【課題】チップ状に個片化された板状部材の各チップをピックアップする際のピックアップ処理能力を向上させるのに好適な測定装置を提供する。
【解決手段】リングフレーム２の開口部に接着シート３が貼付された支持体Ｈに支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材としての半導体ウエハ４を測定対象物とし、画像処理ユニット５が当該チップ間隔Ｇとずれ角θとを測定し、その測定データＤが画像処理ユニット５から上位コンピュータ６へ送出され、該上位コンピュータ６の記憶手段１２に記憶されるように構成し、その記憶手段１２に記憶されているチップ間隔Ｇとずれ角θとを基に、次工程でのピックアップ装置の認識装置、例えばカメラでチップの位置確認を行なうときの位置認識処理や認識した位置にピックアップ用のコレットの位置を合わせる補正処理を行なうことができるようにする。 （もっと読む）

【課題】 操作性を向上することができる干渉縞解析方法、干渉縞解析プログラム、および記録媒体を提供する。
【解決手段】 干渉縞の縞本数が、所定の許容範囲である目標縞本数範囲内となるようにアライメントを行うため、干渉縞の縞本数を検出する処理を含むアライメント処理が行われる（ステップＳ２０１）。続いて、検出した縞本数が許容範囲（目標縞本数範囲Ａ）内であるか否かが判定される（ステップＳ２０２）。縞本数が目標縞本数範囲Ａ内であった場合には、自動的にアライメント処理から縞解析処理に移行し、干渉縞を解析して被検体の収差が数値化される（ステップＳ２０３）。 （もっと読む）

【課題】
シリコンウェーハやＦＰＤ用ガラス基板等のパネルの形状の大面積・薄肉化に伴い、自重によるパネルの変形の影響を受け、正確なパネルの形状の測定が困難になってきているが、縦型形状測定装置を使用し、正確なパネルの形状を測定する方法を提供する。
【解決方法】
縦型形状測定装置を使用し、大面積・薄肉パネル形状を測定する場合の、その測定に影響を与える誤差要因を分析し、縦型形状測定装置固有の系統誤差を抽出した。その抽出した系統誤差値を補正値として形状を測定すれば、パネルの正確な形状測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 作業者の位置や姿勢の変化によって刻々と変化する視野画像から、保守対象機器の存在と、保守対象機器の位置と方向を画像処理の負荷を抑えて高速に特定する。
【解決手段】 プラント内の機器・配管・計測器など保守作業に関係する保守対象機器２に対して発光型ＲＦＩＤタグ１を装着し、保守作業員が携行するＲ／Ｗ７からの発信によって、情報提示を要する保守対象機器２に関係した発光型ＲＦＩＤタグ１を選択的に発光させ、保守対象機器２の位置と方向を簡単な画像処理により検出可能とする。このため、処理装置５は、カメラ３からの画像を取り込み、発光している発光型ＲＦＩＤタグ１の位置を計算し、その画像から計算した発光型ＲＦＩＤタグ１の座標を基点とし、作業に関連した情報をＣＧに変換してＨＭＤ４等の表示装置に表示する構成とした。 （もっと読む）

【課題】監視空間を撮像した画像を用いて、監視可能な空間内の任意の範囲を検出処理の対象である指定領域として設定することを可能とした監視システムを提供する。
【解決手段】監視装置１０に接続可能であり、監視装置１０の監視対象となる空間の全部又は一部を撮像した画像を取得し、指定領域の３次元座標情報を監視装置１０に出力する入出力インターフェース３０と、画像上における複数の２次元座標によって指定された範囲を監視装置１０による物体の検出処理に用いられる指定領域を特定する３次元座標に変換する検出範囲算出部３２と、を備えることによって上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】 移動体の計測作業の効率を向上させることである。
【解決手段】 移動体を撮影した画像を再生しながら、移動体指定部１３により計測すべき移動体の位置を順次指定すると、各計測位置における画像のフレーム番号と移動体の位置データが計測情報記憶部１５に順に登録される。そして、計測途中では、計測済みの計測位置と、各計測位置を結ぶ線が表示されるので次に計測すべき移動体がどれかを画面上で簡単に判別できる。 （もっと読む）

