉対物レンズを介し、第１光、第２光及び第３光の各々の照射と同期して対象物のモノクローム干渉画像を複数撮像するように撮像手段を制御する制御手段（２５０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定用プローブの動きの検出方法および測定機器を提供する。
【解決手段】予め定められた像平面上に物体平面を結像するようになされた対物レンズと前記物体平面との間に設けられた測定用プローブの動きを検出するための方法が開示されている。さらに、対物レンズと測定用プローブとを含む測定機器が開示されている。光の入射ビームを測定ビームおよび参照ビームに分割する。対物レンズによって測定ビームをコリメートさせるために、測定ビームを対物レンズの後側焦点面に集光させる。コリメートされた測定ビームを測定用プローブにおいて反射させる。対物レンズが反射測定ビームを後側焦点面に集光させるようにするために、反射測定ビームを対物レンズの方へ向ける。反射測定ビームがコリメートされる。コリメートされた測定ビームおよび参照ビームを重ね合わせて重畳ビームを生成し、反射測定ビームと参照ビームとの間の干渉を検出する。 （もっと読む）

【課題】機械的な動作を低減することによって測定に要する時間を短縮し、且つモーションアーチファクトを抑制できる干渉測定装置を提供する。
【解決手段】干渉測定装置１は、複数の波長成分を含む光Ｐを出力する光源１１と、第１分岐光Ｐ_１が被測定物９により反射されて生じる第１反射光Ｒ_１と第２分岐光Ｐ_２が反射ミラー７３により反射されて生じる第２反射光Ｒ_２とを干渉させて当該干渉光ＲＩを出力する干渉光学系と、第１分岐光Ｐ_１の光路上に設けられた第１レンズ２１と、第２分岐光Ｐ_２の光路上に設けられた第２レンズ２２と、干渉光ＲＩの干渉パターンを撮像する撮像部５１とを備える。第１レンズ２１による各波長成分の焦点位置は第１レンズ２１の軸上色収差に起因して第１分岐光Ｐ_１の光軸方向に並んでおり、各波長成分毎に異なる光軸方向位置における干渉パターンを撮像部５１において撮像する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定装置において、大気の揺らぎに起因するレーザ干渉測長器の測定誤差を低減することができ、曲率半径の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置１００は、可干渉性の光束を参照面で参照光と測定光とに分割し、この測定光を曲面からなる被検面８ａに向けて集光位置Ｐに収束するように照射し、被検面８ａの被検面反射光Ｌ_３と参照光とを干渉させて干渉縞を観察する干渉計２と、干渉計２の光軸Ｃ方向に沿って集光位置Ｐに対する被検面８ａの相対位置を変化させる移動機構１４と、移動機構１４によって移動される反射鏡に測長光を照射して移動距離測定を行うレーザ干渉測長器１０と、レーザ干渉測長器１０と反射鏡との間で、測長光の光路に沿う方向に伸縮可能とされ、測長光の光路を側方から囲繞する蛇腹カバー９とを備える。 （もっと読む）

【課題】平行平面板の被測定面に対して高精度な測定を行うことが可能な干渉測定方法を提供する。
【解決手段】所定の参照面６ａおよび平行平面板５の被測定面５ａに、互いに干渉しない異なる波長を有する２種類の可干渉光を照射する第１のステップと、２種類の可干渉光が照射された参照面６ａおよび被測定面５ａからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第２のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面５ａの高さを測定する第３のステップとを有し、平行平面板５における被測定面５ａと反対側の面５ｂからの反射光の影響を排除するように２種類の可干渉光における波長の関係および、参照面６ａと被測定面５ａとの間の光学距離を調整するようになっている。 （もっと読む）

