欠点検査のための検査装置
本発明は、再帰反射板を凸レンズ又は凹面鏡のように使用し、透明又は反射体からなる被検体が屈曲したり、被検体の移動中に振動が発生する場合にも安定的に欠点を検出できるようにし、検査領域で起きる透過検査時の密度勾配と反射検査時の反射角度の変化を用いて測定領域を通過又は反射する平行光の変位現象を捕捉する検査方法である。また、本発明は、透過光又は反射光が集まるカメラレンズの前面にはナイフエッジを光軸に対して水平に設置し、平行光から逸脱した光を遮断することによって、カメラには検査領域の密度勾配に起因する光の明暗の変化が得られ、3次元欠点映像を得られるようにする欠点検査のための検査装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、不透明板又は透明板をはじめとする被検体の内部又は表面に形成された気泡、微小変形、異物、穿孔などの欠点を検査するための検査装置に関するもので、より詳細には、ナイフエッジと再帰反射板を設置し、被検体に振動又は反りが生じる場合にも、欠点部位の映像を鮮明且つ安定的に得られるようにする欠点検査のための検査装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
図1は、一般的な反射光学系で上方又は下方に反った反射板にシートビームが入射されるとき、反射板に入射されるシートビームに対する映像を示したものである。
【0003】
図1の左側に示した被検体(sheet)は、端部が上方に反った場合の光経路を示したもので、右側に示した被検体は、端部が下方に反った場合を示したものである。
【0004】
図1の左側に示すように、カメラ1の光軸と同一の経路のシートビームは、照明装置3から被検体5に照射された後、被検体5から反射され、被検体5から反射された反射光は反射紙7に入射される。
【0005】
被検体5に反り現象がない場合、被検体5に入射された光は、点線のように反射紙7に入射された後、反射紙7から反射される。その後、被検体5から反射された光はカメラ1に入射され、被検体5の映像がカメラ1に撮影される。しかし、被検体5の上方に反った部分に照射されたシートビームは、実線のように反射紙7に入射され、反射紙7から反射された光は被検体5に再び入射されないので、結局、カメラ1に被検体5の映像が撮影されなくなる。
【0006】
図1の左側下端の映像は、反射紙7に入射される点線の正常シートビームと、反り現象がある場合の実線のシートビームを撮影したものである。
【0007】
また、被検体5が下方に反った場合にも、図1の右側上部に示すように、シートビームが点線の正常経路から下部に離隔して入射されるので、反射紙7を正面から見ると、正常経路の場合の明るい線(点線)より下部に離隔した部位に明るい線(実線)を形成するようになる。被検体5が正常な場合、反射紙から反射された光は、正常経路に沿って被検体5から再反射され、カメラ1に被検体5の映像を形成するようになる。しかし、被検体5が非正常的に反ると、反射紙7は入射角と反射角とが同一な一般の反射紙であるので、反射紙7から反射される光が被検体5面に到達できなくなり、結局、被検体に反りが生じる場合、カメラ1には被検体5の光入射部分の映像が得られない。
【0008】
このような現象は、被検体5に振動が発生する現象にもそのまま適用することができる。
【0009】
図2は、従来に光源から被検体に光を照射するときの欠点による屈折現象を説明する光学系を示す図である。
【0010】
光源25などの点光源からスクリーン9に光が照射されるとき、スクリーン9の明るさを1単位とする。このとき、屈折率に変化を与え得る異常現象、例えば、密度、異物、変形など(以下、欠点という。)が屈折角に変化を与える。欠点11によって光が屈折されると、欠点11がないときの光経路(点線)と出会う位置に光が到達しないので、スクリーン上の点線の終端部分は0単位の明るさを有するようになり、欠点11によって屈折された光が出会うスクリーン9部分の明るさは2単位に変換される。
【0011】
このように、欠点11によって明るさが0である部分と2である部分に急激に変化すると、映像の明るい部分と暗い部分との間の明るさの急激な変化が発生するようになり、欠点11の正確な形状を把握することができない。すなわち、このように急激に明るさが変化すると、明るさ勾配(gradient)を得ることができなく、欠点11の輪郭のみがスクリーン9上に形成されるようになり、結局、欠点11の実質的な形態を判読できる映像を得ることができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
本発明は、前記のような問題を解決するためのもので、本発明の解決課題は、光を遮断するナイフエッジ(knife edge)を用いて明るさ変化勾配を有する映像を得ることによって、欠点の形状を正確に把握できる検査装置を提供することにある。
【0013】
本発明の他の解決課題は、被検体に反り現象が発生する場合にも、再帰反射紙に入射される角度で光が再反射される性質を用いて正確に被検体を撮影することができ、被検体に振動が発生する場合、再帰反射紙は、被検体に振動が生じない場合と同様に入射された光を再反射させ、正確に被検体を撮影できる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0014】
前記解決課題のための本発明の解決手段は、入射される光を反射させる反射被検体に光を照射する光源と;前記反射被検体から反射されてから入射される光を前記反射被検体に再帰反射させる再帰反射板と;前記再帰反射板から再帰反射された再帰反射光が前記反射被検体に入射されてから反射される反射光を結像させる結像レンズと;前記結像レンズを通して入射される光を撮像する撮像と;前記結像レンズと前記反射被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジと;を含む。
【0015】
また、本発明の他の解決手段は、入射される光を透過させる透過被検体に光を照射する光源と;前記透過被検体に透過されて入射された光を前記透過被検体に再帰反射させる再帰反射板と;前記光源と前記透過被検体との間に設置され、スリットが形成されたマスクと;入射された光によって像を形成する撮像手段と;前記再帰反射板から再帰反射されて前記透過被検体を透過した光を集束させ、前記撮像手段に結像する結像レンズと;前記結像レンズと前記透過被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジと;を含む。
