【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 効率が良く、さらに投光面を均一にすることができるセンサーの発光装置を提供する。
【解決手段】 複数の発光素子を並べて配置し、それらの発光素子が光を発する方向の両側に反射手段を配置し、両側の反射手段の間に板状の透光性媒体を配置し、その透光性媒体の一方のエッジに複数の発光素子を並べて取り付け、しかも透光性媒体のエッジにその幅方向に多数の溝を形成し、それらの溝のある側に発光素子を所定の間隔に取りつけた光がそれらの両側の反射手段の間を進む構成にしたことを特徴とするセンサーの発光装置。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ蓄電池などの構成部材である第１金属板材と第２金属板材とのスポット溶接部Ｂの溶接の良，否を確実に判別する検査法を提供する。
【解決手段】 第１金属板材１に円錐状の凸壁部５と凹窪部６を屈曲により形成し、該第１金属板材１をその凸壁部５を介して第２金属板材に重ね、スポット溶接するに当たり、スポット溶接により生成するナゲットＢの一部ｂを該凹窪部６内に露出させ、その露出したナゲット部ｂの径の寸法や形状の相異によりスポット溶接の良，否を判別する。 （もっと読む）

【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）