【課題】表面の凹凸に基づく温度分布を識別して、内部変状箇所を検出することを支援できる内部変状検出支援装置及び内部変状検出支援プログラムを提供する。
【解決手段】計測結果取得部３６が、レーザスキャナ及び赤外線熱計測装置の計測結果を取得すると、変換部３８は、計測結果取得部３６が取得した赤外線熱計測装置の計測結果を画像データに変換し、熱画像を生成する。また、対応付け部４０は、変換部３８が生成した熱画像を、座標計測装置が計測した赤外線熱計測装置及びレーザスキャナの計測位置の座標値に基づいて、レーザスキャナの計測結果の凹凸データを対応付ける。表示制御部４６は、上記熱画像と、これに対応する凹凸データとを表示装置に表示させ、利用者による対象物の内部変状検出業務を支援する。 （もっと読む）

【課題】測定者に被測定物体に対するプローブの位置やライン光の照射角度をアシスト（支援）することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサにより被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、複数のアーム部１１ａ及びプローブ１２を回転可能に接続する２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、プローブ１２の操作を支援するアシスト表示を表示部３０に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】座標を入力するための移動型入力装置、前記装置を構成する方法、および前記方法をコンピュータに実装させるコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録メディアを提供する。
【解決手段】前記移動型入力装置は、２台のデジタルカメラと、校正ツールと、記憶部と、入力面に置いた対象物の座標を、前記２台のデジタルカメラの画像によって、前記校正ツールを含むように撮像した画像にもとづいて、前記入力面の対象物の座標を計算する制御部と、を有する。前記制御部は、また、前記入力面の近傍に規定された入力区域に対応する検出帯の位置および幅を構成する。前記検出帯の前記位置および前記幅は、前記入力面の位置に関連付けて前記記憶部に記憶される。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンの被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を取得すること。
【解決手段】本発明の実施の形態１に係るむら検査装置は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０及び処理・制御部１００を具備している。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０の位置決め動作及び基板搬送動作が可能である。アライメント用撮像部３０は、被検査基板６０の位置決めを実施する。回折光強度測定部兼撮像部４０は、被検査基板６０からの回折光強度を取得し、また、被検査画像取得を実施する。処理・制御部１００の情報処理手段１０１は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０の動作管理及び制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
スキャトロメトリを用いることにより、基板上に形成された線幅数１００ｎｍ以下のパターンの断面形状を、例えばディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定することも可能となる。しかし、ディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定したパターンの幅や高さ等を全て表示することは困難であり、また全て表示することが必ずしも有効であるとはいえない。
【解決手段】
本発明では、パターンの幅や高さ、特にデバイスの性能に直接影響を及ぼすパターン断面の磁性体部分の断面積(単位長さあたりの体積)等の分布を独立に、又は組み合わせて表示する。また、結果の特徴を強調して表示する。さらに、リードライトテスト結果との相関を予め評価しておくことにより、パターン断面形状の検査・測定時に最終的な不良箇所の特定を可能とし、不良の発生を事前に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】測定に要する時間の増加を招くことなく、被測定物の測定対象に対する光学的な設定の異なる複数の測定データを得ることのできる測定装置を提供する。
【解決手段】撮像素子１７からのライン反射光Ｒｌの取得データに基づいて被測定物の表面形状を計測する測定装置１０である。ライン反射光Ｒｌを撮像素子１７の受光面に結像させる複数の結像光学系（３３、３４）と、ライン反射光Ｒｌを分岐して各結像光学系へと導く光束分岐機構３２とを備え、各結像光学系は、被測定物の測定対象に対する光学的な設定が互いに異なるものとされ、撮像素子１７は、受光面上において複数のセグメントが設定されているとともに各セグメントが複数の領域に区画され、各セグメントにおける少なくとも１つ以上の領域を受光領域とし、各結像光学系は、分岐されたライン反射光Ｒｌを撮像素子１７の受光面において互いに異なるセグメントの受光領域へと結像させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロローティングおよび計測ターゲットへのプロセス効果を検出する方法を提供する。
【解決手段】基板へのリソグラフィプロセスに用いられるリソグラフィ装置の焦点を測定する方法において、リソグラフィプロセスは、基板上に構造体を形成するために用いられる。構造体は、リソグラフィ装置の基板上の焦点の関数として変化する印刷プロファイルにおいて非対称性を有する少なくとも一つのフィーチャを有する。構造体を第１放射ビームで照射する間に周期的な構造体の第１の像が形成および検出される。第１の像は、非ゼロ次回折放射の第１部分を用いて形成される。構造体を第２放射ビームで照射する間に周期的な構造体の第２の像が形成および検出される。第２の像は、回折スペクトルにおいて第１部分と対称的に向かい合う非ゼロ次回折放射の第２部分を用いて形成される。測定されたスペクトルの第１および第２部分の強度比が測定され、周期的構造体のプロファイルにおける非対称性を測定および／または基板の焦点の表示を提供するために用いられる。同一の装置において、検出部分にわたる強度変化が構造体にわたるプロセス誘発変動の測定として決定される。不要なプロセス変動を伴う構造体の領域が特定され、構造体の測定から除外される。 （もっと読む）