【発明の効果】
【0016】
前記の解決課題と解決手段を有する本発明によると、ナイフエッジによって映像の明るさに勾配を有する敏感度の高い映像を得ることによって、被検体の欠点を明確に認識することができる。
【0017】
また、本発明の再帰反射板の使用により、被検体が曲面を形成したり、被検体に機械的振動が発生する場合にも安定的に欠点を探すことができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】一般的な反射光学系で上方又は下方に反った反射板にシートビームが入射されるとき、反射板に入射されるシートビームに対する映像を示した図である。
【図2】従来に光源から被検体に光を照射するときの欠点による屈折現象を説明する光学系を示した図である。
【図3】本発明においてナイフエッジの原理を説明する光学構成図である。
【図4】本発明において被検体の内部を透過する光の経路を説明する光学構成図である。
【図5】本発明において被検体の表面から反射される光の経路を説明する光学構成図である。
【図6】本発明の一実施例を用いて透明サンプルを検査するための構成図である。
【図7】図6の光経路を説明する光経路図である。
【図8】本発明において撮影された欠点の映像を3次元化して示したグラフである。
【図9】図7と対比するためにナイフエッジを使用しない場合を示した光経路図である。
【図10】本発明において再帰反射板が振動に鈍感であることを説明する光経路図である。
【図11】本発明において再帰反射板が凹面鏡の役割をし、送った光が焦点に再び集まることを説明する光経路図である。
【図12】本発明の他の実施例において反射被検体に対する光経路を示した構成図である。
【図13】本発明の反射被検体でのナイフエッジの設置効果を説明する構成図であって、映像及び明るさの強さを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、添付の図面に基づいて本発明を詳細に説明する。
【0020】
図3は、本発明においてナイフエッジの原理を説明する光学構成図である。
【0021】
フィールドレンズ15の左側焦点には点光源25が位置しており、光源25から発散された光は、フィールドレンズ15の右側焦点を通過してスクリーン9に照射される。フィールドレンズ15とフィールドレンズ15の右側焦点との間に欠点11がある場合、欠点11を通過する光の光路は点線の正常光路から屈折され、右側焦点に位置したエッジ、望ましくは、端部が鋭い板状からなるナイフエッジ13を通過できずに終端する。
【0022】
また、図3の光源25から発散される光の強さが図2の光源25から発散される光の強さと同一であるとするとき、ナイフエッジ13により、フィールドレンズ15を通過する光の半分のみがスクリーン9を照明するので、図2でスクリーン9上の各点での明るさを1単位とすると、図3でのスクリーン9の各点での明るさは0.5単位になる。図2で欠点11によって屈折された光は、スクリーン9上の隣接した点の明るさを2単位に補強させるが、図3では欠点11によって屈折された光がナイフエッジ13によって遮断されるので、スクリーン13の隣接した点を補強させなくなる。すなわち、欠点11が存在する場合、図3で欠点11がない場合にスクリーン上に到達する正常光線である点線の光線がスクリーン上でぶつかる位置は、光線が進入しないことから0単位の明るさを有するが、スクリーン上の隣接した点には明るさの変化がなくなる。結局、図3に示すように、ナイフエッジ13を使用して一部の光線を遮断させると、欠点11によるスクリーン上の明るさの変化値が小さくなるので、スクリーン上の明るさの勾配が抽出される。したがって、図3のようにナイフエッジ13を使用すると、被検体の輪郭だけでなく、明るさの勾配を有する被検体の鮮明な映像を得ることができる。
【0023】
図4は、本発明において被検体の内部を透過する光の経路を説明する光学構成図で、図5は、本発明において被検体の表面から反射される光の経路を説明する光学構成図である。
【0024】
図4に示すように、フィールドレンズ17の左側焦点にはシートビームを発生させる光源25が位置し、フィールドレンズ17の右側焦点にはナイフエッジ13が位置し、フィールドレンズ17とナイフエッジ13との間に被検体19が位置する。被検体19を透過する光は結像レンズ21を通過し、ラインCCD23には透明被検体の映像が形成される。
【0025】
このとき、ナイフエッジ13は、結像レンズ21の光軸に対して垂直に設置され、先端面を光軸に接近させることによって、被検体19に形成された欠点の映像から表面の屈曲や内部の欠点を鮮明に得ることができる。
【0026】
また、図5に示すように、被検体27の上部には被検体の表面に傾斜して光が入射されるように光源25とフィールドレンズ17が設置され、反射型被検体27の表面から反射された光は、結像レンズ21を通過してラインCCD23に映像を形成し、フィールドレンズ17の焦点にはナイフエッジ13が設置され、ラインCCD23に鮮明な映像が形成される。
【0027】
図6は、本発明の一実施例を用いて透明サンプルを検査するための構成図で、図7は、図6の光経路を説明する光経路図で、図8は、本発明において撮影された欠点の映像を3次元化して示したグラフで、図9は、図7と対比するためにナイフエッジを使用しない場合を示した光経路図である。
【0028】
シートビームを発生させる光源25から発散された光は、地面に傾斜して設置されたハーフミラー29によって反射され、光は地面と平行に再帰反射板31に入射され、再帰反射板31から反射された光はハーフミラー29に向かって再反射され、ハーフミラー29に入射された光は、透過された後、結像レンズ21を通過してラインCCD23に結像される。
【0029】
また、再帰反射板31とハーフミラー29との間に発生する多数の光路の光の干渉を減少させるために、光がスリットを通過して再帰反射板31に入射されるようにするマスク33が設置され、マスク33の裏面には、透明被検体35が矢印と同一の方向に移動しながらスキャニングされる。
【0030】
