【課題】 合焦面を測定断面とし、測定対象の相対移動の結果、測定断面により測定対象を走査して、複数の測定断面の画像から合焦度に基づき輪郭線を順次抽出し、測定対象の三次元形状を測定する方法において、測定対象の相対移動方向が撮像レンズ系の光軸に垂直もしくは交差する方向に設定でき、測定対象の大きさと移動方向の設定の自由度が大きい測定法を得る。
【解決手段】 撮像レンズ系を両側テレセントリック光学系として構成し、撮像レンズ系の光軸に対して斜めに設定した測定断面ＡＢが合焦面となるように二次元撮像素子３の受光面ａｂを撮像レンズ系の光軸に対し斜めに設定し、撮像レンズ系の光軸に対し垂直もしくは交差する方向に測定対象１を相対移動させることにより測定断面ＡＢにより測定対象１を走査して、複数の測定断面の画像の合焦度比較により最大合焦度の画素を検出する。 （もっと読む）

【課題】標本の三次元像中の任意の三次元領域を指定することにより、光刺激やフォトブリーチを、標本中の対応する領域に正確に行うことができ、立体構造を有する標本の光刺激後の挙動解析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】立体標本９の光学的断面画像を取得する走査光学系Ａ及び検出光学系Ｂと、これにより取得された光学的断面画像から三次元像を構築する処理や、構築された三次元像中の所望の三次元領域を指定する処理や、指定された三次元領域に基づき励起光又は刺激光を照射するための断面領域を取得する処理や、取得された断面領域に対応する立体標本９の領域に励起光又は刺激光を照射する処理等を行うコントロールユニット１４等を有するよう、共焦点観察システムである共焦点レーザ顕微鏡装置を構成する。 （もっと読む）

ウェハ上またはデバイス上の微細構成を破壊することなく測定できるようにするために、本発明は、少なくとも１つの蛍光発光局所構造体（２２）が共焦点顕微鏡（１）を用いて励起光で走査され、対物レンズ（１５）の焦点面（１９）中の焦点（１７）から放射され励起光で励起された蛍光が検出され、前記焦点（１７）の位置および検出された蛍光信号から測定データが得られる、ウェハ（２）上またはデバイス上の３次元局所構造体（２２）を測定する方法を提供する。 （もっと読む）

加工物の形状、輪郭および／または粗さを測定するための測定装置（１）は、大きな開口数を有する非接触光プローブに基づいている。プローブは、少なくとも２つの光受容体が関連付けられる少なくとも２つの異なる焦点を有する。２つの光受容体は、加工物表面がプローブの測定範囲内に維持されるように、光プローブを追跡するための位置決め装置（１３）を制御するための差分信号を生成する。差分信号は、センサ器具（３）の位置の高速かつ正確な追跡をもたらすことが分かっている。
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本発明は、表面の３次元検査及び測定用の両用（共焦点干渉）方式光学側面計に関する。本発明は、光源（ＬＥＤ）、ビームスプリッタ（少なくとも一つは偏光性）、照明パターン発生手段（ＬＣｏＳマイクロディスプレイ）、及び標準のレンズの形状では共焦点像が得られ干渉レンズでは干渉像が得られる交換可能な顕微鏡レンズを備える。本発明によれば、マイクロディスプレイは、共焦点像を得るために一連の光パターンを発生するか又は干渉像を得るために全ての光画素の全開口を生成することができる。本発明の側面計は小型に設計されており、異なる材質を含む組織化又は層状化された試料を含むミクロン及びナノメートルスケールの任意の型の表面の形状及びテクスチャの迅速及び非接触の測定が可能である。
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光源（１）と、ビームを制限するための絞り構造（３）と、光源から放射されて絞り構造を通過する光（５）を測定すべき物体（６）に収束させるための結像光学系（４）と、物体に当たって後方散乱してから同じ絞り構造または観察光路（７）に配置された別の絞り構造を通過する光（５）に対する受信光学系（１０）と、２つの放射感度のあるセンサ素子（１３、１４）を備える画像受信機（１０）とが含まれる。高さ情報を含んだ測定撮影を生成するために、光路の光学距離変更手段（１１）が、一方の光源（１）および／または画像受信機（１０）と他方の物体（６）との間に配置され、焦点の光学距離（ｄ）を所定の方法で変更可能である。露光時間（Ｔ）中における観察光路（７）の光強度に対する、２つのセンサ素子（１３、１４）での電荷の蓄積量（Ｑ１３、Ｑ１４）と、結像光学系（４）から画像平面までの光学距離（ｄ）との関連を成立させる。 （もっと読む）