本発明は、物体２の表面部１の表面トポロジを再構成する方法に関する。表面プロファイルの勾配を表す測定値（勾配値）を取得する方法又は干渉法のような従来の方法は、ウエハのような広く平坦な物体の場合、限定された高さ解像度しか示さない。この問題を解消するために、物体の表面部がより小さな領域に細分化され、各々の領域から最適な装置パラメータで勾配値が得られる。それから、領域はともにつなぎ合わされ、３Ｄトポグラフィが再構成される。
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【課題】 施工される出来型の精度をその後構築される躯体等との関係を含めて前工程の段階で適切に把握することができる出来型確認システム及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】 ３次元レーザスキャナを用いて出来型表面をスキャニングし、コンピュータ内に構築された仮想空間に出来型表面の３次元点群データを合成する。次いで、当該仮想空間内に作業所内で定義される通り芯に関する情報を合成し、それに鉛直な仮想面を構築して移動し、仮想躯体面を設定する。そして、設定された仮想躯体面の表側又は裏側で出来型表面等の表示形態を変えて画面表示する。 （もっと読む）

【課題】噴流はんだ槽における二次噴流ノズルの構成部分、特にリヤーフォーマーの高さ、水平状態、傾斜角度等は、はんだ付け不良、はんだの付着量に大いに影響する。従来リヤーフォーマーの位置調整は作業者が曲尺を用いて経験や感で行っていたため、正確な位置調整ができなかった。
【解決手段】本発明は、レーザーセンサーを横方に摺動可能に設置した位置調整装置である。また本発明は、不良のない二次噴流ノズルの位置を標準位置として予めその距離を測定しておく。そして新たに二次噴流ノズルの位置調整を行う場合、標準位置を基準にして調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有する材料をセンサ部位に用いて、被測定物Ｍの変位がすべりによるか転がりによるかを判別可能なすべり・転がり検出システム及び検出方法を提供する。
【解決手段】 圧力により透過光量が変化する複数の感圧部ｐ１を面内に配置した第１のセンサアレイ２１と、第１のセンサアレイ２１上に重ねて設けられ、圧力により透過光量が変化する複数の感圧部ｐ２を面内に配置した第２のセンサアレイ２２とでセンサ部位２を構成し、被測定物Ｍが第２のセンサアレイ２２上で変位した時に、光検出器３で検出された第１のセンサアレイ２１の各感圧部ｐ１における圧力の変化と第２のセンサアレイ２２の各感圧部ｐ２における圧力の変化に、時間的差異又は空間的差異が見出された場合に被測定物Ｍの変位がすべりによると判定し、差異が見出されなかった場合に被測定物Ｍの変位が転がりによると判定する。 （もっと読む）

【課題】測定しようとする測定対象物を、設計者が設計した目的に符合するように、検査実施者が正確で迅速に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】測定対象物の3次元形状情報をスキャナーで検出し、データ貯蔵部に貯蔵された測定対象物の形状情報及び検査案内情報や、上記スキャナーから検出された上記測定情報の有効性を判断するための上記測定対象物の検査情報を表示部で確認してから、上記スキャナーを動作させ、上記スキャナーから検出された測定情報を検査情報と比較して上記測定の有効性を判断する。
【効果】設計者の検査意図を検査実施者が正確に把握して測定を実施することができる利点がある。 （もっと読む）

【課題】ターゲットを設置することなくＦＯＥを決定することができる無限遠点決定装置を提供する。
【解決手段】撮像範囲内にボンネットが含まれるように車両に固定された車載カメラによって撮像される画像内における無限遠点の位置を決定する無限遠点決定装置において、その画像内におけるボンネットの頂点の位置からＦＯＥのＸ座標ＦＯＥ（Ｘ）およびＦＯＥのＹ座標の第１候補値ＦＯＥ（ｙ１）を決定し（ステップＳ１００）、その画像内におけるヘッドライトのカットラインＣＬの位置からＦＯＥのＹ座標の第２候補値ＦＯＥ（ｙ２）および車載カメラ１１０のロール角を決定する（ステップＳ２００）。そして、第１候補値ＦＯＦ（ｙ１）とＦＯＥ（ｙ２）を補正し（ステップＳ３００）、補正後の第１候補値ＦＯＦ（ｙ１’）と第２候補値ＦＯＥ（ｙ２’）とを平均してＦＯＥのＹ座標ＦＯＥ（Ｙ）を決定する（ステップＳ３５０）。 （もっと読む）