また、結像レンズ21の左側焦点には、ナイフエッジ13が光軸に設置されており、結像レンズ21に入射される光量は、光量の強さに対する勾配を得るようになる。図7のAは、ナイフエッジ13の移動に対する光量調節を説明するもので、Aにおいて、横方向の実線(a)は、ナイフエッジ13の上端が光軸に一致するように位置するときを意味し、点線(b)は、被検体35に形成された凸状欠点37よって光源からのシートビームの屈折角が変化することから、光路が曲がって下方に移動した状態を意味する。
【0031】
図7に示すように、正常状態での透明被検体35の映像は、(○2)のような光経路によってラインCCD23に結像されるが、透明被検体35に凸状欠点37が形成されている場合、屈折光(○3)が発生するようになり、ナイフエッジ13によって屈折光(○3)のラインCCD23への到達が遮断され、屈折部位に対する映像は暗くなる。
【0032】
このとき、再帰反射板31は、光源から入射された光を光源側に再び反射させることによって、透明被検体35に振動や屈曲が生じた場合にも正確な映像を得られるようにする。図7のBは、ラインCCD23にスキャニングされた映像を示し、CはBの縦断面の光量の強さを示したグラフである。図7のBの映像から分かるように、欠点の輪郭だけでなく、全体的な欠点の形状を得ることができ、光量グラフ(C)に示したように、明るい部分と暗い部分との間が連続曲線となっており、光量強さの勾配を得ることができる。このような勾配を得られる映像は、図8のように欠点映像を3次元化するのに使用できるので、欠点映像の様子を具体的に確認することができる。
【0033】
しかし、図9に示すように、ナイフエッジを使用しない場合の欠点の映像には、輪郭のみが現れるようになり、光量グラフに示すように明るさが急激に変化するので、明るさの勾配と3次元映像を得ることができない。
【0034】
図10は、本発明において再帰反射板の役割を説明する光経路図である。
【0035】
図10の(a)は、光源から出た光が一般の反射板にぶつかるときの光経路を示したもので、反射板から反射された光が多様な方向に反射されるので、極めて一部の光のみが光源方向に反射されることを示し、図10の(b)は、光源から出た光が鉛直方向に設置された再帰反射板から反射される光経路を示したもので、光源から出た光はいずれも光源に向かって反射されている。また、図10の(c)は、鉛直面に対して傾斜して設置された再帰反射板から反射されるときの光経路を示したもので、この場合も、再帰反射板から反射された光がいずれも光源に復帰される様子を示している。また、このような現象は、光源から出た光が再帰反射板から反射されるとき、再帰反射板の傾斜角とは関係なく、全てが光源に復帰されることを意味する。
【0036】
また、光源と鉛直に設置された再帰反射板との間に透明被検体が通過しながら、透明被検体の傾斜した部分がスキャニングされる場合にも、光が傾斜した部分を透過して再帰反射板から反射されるとき、再帰反射板に入射された光はいずれも光源方向に向かうので、透明被検体が傾斜した場合にも鮮明な映像を得ることができる。
【0037】
また、本発明において反射体として再帰反射板を使用する場合、被検体に振動が発生する場合にも被検体に対する正確な映像を得ることができる。
【0038】
図11は、本発明において再帰反射板が凹面鏡の役割をし、光が1ヶ所に集まることを説明する光経路である。
【0039】
図11の(a)は、光源25から発散された光がハーフミラー29から反射され、再帰反射板31から再反射された後、ハーフミラー29を通過して焦点に集まることを示している。これに対して、図11の(b)は、(a)に比べて光源25が再帰反射板31から遠ざかったことを示しているが、(a)と同様に、再帰反射板31から反射された光は、光源25が焦点距離に位置する場合と同様に反射される。図11の(c)は、(b)に比べて光源25がさらに遠ざかったことを示し、点光源が焦点距離に位置する場合と同様に各反射光の光経路を形成する。
【0040】
このように再帰反射板31から反射される光は、光源25を焦点とする光と同一の光経路を形成し、光源25と再帰反射板31との隔離距離が可変する場合にも光源25を焦点とする光経路を形成する。したがって、光源25と再帰反射板31との間に被検体35が通過し、通過する被検体35と再帰反射板31との間又は被検体35と光源25との間の距離が振動によって可変する場合にも、常に再帰反射板31から反射された光が光源25を焦点とする光経路を形成するので、被検体35に振動が発生する場合にも被検体35の正確な映像を得ることができる。
【0041】
図12は、本発明の他の実施例において反射被検体に対する光経路を示した構成図である。
【0042】
反射被検体41の上面にはスリットを有するマスク33が設置され、光源25から発散された光は、ハーフミラー29から反射された後、反射被検体41に一定の傾斜角で入射される。そして、反射被検体41から反射された光は、再帰反射板31に入射された後、再帰反射板31から反射される。そして、反射被検体41から再反射された光は、ハーフミラー29及び結像レンズ21を通過した後、ラインCCD23で結像され、再帰反射板から再反射された光が1ヶ所に集まる場所にナイフエッジ31が設置される。
【0043】
反射被検体41の上面に凸状欠点39がある場合、光源から発散された光経路は線aのように示され、反射被検体41に対する結像のための光経路は線bのように示され、凸状欠点39によって屈折される光経路は線cのように示される。線cはナイフエッジ31によってラインCCD23に到達しないので、線cが到達すべき部分には暗い映像が具現されるが、図3を参照して説明したように、暗い部分と明るい部分に対する明るさの勾配を形成するので、凸状欠点に対する明確な映像を得ることができる。
【0044】
図12のBは、ラインCCDで得られた映像を示し、図12のCは、Bの映像の明るさの強さに対するグラフを示したもので、図7のB、Cのように、ナイフエッジの設置効果によって鮮明な映像を得ることができる。
【0045】
図13は、本発明の反射被検体でのナイフエッジの設置効果を説明する構成図であって、映像及び明るさの強さを示したものである。
【0046】