【課題】被測定体によって形成される光束の波面を高精度（例えば、高空間周波数のうねり成分まで）、且つ、短時間で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】参照面を有する光学系と、検出面を有する検出部とを備え、前記光学系によって前記検出面に形成される被測定体又は基準面からの被検光束と前記参照面からの参照光束との干渉パターンを前記検出部で検出する測定装置を用いて、前記被測定体によって形成される光束の波面を測定する測定方法であって、前記測定装置における位相伝達関数及びパワースペクトル密度を用いて、前記測定装置による測定結果から前記光学系に起因する波面誤差を分離する測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換法による波形解析においてデータ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を確実に抑える。
【解決手段】本発明の波形解析方法は、フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４、Ｓ１５）と、モデル作成手順で作成されたモデル波形へ本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、テスト解析手順で算出された特定成分とモデル波形の実際の特定成分との差異を、テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を介して得られる干渉縞に不明瞭な部分がある場合でも、不明瞭の部分の透過波面を精度よく算出することができる波面計測方法及びそれを用いた波面計測装置を得ること。
【解決手段】 被検物を透過した光束の透過波面を算出する波面計測方法において、光束を被検物に第１の角度で入射させ、透過した光束を用いて形成した干渉縞画像から２次元位相画像を算出する位相算出工程と、該位相算出工程で算出された２次元位相画像から干渉度合の違いに基づいてマスクを生成するマスク生成工程と、被検物に光束を第１の角度と異なる第２の角度で入射させ、透過した透過波面を第１の角度における透過波面に合致するように変換する波面変換工程と、前記位相算出工程で算出された２次元位相画像及びマスク生成工程で生成されたマスク及び波面変換工程からのデータをもとに位相接続を行う位相接続工程と有すること。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、構成を簡素化することができ、光軸調整後に迅速に干渉縞観察を行うことができるようにする。
【解決手段】レーザ光源２からのレーザ光Ｌ_１を参照レンズ６の参照面６ａと被検体２０の被検面２０ａとに照射し、参照面反射光Ｌ_４と被検面反射光Ｌ_３とを重畳して干渉させて干渉光束を形成し、この干渉光束の干渉縞の像を観察する干渉計１であって、干渉光束の入射方向側の表面が反射面９ｂとされ、その中心部に干渉光束を透過させる開口９ａが形成された絞り板９と、干渉光束の光路上で、絞り板９の反射面９ｂと対向して配置されたハーフミラー面８ａと、絞り板９の開口９ａを透過した光を集光する撮像レンズ１０と、撮像素子１１とを備え、撮像レンズ１０は、ハーフミラー面８ａを介して、反射面９ｂと撮像面１１ａとを共役の関係にするように設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】フィゾー型干渉計を用いた装置を用いて、微小径略半球レンズの面精度測定とレンズ表面の欠陥観察とを高精度に行うことの可能な面精度測定及び表面欠陥観察装置、並びに面精度測定及び表面欠陥観察方法を提供する。
【解決手段】フィゾー型の干渉計光学系を用いた、被検レンズ７の被検面の面精度測定と被検面の欠陥観察をする装置である。被検レンズ７の位置調整に際し、被検レンズ７の位置を確認可能に構成された第一の光束制御板８_１と、中心に開口部８_２ａ、周囲に遮蔽部８_２ｂを有する第二の光束制御板８_２と、中心に遮蔽部８_３ａ、周囲に開口部８_３ｂを有する第三の光束制御板８_３とを有し、これらの光束制御板のうち所望の光束制御板を干渉計光学系の参照面５ａからの反射光の集光点Ｐ_１を含む干渉計光学系の光軸Ｚ_１に対して垂直な仮想平面上に挿脱可能な光束制御手段８を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ広ダイナミックレンジで被測定物の表面形状を測定することができる干渉測定装置を提供する。
【解決手段】干渉測定装置１は、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。制御部９０は、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が複数の目標値に順次になるように、駆動部７２，８２を介してピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作を制御する。制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の部品、構成の変更や大掛かりな補正をすることなく、被測定物の複数の被測定個所の寸法を正確に測定できる寸法測定方法を提供する。
【解決手段】光波干渉を用いて、予備値が既知の被測定物の相対向する端面間の寸法を、複数の被測定個所において測定する寸法測定方法であって、平行光線を直進光と参照光とに２分割し、直進光の光路中に、直進光の波面に設定した測定位置と複数の被測定個所のうちの１つとが重なるように被測定物を挿入する設置過程と、直進光が被測定物に反射した反射光を参照光と干渉させ、得られた干渉縞を基に被測定個所の寸法を求める測定過程と、を複数の被測定個所の全てについて実施する。 （もっと読む）

【課題】斜入射干渉計及び斜入射干渉計の較正方法の改良に関する。
【解決手段】斜入射干渉計は、可干渉性の光束を参照光束と測定光束とに分割し、測定光束が被測定物に斜入射されかつ被測定物の被測定面で反射された測定光束を参照光束と合成して干渉光束を生じさせる。干渉光束を撮像した干渉縞画像からの干渉縞信号に基づき被測定面の形状を解析する解析処理装置とを備え、解析処理装置には被測定面として平坦面と平坦面に対して平行でかつ高さが異なりしかも高さが既知の段差面を有する較正用治具に基づき入射角絶対値を求める較正手段が設けられ、較正手段は高さを入力する入力手段と、平坦面と段差面とに基づく干渉縞画像から被測定面に対応する位相分布を算出する位相分布算出手段と、位相分布に基づいて平坦面と段差面との位相差を算出する位相差算出手段と、位相差に基づき入射角絶対値を算出する入射角算出手段とを有する。 （もっと読む）