【課題】 カメラ位置とカメラ回転角を示すカメラベクトルにＧＰＳ等で得られる絶対座標を与えて校正を行い、高精度の位置情報を生成・取得する。
【解決手段】 移動体の周辺のビデオ映像を取得するとともに、移動体の位置計測データを計測する移動体計測部１０と、取得されたビデオ映像からカメラの三次元位置及び３軸回転位置を示すＣＶデータを生成するとともに、計測された位置計測データを取得するデータ生成部２０と、ＣＶデータ及び位置計測データを、基準時刻により関連付けられた時刻同期ＣＶデータと時刻同期計測データとして生成する時間軸整合部３０と、時刻同期ＣＶデータと時刻同期計測データを同一時間軸で関連付けて比較して相互に補完補正するＣＶ補正信号を生成するＣＶ補正部４０と、取得されたビデオ映像の各フレームに対応して、ＣＶ補正信号により補正された高精度ＣＶ値を出力する高精度ＣＶデータ出力部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】オペレータによるウエハアライメント及び重ね合わせ誤差計測結果の評価を効率的なものとすること。
【解決手段】露光装置の画面に表示されたアライメントマップウインドウのファイル選択欄においてＥＧＡ処理結果ファイルと、重ね合わせ誤差計測結果ファイルを選択し、それぞれの表示ファイルの表示条件の設定欄で、ＥＧＡ統計モデル（ＥＧＡ Ｃａｌｃ Ｍｏｄｅｌ）、「Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ」、「Ｄｉｓｐｌａｙ Ｍｏｄｅ」、補正パラメータ（Ｎｏ．１、Ｎｏ．２）などの表示条件を設定すると、ウエハのショットマップのイメージ表示上には、設定された表示条件に従って、ウエハアライメント及び重ね合わせ結果に関する複数種類のデータのうち、少なくとも２種類のデータのベクトルマップを同時に表示することができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の表面に発生しているクラックの位置及び形状をより少ないデータ量で正確に表現できるようにして、クラックを有するコンクリート構造物の内部構造の三次元表現やその強度解析を行えるようにする。
【解決手段】 本発明に係るコンクリート構造物１のクラック検査装置６は、クラック３を有するコンクリート構造物１の表面２を撮像して得られたラスタデータを記憶する記憶手段と、そのラスタデータを二値化して得られたデータに対してラスタベクタ変換処理を行う変換手段と、この変換手段で得られたクラック３のベクタデータをコンクリート構造物１の表面２の図形データに座標を合わせて重合させるデータ重合手段と、このデータ重合手段で得られた重合データを出力する出力手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の高さ形状を１回のサンプリングで測定してその良否を判定することを可能とした高さ形状センサを提供する。
【解決手段】 受光素子２からの１回のサンプリングにより検出された測定対象物のライン状の高さ形状の検出波形と、基準形状登録手段６に登録したライン状の基準形状とを比較して一致度を算出し、算出された一致度と設定された一致度のしきい値との比較で測定対象物の良否を判定するので、測定対象物の高さ形状を１回のサンプリングで検出してその良否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マークの種類に拘わらず、そのマークの形状に適した信号処理範囲を定義する。
【解決手段】少なくとも１本の線状パターンを有するマークの位置を検出するマーク位置検出装置において、前記マークの画像を取り込む取込手段１８，１９，２１と、取り込まれた前記画像に対して信号処理範囲を定義する定義枠を設定する設定手段２２，２４，２５と、前記定義枠で設定された部分を信号処理することにより、前記マークの位置を検出する検出手段とを有し、前記設定手段は、前記線状パターンに対する前記定義枠を、前記線状パターン上の２つの部分に分離して設定可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

端子を有する電子部品の位置を検出する位置検出装置であって、端子の画像を取得する画像取得部と、画像取得部が取得した画像から端子の領域を検出する端子領域検出部と、端子領域検出部が検出した端子の領域、及び予め定められた電子部品の端子情報に基づいて、電子部品の位置を検出する電子部品位置検出部とを備える。
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本発明は金属棒の表面の傷を伴う問題と同時に、不破壊表面傷検出のために金属棒に金属平面検査システムを適用に伴う問題解決に向けられる。特に設計された画像化システムは、それは計算ユニット、線ライトと高データ率線スキャンカメラよりなり、上記の目的のために開発された。目標の応用例は、（１）横断面が単一の形状である時、周辺長/横断面割合は４．２５より小さく、（２）その横断面が円、楕円、又は、多角形であり、（３）横断面削減工程で製造される金属棒である。その金属は鉄鋼、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、青銅、チタニウム、ニッケル、及びその他、及び/又はその合金であっても良い。その金属棒は製造時の温度であってもよい。
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【課題】透明または半透明の製品内の不良部分等の高さ位置の検出を高速で行う。
【解決手段】異なる角度で設置された２つのカメラ３、４の撮像範囲を合わせて、透明または半透明の被検査物Ｗ内の異物を同時に撮影し、各カメラ３、４の画面上の異物の重心位置をコンピュータ７の記憶装置に取込み、カメラ３、４による異物の位置情報に基づき、予め記憶された各カメラ３、４の設置角度およびカメラ５による被検査物Ｗの厚み情報等を用いた演算によって、被検査物Ｗ内の異物の高さ位置を算出する。 （もっと読む）