図13は、図12の反射被検体41の凸状欠点39がマスク33のスリットを通過するときの光経路を示したものである。スリットの下部を通過する反射被検体41をスリットの上部から見ると、再帰反射板31から反射される光の光経路は、(A1)、(A2)、(A3)、(A4)、(A5)のような順に表現される。(A1)の状態は、再帰反射板31から反射された光が欠点のない部分から反射され、BのCCD映像で平均明るさを示している状態であって、明るさのグラフCで中間明るさの強さ値を有する。
【0047】
また、(A2)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の前部から屈折され、ナイフエッジ13によって遮断される状態を示し、このときは、映像Bから最も暗い部分の映像が撮像され、グラフCで最も低い強さを有するようになる。
【0048】
また、(A3)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の正常部分の平面から反射されることから、ナイフエッジ13によって遮断されない状態を示し、凸状欠点39が存在しない状態と同様に、映像Bで中間明るさを示し、グラフCで強さの中間値を有する。
【0049】
また、(A4)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の後部から反射されて他の光線と重複することから、光の補強が起きる状態を示し、映像Bで明るい部分を撮像するようになり、このとき、グラフCの明るさの強さの値も最上に形成される。
【0050】
また、(A5)の状態は、凸状欠点39がマスクのスリットを通過した状態を示し、(A1)の状態と同様の映像とグラフを有するようになる。
【0051】
このように再帰反射板から反射された光が凸状欠点39によって不規則に反射されるとき、正常部位から反射される反射光と凸状欠点39によって不規則に反射される反射光には補強と相殺が起きるが、相殺される光をナイフエッジによって遮断するので、補強のみが起きるようになる。したがって、補強される点と相殺される点の明るさ差を弱くし、凸状欠点39に対する映像の敏感度を高め、光量の強さに対する勾配を得られるようにし、映像に対する3次元情報を得ることができる。
【0052】
また、本発明の一実施例では、ナイフエッジを使用して映像の敏感度を増加させた。また、映像の敏感度は、ナイフエッジを光学系の光軸に接近させることによってさらに増加するようになる。また、被検体の欠点で屈折角又は反射角が同一である場合、光源が大きい場合に比べて光源が小さい場合に光量変化が大きくなるので、敏感度が増加するようになる。また、被検体の前面に設置されるマスクのスリット幅を減少させると、光の相互間の干渉を減少できるので、より敏感な映像を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【0053】
本発明によると、ナイフエッジによって映像の明るさに勾配を有する敏感度の高い映像を得ることによって、被検体の欠点を明確に認識することができる。
【0054】
また、本発明の再帰反射板の使用により、被検体が曲面を形成したり、被検体に機械的振動が発生する場合にも安定的に欠点を探すことができる。
【技術分野】
【0001】
本発明は、不透明板又は透明板をはじめとする被検体の内部又は表面に形成された気泡、微小変形、異物、穿孔などの欠点を検査するための検査装置に関するもので、より詳細には、ナイフエッジと再帰反射板を設置し、被検体に振動又は反りが生じる場合にも、欠点部位の映像を鮮明且つ安定的に得られるようにする欠点検査のための検査装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
図1は、一般的な反射光学系で上方又は下方に反った反射板にシートビームが入射されるとき、反射板に入射されるシートビームに対する映像を示したものである。
【0003】
図1の左側に示した被検体(sheet)は、端部が上方に反った場合の光経路を示したもので、右側に示した被検体は、端部が下方に反った場合を示したものである。
【0004】
図1の左側に示すように、カメラ1の光軸と同一の経路のシートビームは、照明装置3から被検体5に照射された後、被検体5から反射され、被検体5から反射された反射光は反射紙7に入射される。
【0005】
被検体5に反り現象がない場合、被検体5に入射された光は、点線のように反射紙7に入射された後、反射紙7から反射される。その後、被検体5から反射された光はカメラ1に入射され、被検体5の映像がカメラ1に撮影される。しかし、被検体5の上方に反った部分に照射されたシートビームは、実線のように反射紙7に入射され、反射紙7から反射された光は被検体5に再び入射されないので、結局、カメラ1に被検体5の映像が撮影されなくなる。
【0006】
図1の左側下端の映像は、反射紙7に入射される点線の正常シートビームと、反り現象がある場合の実線のシートビームを撮影したものである。
【0007】
また、被検体5が下方に反った場合にも、図1の右側上部に示すように、シートビームが点線の正常経路から下部に離隔して入射されるので、反射紙7を正面から見ると、正常経路の場合の明るい線(点線)より下部に離隔した部位に明るい線(実線)を形成するようになる。被検体5が正常な場合、反射紙から反射された光は、正常経路に沿って被検体5から再反射され、カメラ1に被検体5の映像を形成するようになる。しかし、被検体5が非正常的に反ると、反射紙7は入射角と反射角とが同一な一般の反射紙であるので、反射紙7から反射される光が被検体5面に到達できなくなり、結局、被検体に反りが生じる場合、カメラ1には被検体5の光入射部分の映像が得られない。
【0008】
このような現象は、被検体5に振動が発生する現象にもそのまま適用することができる。
【0009】
図2は、従来に光源から被検体に光を照射するときの欠点による屈折現象を説明する光学系を示す図である。
【0010】
光源25などの点光源からスクリーン9に光が照射されるとき、スクリーン9の明るさを1単位とする。このとき、屈折率に変化を与え得る異常現象、例えば、密度、異物、変形など(以下、欠点という。)が屈折角に変化を与える。欠点11によって光が屈折されると、欠点11がないときの光経路(点線)と出会う位置に光が到達しないので、スクリーン上の点線の終端部分は0単位の明るさを有するようになり、欠点11によって屈折された光が出会うスクリーン9部分の明るさは2単位に変換される。
【0011】