【課題】パレット上に配置された複数のワークのうち、作業者が必要とするワークを指示することのできるワーク指示装置を提供する。
【解決手段】加工後の形状寸法の異なる複数の板状のワークＷ１〜Ｗ３を撮像する撮像手段３と、撮像した各ワークの形状寸法及び配置位置を演算する画像処理演算手段１９と、演算したワークの形状寸法と配置位置とを関連付けて格納する記憶手段２１と、ワークの形状寸法、製造番号、次工程の工程内容、次工程の期限、納期を予め関連付けて格納したデータベース２３と、入力手段１５によって入力されたワーク情報に基づいてデータベース２３を検索する第１の検索手段２５と、検索されたワークの形状寸法データと同一データを記憶手段２１から検索する第２の検索手段２７と、第２の検索手段２７によって検索されたワークの形状寸法に対応した配置位置データに基づいて、該当するワークを指示するワーク指示手段２９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】カメラ内部パラメータやカメラ間の相対位置姿勢が変化した場合に、仮想現実空間の表示が観察者へ悪影響を及ぼすことを未然に防ぐことを可能とする。
【解決手段】
主撮像装置と副撮像装置により現実空間を撮影して得られた画像に仮想画像を合成して立体視のための画像を提供する情報処理装置は、主撮像装置の位置姿勢を計測し、保持部により保持されている装置間位置姿勢情報と計測された主撮像装置の位置姿勢とに基づいて副撮像装置の位置姿勢を算出し、計測された主撮像装置の位置姿勢と算出された副撮像装置の位置姿勢と保持されている主撮像装置及び副撮像装置の内部パラメータとを用いて、主、副撮像装置のそれぞれから得られた画像に仮想画像を合成する。情報処理装置は、主、副撮像装置により撮像された画像に基づいて、保持されている装置間位置姿勢情報や内部パラメータの情報の正当性を判断し、不当と判断した場合には保持されている情報を校正する。 （もっと読む）

【課題】鉄筋のかぶり厚さの検査を正確に、しかも高速に行なえる構成とした、鉄筋のかぶり厚さ検査装置および鉄筋のかぶり厚さ検査方法の提供。
【解決手段】３次元レーザスキャナ３１を固定してレーザビームを複数配置された鉄筋のいずれかの鉄筋１に照射して点群データを取得し、鉄筋１の鉛直方向で切断断面毎に円形部位を抽出して鉄筋の中心候補位置を作成する。切断断面毎に作成された前記鉄筋の中心候補位置を鉛直方向に重ね合わせて３次元画像を作成し、３次元画像から鉄筋位置を判定する。スキャナの置かれている位置の座標を取得し、観測している鉄筋（外側）がワールド座標に対してどのような位置にあるか計算する。次に設計情報から対応する柱表面の位置を得て、鉄筋の外側と柱表面の間隔を演算し、鉄筋のかぶり厚さを求める。 （もっと読む）

【課題】計測により適した位置をユーザに知らせることができる内視鏡装置および計測方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ１８は、被写体の表面の曲率情報に基づいて、その表面を近似する平面とその表面との交点のうち２つの交点間の空間距離を算出する。映像信号処理回路１２は、映像信号に基づく画像上に、２つの交点間の空間距離分の幅を示す目印を表示するための表示信号を生成する。ＣＰＵ１８は、画像上で指定された点の空間座標を算出し、少なくとも３点の空間座標で決まる平面と１点の空間座標との空間距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】表示部に表示されないデータを仮想オブジェクトとして常に観察可能な構成を実現する。
【解決手段】例えばＰＣを適用したデータ処理において、削除処理やコピー処理の対象としたデータなどＰＣの表示部に表示されないデータを仮想オブジェクトとして設定し、ユーザの手の指などに貼り付けて、常に観察することを可能な構成とした。本構成によれば、ＰＣの表示領域に表示されないデータをＰＣの表示領域以外の空間に貼り付けて表示して観察することが可能となり、データ処理の効率を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
基盤に配された半球状の被検体表面を測定面とし、その形状を検出して標準形状と比較し判定する。
【解決手段】
レーザ光源からの走査光束を被検体５の半球状測定面に向かわせ、その測定面からの反射光を受光部に投影し高さ検出信号１０を出力する高さ測定ユニット１１０を設置する。また被検体５測定面を多層の円状光源で構成した照明部１３１で照明し、発生した光源毎の円状反射光をレンズ部１３２で検出して受光部に投影し等高線画像検出信号１９を出力する形状測定ユニット１３０を設置する。両ユニット１１０、１３０からの信号を受けて被検体５の高さと等高線の形状を基準値と比較判定すると共に、検出した等高線を１つに重ね合わせて等高線群とする制御ユニット１２０を設置する。この等高線群と判定結果を表示ユニット１４０に表示する。

