【課題】透明または半透明の製品内の不良部分等の高さ位置の検出を高速で行う。
【解決手段】異なる角度で設置された２つのカメラ３、４の撮像範囲を合わせて、透明または半透明の被検査物Ｗ内の異物を同時に撮影し、各カメラ３、４の画面上の異物の重心位置をコンピュータ７の記憶装置に取込み、カメラ３、４による異物の位置情報に基づき、予め記憶された各カメラ３、４の設置角度およびカメラ５による被検査物Ｗの厚み情報等を用いた演算によって、被検査物Ｗ内の異物の高さ位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡の対物レンズの視野とＳＰＭユニットのカンチレバーとの位置関係を正確に表示できる複合型走査プローブ顕微鏡及びそのカンチレバー位置表示方法を提供する。
【解決手段】対物レンズ１０を通して取得される光学観察像を表示器４５に表示し、かつ表示器に表示されている光学観察像上にカンチレバーの先端部の位置を示す指標Ｓを表示する。 （もっと読む）

【課題】発光素子の発光量や増幅器の増幅率のフィードバック制御を行うことの利点を残しながら、計測の高速化に対応可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】光学式変位計は、対象物に光を照射するための発光素子と、対象物からの光を受光して画像信号を生成するためのイメージセンサーと、イメージセンサーからの画像信号を増幅する増幅器を含む信号処理回路と、信号処理回路からの画像信号に基づいて発光素子の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくとも一つのフィードバック制御を実行する制御部とを備え、フィードバック制御における操作量の少なくとも一つの可変幅が変更設定可能である。制御部は、可変幅設定モードにおいて所定期間の操作量のデータに基づいて操作量の適切な可変幅を設定する。 （もっと読む）

【解決手段】 本システムは、物理的対象物を三次元画像化するための高速マルチプルラインデジタル化を提供する。フルフレームの三次元データが、デジタルカメラのフレームレートと同じ程度に取得される。 （もっと読む）

【課題】ワークの立体形状を正確に計測する。
【解決手段】立体計測システムは、ワーク１１００を撮像するカメラ１００と、ワーク１１００を照明するストロボ２００と、カメラ１００の電子シャッターに同期してストロボ２００を発光させてワーク１１００を撮像するように制御する制御回路と、撮像された画像データを画像処理する画像処理コンピュータとを含む。画像処理コンピュータは、撮像された画像データに対して、明度の不均一を補正するシェーディング補正回路と、補正された画像データに対して、カメラ１００からワーク１１００までの距離に応じた明度の違いに基づいて、ワーク１１００の特徴量を算出する算出回路と、算出された特徴量に基づいて、ワーク１１００の位置情報を作成する作成回路とを含む。 （もっと読む）