このように、欠点11によって明るさが0である部分と2である部分に急激に変化すると、映像の明るい部分と暗い部分との間の明るさの急激な変化が発生するようになり、欠点11の正確な形状を把握することができない。すなわち、このように急激に明るさが変化すると、明るさ勾配(gradient)を得ることができなく、欠点11の輪郭のみがスクリーン9上に形成されるようになり、結局、欠点11の実質的な形態を判読できる映像を得ることができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
本発明は、前記のような問題を解決するためのもので、本発明の解決課題は、光を遮断するナイフエッジ(knife edge)を用いて明るさ変化勾配を有する映像を得ることによって、欠点の形状を正確に把握できる検査装置を提供することにある。
【0013】
本発明の他の解決課題は、被検体に反り現象が発生する場合にも、再帰反射紙に入射される角度で光が再反射される性質を用いて正確に被検体を撮影することができ、被検体に振動が発生する場合、再帰反射紙は、被検体に振動が生じない場合と同様に入射された光を再反射させ、正確に被検体を撮影できる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0014】
前記解決課題のための本発明の解決手段は、入射される光を反射させる反射被検体に光を照射する光源と;前記反射被検体から反射されてから入射される光を前記反射被検体に再帰反射させる再帰反射板と;前記再帰反射板から再帰反射された再帰反射光が前記反射被検体に入射されてから反射される反射光を結像させる結像レンズと;前記結像レンズを通して入射される光を撮像する撮像と;前記結像レンズと前記反射被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジと;を含む。
【0015】
また、本発明の他の解決手段は、入射される光を透過させる透過被検体に光を照射する光源と;前記透過被検体に透過されて入射された光を前記透過被検体に再帰反射させる再帰反射板と;前記光源と前記透過被検体との間に設置され、スリットが形成されたマスクと;入射された光によって像を形成する撮像手段と;前記再帰反射板から再帰反射されて前記透過被検体を透過した光を集束させ、前記撮像手段に結像する結像レンズと;前記結像レンズと前記透過被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジと;を含む。
【発明の効果】
【0016】
前記の解決課題と解決手段を有する本発明によると、ナイフエッジによって映像の明るさに勾配を有する敏感度の高い映像を得ることによって、被検体の欠点を明確に認識することができる。
【0017】
また、本発明の再帰反射板の使用により、被検体が曲面を形成したり、被検体に機械的振動が発生する場合にも安定的に欠点を探すことができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】一般的な反射光学系で上方又は下方に反った反射板にシートビームが入射されるとき、反射板に入射されるシートビームに対する映像を示した図である。
【図2】従来に光源から被検体に光を照射するときの欠点による屈折現象を説明する光学系を示した図である。
【図3】本発明においてナイフエッジの原理を説明する光学構成図である。
【図4】本発明において被検体の内部を透過する光の経路を説明する光学構成図である。
【図5】本発明において被検体の表面から反射される光の経路を説明する光学構成図である。
【図6】本発明の一実施例を用いて透明サンプルを検査するための構成図である。
【図7】図6の光経路を説明する光経路図である。
【図8】本発明において撮影された欠点の映像を3次元化して示したグラフである。
【図9】図7と対比するためにナイフエッジを使用しない場合を示した光経路図である。
【図10】本発明において再帰反射板が振動に鈍感であることを説明する光経路図である。
【図11】本発明において再帰反射板が凹面鏡の役割をし、送った光が焦点に再び集まることを説明する光経路図である。
【図12】本発明の他の実施例において反射被検体に対する光経路を示した構成図である。
【図13】本発明の反射被検体でのナイフエッジの設置効果を説明する構成図であって、映像及び明るさの強さを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、添付の図面に基づいて本発明を詳細に説明する。
【0020】
図3は、本発明においてナイフエッジの原理を説明する光学構成図である。
【0021】
フィールドレンズ15の左側焦点には点光源25が位置しており、光源25から発散された光は、フィールドレンズ15の右側焦点を通過してスクリーン9に照射される。フィールドレンズ15とフィールドレンズ15の右側焦点との間に欠点11がある場合、欠点11を通過する光の光路は点線の正常光路から屈折され、右側焦点に位置したエッジ、望ましくは、端部が鋭い板状からなるナイフエッジ13を通過できずに終端する。
【0022】
また、図3の光源25から発散される光の強さが図2の光源25から発散される光の強さと同一であるとするとき、ナイフエッジ13により、フィールドレンズ15を通過する光の半分のみがスクリーン9を照明するので、図2でスクリーン9上の各点での明るさを1単位とすると、図3でのスクリーン9の各点での明るさは0.5単位になる。図2で欠点11によって屈折された光は、スクリーン9上の隣接した点の明るさを2単位に補強させるが、図3では欠点11によって屈折された光がナイフエッジ13によって遮断されるので、スクリーン13の隣接した点を補強させなくなる。すなわち、欠点11が存在する場合、図3で欠点11がない場合にスクリーン上に到達する正常光線である点線の光線がスクリーン上でぶつかる位置は、光線が進入しないことから0単位の明るさを有するが、スクリーン上の隣接した点には明るさの変化がなくなる。結局、図3に示すように、ナイフエッジ13を使用して一部の光線を遮断させると、欠点11によるスクリーン上の明るさの変化値が小さくなるので、スクリーン上の明るさの勾配が抽出される。したがって、図3のようにナイフエッジ13を使用すると、被検体の輪郭だけでなく、明るさの勾配を有する被検体の鮮明な映像を得ることができる。
【0023】