【課題】 光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

本発明に従う測定ヘッド（４）は、好ましくは回折レンズであるゾーンレンズ（２６）と半球レンズ（２３）又はＧＲＩＮレンズ（３３）の組み合わせを有する。これは、高い開口数を有する非常に細い測定ヘッド（４）になる小型化の可能なコンセプトを表し、従って、ベストな解像能力をもたらす。このような測定ヘッドは、測定ヘッドの測定すべき表面への指向に関する角度誤差又は測定ヘッドの光軸に対する面の斜めの位置決めに対して反応しない。
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深度情報を含む画像を生成する方法と装置が提供される。この方法では、場面から発する放射を検出し、異なる面における場面の少なくとも２つの画像を形成する。各画像は強度データ値のセットを有する。データ値の変動が得られ、強度分散の２つのセットがデータ値から得られ、強度分散データは深度情報を得るために処理される。深度情報は、画像データにおける異なる深度情報を識別するためにコード化される。

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光源（１）と、光源（１）により照明されるときに基準物から生じる後方散乱光を受光するための光検出器（３）とを備え、光検出器（３）への後方散乱される光の強度を近接度の尺度として利用することにより、第１の物体（目標物）と第２の物体（基準物）との間の近接度を検出するための装置に関する。目標物（２）は、焦点面（７）を有し光源（１）により照明される光学デバイス（４）を含む。光源（１）からの光線の軸と光検出器（３）への後方散乱による光線の軸とは互いに非常に接近し、ほぼ平行又は一致する部分を有する。近接度は目標物（２）と、ほぼ焦点面に位置する基準物（６，８）との間の間隔（相対位置）に相当する。
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試料の面積またはコンフルエンスは、試料と試料の周りのバックグラウンドに関する定量的位相データを得ることにより決定される。試料の境界は、位相データ測定値のヒストグラムを作成し、ヒストグラムの導関数を取って、それにより最大スロープの点を決定することにより、定量的位相データから決定される。境界に適用可能なデータ値を求めるために、既定のデータ値を上回るか下回るデータ値は試料内にあると見なすように導関数上の最もよく適合する線が使用される。
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【課題】 被写体の視覚情報である２次元画像情報と赤外線により被写体の距離情報である３次元画像情報を検出する３次元画像検出装置において、各検出を迅速かつ常に合焦された状態で行う。
【解決手段】 ＣＣＤの色分離フィルタＦに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各波長を中心にした狭い帯域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタと赤外領域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタを用いる。ＲＧＢの色フィルタが設けられた画素に対してコントラスト方式の焦点調節を行う。２次元画像情報を検出後、メモリ２４に記録されたデータに基づいて、レンズ駆動回路２７を駆動し光学系の焦点面を所定距離移動させる。赤外線レーザをレーザダイオード１４ａから照射して３次元画像情報として検出する。 （もっと読む）

【課題】 被写体や照明光の影響を受けることなく、正確な３次元情報の入力が可能である３次元情報入力カメラを提供する。
【解決手段】 ３次元情報入力カメラは、被写体または照明光についての撮影条件を検出する撮影条件検出手段を備える。投影手段１は、２種以上のパターン光を選択可能に投影できるように構成される。投影手段１は、撮影条件検出手段による被写体または照明光についての撮影条件検出結果に基づいて、投影するパターン光の種類を選択して投影する。 （もっと読む）