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【課題】 鳥類等の飛翔体の高度を簡易に測定する。
【解決手段】 飛翔体Ａを高さが既知の固定物体Ｂと同一画面内に捉え、離隔画素数から飛翔体Ａの飛行高度を求める構成である。撮像手段が１台のカメラ１０で済み、簡易かつ安価な構成であると共に、設置場所が１箇所で済むため、山間部等における設置作業、撮影作業が容易である。また、飛翔体Ａが撮影対象領域外を飛行する場合でも、再設定作業が容易であり、航空機などと比べて飛行経路が変化しやすい鳥類などの飛行高度を測定するのに適する。 （もっと読む）

【課題】測定値の信頼性に関する新たな情報を提供できるようにする。
【解決手段】カーブフィッティング法において理論干渉波形毎に得られる各フィッティングレベルと、各フィッティングレベルにそれぞれ対応する各理論干渉波形の膜厚との相関を示す相関図３６を作成して表示するとともに、膜厚むらによって変化する相関図３６の波形の谷部のピーク値について、しきい値Ｌ１，Ｌ２を設定し、谷部のピーク値が、しきい値Ｌ１，Ｌ２で規定される警報範囲に入ったときには、安定に測定が行われていないとして警報を出力するようにしている。 （もっと読む）

本発明は、再帰反射板を凸レンズ又は凹面鏡のように使用し、透明又は反射体からなる被検体が屈曲したり、被検体の移動中に振動が発生する場合にも安定的に欠点を検出できるようにし、検査領域で起きる透過検査時の密度勾配と反射検査時の反射角度の変化を用いて測定領域を通過又は反射する平行光の変位現象を捕捉する検査方法である。また、本発明は、透過光又は反射光が集まるカメラレンズの前面にはナイフエッジを光軸に対して水平に設置し、平行光から逸脱した光を遮断することによって、カメラには検査領域の密度勾配に起因する光の明暗の変化が得られ、３次元欠点映像を得られるようにする欠点検査のための検査装置である。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体を撮像して得られる画像データに対して予め定められたパラメータの組を用いた処理を行うことで処理結果を得る処理装置に設定されるパラメータをより迅速かつ容易に決定できるパラメータ決定支援装置およびパラメータ決定支援プログラムを提供する。
【解決手段】試行された複数のパラメータ候補の各々について、その判定結果および統計的出力が一覧表示されることで、ユーザは、最適なパラメータセットを容易に選択することができる。たとえば、誤検出数がゼロである試行番号「２」，「４」，「５」が安定した処理を行なうことのできるといえ、その中でも、試行番号「２」が最も処理時間が短くて済むので、総合的には、試行番号「２」のパラメータセットが最適であると言える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プリント板の各点から得られる正反射光及び散乱反射光の２次元の光量分布を基に、はんだ箇所の高さを算出するときの基準位置を容易に求める技術を提供する。
【解決手段】基板１に垂直に近赤外光を照射し散乱反射光を受け、かつ斜めの角度で近赤外光を照射しその正反射光を受ける変位センサ２を備え、度数算出手段４は、散乱反射光量と正反射光量とを２次元とするヒストグラムを生成する。パラメータ決定手段５は、ヒストグラム上で散乱反射光量及び正反射光量が高い側においてほぼピークとなる度数分布を有する基準分布を選定し、基準分布の裾付近の２次元の範囲をパラメータとして決定する。測定検査部１００は散乱反射光量及び正反射光量がパラメータの範囲内にある基板上の位置であって、はんだの高さを求めようとするはんだ箇所に近い位置を基準位置として、はんだの高さを求める。 （もっと読む）

【課題】カッターブレードの切れ刃の測定値に個人差が生じやすく、測定中に切れ刃の欠損を生ずる可能性もあった。
【解決手段】本発明のカッターブレード検査装置は、第１の軸線に沿って駆動されるスライドテーブル２０１と、その位置を検出する手段２１３と、第１の軸線回りに回転される回転部材２０２と、その回転位相を検出する手段２２０と、カッターブレード１が固定されるブレードホルダー２０３と、カッターブレード１の切れ刃３の先端６の第１の軸線に沿った位置を検出するための手段２０５と、第１の軸線に対して交差する第２の軸線に沿って所定の幅を持つ膜状のコリメート光２５２を第１および第２の軸線に対して交差する第３の軸線に沿って投光部２５３から出射させ、受光部２５４との間でコリメート光２５２の一部を遮るカッターブレード１の切れ刃２の第２の軸線に沿った位置を検出するための光学式位置検出器２０６とを具える。 （もっと読む）