図4は、本発明において被検体の内部を透過する光の経路を説明する光学構成図で、図5は、本発明において被検体の表面から反射される光の経路を説明する光学構成図である。
【0024】
図4に示すように、フィールドレンズ17の左側焦点にはシートビームを発生させる光源25が位置し、フィールドレンズ17の右側焦点にはナイフエッジ13が位置し、フィールドレンズ17とナイフエッジ13との間に被検体19が位置する。被検体19を透過する光は結像レンズ21を通過し、ラインCCD23には透明被検体の映像が形成される。
【0025】
このとき、ナイフエッジ13は、結像レンズ21の光軸に対して垂直に設置され、先端面を光軸に接近させることによって、被検体19に形成された欠点の映像から表面の屈曲や内部の欠点を鮮明に得ることができる。
【0026】
また、図5に示すように、被検体27の上部には被検体の表面に傾斜して光が入射されるように光源25とフィールドレンズ17が設置され、反射型被検体27の表面から反射された光は、結像レンズ21を通過してラインCCD23に映像を形成し、フィールドレンズ17の焦点にはナイフエッジ13が設置され、ラインCCD23に鮮明な映像が形成される。
【0027】
図6は、本発明の一実施例を用いて透明サンプルを検査するための構成図で、図7は、図6の光経路を説明する光経路図で、図8は、本発明において撮影された欠点の映像を3次元化して示したグラフで、図9は、図7と対比するためにナイフエッジを使用しない場合を示した光経路図である。
【0028】
シートビームを発生させる光源25から発散された光は、地面に傾斜して設置されたハーフミラー29によって反射され、光は地面と平行に再帰反射板31に入射され、再帰反射板31から反射された光はハーフミラー29に向かって再反射され、ハーフミラー29に入射された光は、透過された後、結像レンズ21を通過してラインCCD23に結像される。
【0029】
また、再帰反射板31とハーフミラー29との間に発生する多数の光路の光の干渉を減少させるために、光がスリットを通過して再帰反射板31に入射されるようにするマスク33が設置され、マスク33の裏面には、透明被検体35が矢印と同一の方向に移動しながらスキャニングされる。
【0030】
また、結像レンズ21の左側焦点には、ナイフエッジ13が光軸に設置されており、結像レンズ21に入射される光量は、光量の強さに対する勾配を得るようになる。図7のAは、ナイフエッジ13の移動に対する光量調節を説明するもので、Aにおいて、横方向の実線(a)は、ナイフエッジ13の上端が光軸に一致するように位置するときを意味し、点線(b)は、被検体35に形成された凸状欠点37よって光源からのシートビームの屈折角が変化することから、光路が曲がって下方に移動した状態を意味する。
【0031】
図7に示すように、正常状態での透明被検体35の映像は、(○2)のような光経路によってラインCCD23に結像されるが、透明被検体35に凸状欠点37が形成されている場合、屈折光(○3)が発生するようになり、ナイフエッジ13によって屈折光(○3)のラインCCD23への到達が遮断され、屈折部位に対する映像は暗くなる。
【0032】
このとき、再帰反射板31は、光源から入射された光を光源側に再び反射させることによって、透明被検体35に振動や屈曲が生じた場合にも正確な映像を得られるようにする。図7のBは、ラインCCD23にスキャニングされた映像を示し、CはBの縦断面の光量の強さを示したグラフである。図7のBの映像から分かるように、欠点の輪郭だけでなく、全体的な欠点の形状を得ることができ、光量グラフ(C)に示したように、明るい部分と暗い部分との間が連続曲線となっており、光量強さの勾配を得ることができる。このような勾配を得られる映像は、図8のように欠点映像を3次元化するのに使用できるので、欠点映像の様子を具体的に確認することができる。
【0033】
しかし、図9に示すように、ナイフエッジを使用しない場合の欠点の映像には、輪郭のみが現れるようになり、光量グラフに示すように明るさが急激に変化するので、明るさの勾配と3次元映像を得ることができない。
【0034】
図10は、本発明において再帰反射板の役割を説明する光経路図である。
【0035】
図10の(a)は、光源から出た光が一般の反射板にぶつかるときの光経路を示したもので、反射板から反射された光が多様な方向に反射されるので、極めて一部の光のみが光源方向に反射されることを示し、図10の(b)は、光源から出た光が鉛直方向に設置された再帰反射板から反射される光経路を示したもので、光源から出た光はいずれも光源に向かって反射されている。また、図10の(c)は、鉛直面に対して傾斜して設置された再帰反射板から反射されるときの光経路を示したもので、この場合も、再帰反射板から反射された光がいずれも光源に復帰される様子を示している。また、このような現象は、光源から出た光が再帰反射板から反射されるとき、再帰反射板の傾斜角とは関係なく、全てが光源に復帰されることを意味する。
【0036】
また、光源と鉛直に設置された再帰反射板との間に透明被検体が通過しながら、透明被検体の傾斜した部分がスキャニングされる場合にも、光が傾斜した部分を透過して再帰反射板から反射されるとき、再帰反射板に入射された光はいずれも光源方向に向かうので、透明被検体が傾斜した場合にも鮮明な映像を得ることができる。
【0037】
また、本発明において反射体として再帰反射板を使用する場合、被検体に振動が発生する場合にも被検体に対する正確な映像を得ることができる。
【0038】
図11は、本発明において再帰反射板が凹面鏡の役割をし、光が1ヶ所に集まることを説明する光経路である。
【0039】
図11の(a)は、光源25から発散された光がハーフミラー29から反射され、再帰反射板31から再反射された後、ハーフミラー29を通過して焦点に集まることを示している。これに対して、図11の(b)は、(a)に比べて光源25が再帰反射板31から遠ざかったことを示しているが、(a)と同様に、再帰反射板31から反射された光は、光源25が焦点距離に位置する場合と同様に反射される。図11の(c)は、(b)に比べて光源25がさらに遠ざかったことを示し、点光源が焦点距離に位置する場合と同様に各反射光の光経路を形成する。
【0040】
このように再帰反射板31から反射される光は、光源25を焦点とする光と同一の光経路を形成し、光源25と再帰反射板31との隔離距離が可変する場合にも光源25を焦点とする光経路を形成する。したがって、光源25と再帰反射板31との間に被検体35が通過し、通過する被検体35と再帰反射板31との間又は被検体35と光源25との間の距離が振動によって可変する場合にも、常に再帰反射板31から反射された光が光源25を焦点とする光経路を形成するので、被検体35に振動が発生する場合にも被検体35の正確な映像を得ることができる。
【0041】
図12は、本発明の他の実施例において反射被検体に対する光経路を示した構成図である。
【0042】
反射被検体41の上面にはスリットを有するマスク33が設置され、光源25から発散された光は、ハーフミラー29から反射された後、反射被検体41に一定の傾斜角で入射される。そして、反射被検体41から反射された光は、再帰反射板31に入射された後、再帰反射板31から反射される。そして、反射被検体41から再反射された光は、ハーフミラー29及び結像レンズ21を通過した後、ラインCCD23で結像され、再帰反射板から再反射された光が1ヶ所に集まる場所にナイフエッジ31が設置される。
【0043】
反射被検体41の上面に凸状欠点39がある場合、光源から発散された光経路は線aのように示され、反射被検体41に対する結像のための光経路は線bのように示され、凸状欠点39によって屈折される光経路は線cのように示される。線cはナイフエッジ31によってラインCCD23に到達しないので、線cが到達すべき部分には暗い映像が具現されるが、図3を参照して説明したように、暗い部分と明るい部分に対する明るさの勾配を形成するので、凸状欠点に対する明確な映像を得ることができる。
【0044】
図12のBは、ラインCCDで得られた映像を示し、図12のCは、Bの映像の明るさの強さに対するグラフを示したもので、図7のB、Cのように、ナイフエッジの設置効果によって鮮明な映像を得ることができる。
【0045】
図13は、本発明の反射被検体でのナイフエッジの設置効果を説明する構成図であって、映像及び明るさの強さを示したものである。
【0046】
図13は、図12の反射被検体41の凸状欠点39がマスク33のスリットを通過するときの光経路を示したものである。スリットの下部を通過する反射被検体41をスリットの上部から見ると、再帰反射板31から反射される光の光経路は、(A1)、(A2)、(A3)、(A4)、(A5)のような順に表現される。(A1)の状態は、再帰反射板31から反射された光が欠点のない部分から反射され、BのCCD映像で平均明るさを示している状態であって、明るさのグラフCで中間明るさの強さ値を有する。
【0047】
また、(A2)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の前部から屈折され、ナイフエッジ13によって遮断される状態を示し、このときは、映像Bから最も暗い部分の映像が撮像され、グラフCで最も低い強さを有するようになる。
【0048】
また、(A3)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の正常部分の平面から反射されることから、ナイフエッジ13によって遮断されない状態を示し、凸状欠点39が存在しない状態と同様に、映像Bで中間明るさを示し、グラフCで強さの中間値を有する。
【0049】
また、(A4)の状態は、再帰反射板31から反射された光が凸状欠点39の後部から反射されて他の光線と重複することから、光の補強が起きる状態を示し、映像Bで明るい部分を撮像するようになり、このとき、グラフCの明るさの強さの値も最上に形成される。
【0050】
また、(A5)の状態は、凸状欠点39がマスクのスリットを通過した状態を示し、(A1)の状態と同様の映像とグラフを有するようになる。
【0051】
このように再帰反射板から反射された光が凸状欠点39によって不規則に反射されるとき、正常部位から反射される反射光と凸状欠点39によって不規則に反射される反射光には補強と相殺が起きるが、相殺される光をナイフエッジによって遮断するので、補強のみが起きるようになる。したがって、補強される点と相殺される点の明るさ差を弱くし、凸状欠点39に対する映像の敏感度を高め、光量の強さに対する勾配を得られるようにし、映像に対する3次元情報を得ることができる。
【0052】
また、本発明の一実施例では、ナイフエッジを使用して映像の敏感度を増加させた。また、映像の敏感度は、ナイフエッジを光学系の光軸に接近させることによってさらに増加するようになる。また、被検体の欠点で屈折角又は反射角が同一である場合、光源が大きい場合に比べて光源が小さい場合に光量変化が大きくなるので、敏感度が増加するようになる。また、被検体の前面に設置されるマスクのスリット幅を減少させると、光の相互間の干渉を減少できるので、より敏感な映像を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【0053】
本発明によると、ナイフエッジによって映像の明るさに勾配を有する敏感度の高い映像を得ることによって、被検体の欠点を明確に認識することができる。
【0054】
また、本発明の再帰反射板の使用により、被検体が曲面を形成したり、被検体に機械的振動が発生する場合にも安定的に欠点を探すことができる。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
入射される光を反射させる反射被検体に光を照射する光源;
前記反射被検体から反射されてから入射される光を前記反射被検体に再帰反射させる再帰反射板;
前記再帰反射板から再帰反射された再帰反射光が前記反射被検体に入射されてから反射される反射光を結像させる結像レンズ;
前記結像レンズを通して入射される光を撮像する撮像手段;及び
前記結像レンズと前記反射被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジ;を含むことを特徴とする欠点検査のための検査装置。
【請求項2】
前記反射被検体と前記光源との間にはスリットが形成されたマスクが設置され、前記反射被検体は移動し、前記撮像手段に撮像される映像はラインスキャニングされることを特徴とする、請求項1に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項3】
前記光源のサイズを減少させる方法、前記マスクのスリット幅を減少させる方法及び前記ナイフエッジを光軸に接近させる方法のうち1つ又は2つ以上を選択することによって前記映像の敏感度を増加させることを特徴とする、請求項1又は2に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項4】
前記光源から出発した光は、前記反射被検体に傾斜して入射され、前記反射被検体から反射された光は、前記再帰反射板に入射されてから再帰反射され、前記再帰反射板から再帰反射された光は前記反射被検体の欠点から反射され、前記欠点から反射された光が補強と相殺を発生させるとき、前記ナイフエッジは、相殺を発生させる光が前記結像レンズに入射されることを遮断することを特徴とする、請求項2に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項5】
入射される光を透過させる透過被検体に光を照射する光源;
前記透過被検体に透過されて入射された光を前記透過被検体に再帰反射させる再帰反射板;
前記光源と前記透過被検体との間に設置され、スリットが形成されたマスク;
入射された光によって像を形成する撮像手段;
前記再帰反射板から再帰反射されて前記透過被検体を透過した光を集束させて前記撮像手段に結像する結像レンズ;及び
前記結像レンズと前記透過被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジ;を含むことを特徴とする欠点検査のための検査装置。
【請求項6】
前記光源のサイズを減少させる方法、前記マスクのスリット幅を減少させる方法及び前記ナイフエッジを光軸に接近させる方法のうち1つ又は2つ以上を選択することによって前記映像の敏感度を増加させることを特徴とする、請求項5に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項1】
入射される光を反射させる反射被検体に光を照射する光源;
前記反射被検体から反射されてから入射される光を前記反射被検体に再帰反射させる再帰反射板;
前記再帰反射板から再帰反射された再帰反射光が前記反射被検体に入射されてから反射される反射光を結像させる結像レンズ;
前記結像レンズを通して入射される光を撮像する撮像手段;及び
前記結像レンズと前記反射被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジ;を含むことを特徴とする欠点検査のための検査装置。
【請求項2】
前記反射被検体と前記光源との間にはスリットが形成されたマスクが設置され、前記反射被検体は移動し、前記撮像手段に撮像される映像はラインスキャニングされることを特徴とする、請求項1に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項3】
前記光源のサイズを減少させる方法、前記マスクのスリット幅を減少させる方法及び前記ナイフエッジを光軸に接近させる方法のうち1つ又は2つ以上を選択することによって前記映像の敏感度を増加させることを特徴とする、請求項1又は2に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項4】
前記光源から出発した光は、前記反射被検体に傾斜して入射され、前記反射被検体から反射された光は、前記再帰反射板に入射されてから再帰反射され、前記再帰反射板から再帰反射された光は前記反射被検体の欠点から反射され、前記欠点から反射された光が補強と相殺を発生させるとき、前記ナイフエッジは、相殺を発生させる光が前記結像レンズに入射されることを遮断することを特徴とする、請求項2に記載の欠点検査のための検査装置。
【請求項5】
入射される光を透過させる透過被検体に光を照射する光源;
前記透過被検体に透過されて入射された光を前記透過被検体に再帰反射させる再帰反射板;
前記光源と前記透過被検体との間に設置され、スリットが形成されたマスク;
入射された光によって像を形成する撮像手段;
前記再帰反射板から再帰反射されて前記透過被検体を透過した光を集束させて前記撮像手段に結像する結像レンズ;及び
前記結像レンズと前記透過被検体との間に設置され、前記結像レンズの光軸に対して垂直に設置されるナイフエッジ;を含むことを特徴とする欠点検査のための検査装置。
【請求項6】
前記光源のサイズを減少させる方法、前記マスクのスリット幅を減少させる方法及び前記ナイフエッジを光軸に接近させる方法のうち1つ又は2つ以上を選択することによって前記映像の敏感度を増加させることを特徴とする、請求項5に記載の欠点検査のための検査装置。
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図11】
【図13】
【図1】
【図9】
【図10】
【図12】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図11】
【図13】
【図1】
【図9】
【図10】
【図12】
【公表番号】特表2012−519866(P2012−519866A)
【公表日】平成24年8月30日(2012.8.30)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−553931(P2011−553931)
【出願日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【国際出願番号】PCT/KR2009/007560
【国際公開番号】WO2010/104265
【国際公開日】平成22年9月16日(2010.9.16)
【出願人】(511212310)3ビー システム インコーポレイテッド (1)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成24年8月30日(2012.8.30)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【国際出願番号】PCT/KR2009/007560
【国際公開番号】WO2010/104265
【国際公開日】平成22年9月16日(2010.9.16)
【出願人】(511212310)3ビー システム インコーポレイテッド (1)
【Fターム(参考)】
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