【課題】基板上に成膜された透明膜の外縁を明確に特定することで、精度の高い成膜パターンの検査を行うことができる。
【解決手段】透明膜検査装置１は、透明膜Ｍの外縁Ｍｅを含む被検査範囲の観察像を形成する観察光学系１０と、被検査範囲を含む基板Ｓ上に照明光を照射する照明光源２０と、観察光学系１０の光路内に配置されて当該光路の一部を遮光する遮光部材３０とを備える。遮光部材３０は、観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、この遮光部分が透明膜Ｍの外縁Ｍｅの像に被さるように配置される。観察光学系１０は、透明膜Ｍの外縁Ｍｅの側面で反射した光を観察像内に結像させることで、遮光部分にコントラストの高い透明膜Ｍの外縁Ｍｅの線像を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動ノイズによる誤検知を防止できる光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法を提供することにその目的がある。
【解決手段】本発明の一実施形態による光学検査システム用振動ノイズ補正装置は、被検査物に一定の明度で光を照射する第１の照明部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、被検査物に第１の照明部と同一の明度で光を照射できるよう設置された第２の照明部と、第１の照明部及び第２の照明部を一定速度で交互にオン（ON）／オフ（OFF）させる照明制御部と、第１の照明部及び第２の照明部が照らす被検査物の第１の画像及び第２の画像を取得する撮影部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、第１の画像を第２の画像に差し替える映像処理部とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 （もっと読む）

【課題】枚葉フィルムの外観全面検査をフィルムにシワやたるみが発生せず、低コストで検査を可能とするフィルム搬送装置を提供する。
【解決手段】フィルムを検査する検査装置に用いられるフィルム搬送装置であって、フィルムの対向する２辺を固定してフィルムを巻き出し、巻き取る第一のローラと第二のローラーと、前記２本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記２本のローラーの間隔を変更する第一のローラー間隔変更手段と第二のローラー間隔変更手段と、前記２本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記２本のローラー間で巻き出し、巻き取られるフィルムの幅方向の張力を均一にする第一の張力均一手段と第二の張力均一手段と、を備えたことを特徴とするフィルム搬送装置。 （もっと読む）

【課題】マーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システム、及びマーキング方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査システム１は、回転軸にカム（２２）が設けられたモータ（２１）と、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段（２３ａ）が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンク（２３）と、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部（２４）と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部（２５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサを利用し、かつ被検体の表面欠陥を高精度に検出することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送する搬送部１４と、搬送部１４にて搬送される被検体１２の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部１６と、被検体１２に照射された明暗パターンを被検体１２の幅方向に移動させる動力伝達機構１８と、被検体１２の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ２０と、ラインセンサ２０にて撮像された信号に基づいて被検体１２の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】光学異方性を有するフィルムについて、その欠陥を抽出するとともに、欠陥の種類を正確に判別するためのフィルム検査システム等を提供する。
【解決手段】フィルム検査システム１では、光学補償フィルム１０を、偏光板５１ａを介した照明光を照射した状態で、ラインセンサ３ａで偏光板３１ａを介して撮像するとともに、偏光板５１ｂを介した照明光を照射した状態で、ラインセンサ３ｂで偏光板３１ｂを介して撮像する。偏光板３１ａと偏光板５１ａ、偏光板３１ｂと偏光板５１ｂの偏光方向は略直交し、偏光板３１ａの偏光方向と光学補償フィルム１０の配向方向とは略４５°の角度をなし、偏光板３１ｂの偏光方向と光学補償フィルム１０の配向方向とのなす角度は、９０°から所定角度ずらしたものである。画像処理装置７は、ラインセンサ３ａ、３ｂで光学補償フィルム１０を撮像した画像データ２０ａ、２０ｂを基に欠陥候補の検出と欠陥種類の判別を行う。 （もっと読む）

【課題】連続的に走行するシートに発生するキズ欠点を高精度に検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】ライン状光線を照射する光照射手段と、前記ライン状光線の一部を受光する受光手段と、前記受光手段で受光した信号に応じてキズ欠点を検出する画像処理手段とを備え、かつ、前記光照射手段と前記受光手段とを同時に、シートと平行を維持した状態で回転させる回転手段を設けることを特徴とするシートにおけるキズ欠点検査装置、とすることにより、連続的に走行するシートに発生する欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】投光機１１と撮影装置１２との間に、第１及び第２偏光板１３，１５を配置する。第１及び第２偏光板１３，１５の間に、検査対象のパターン化位相差フィルム２０を配置する。撮影装置１２側でフィルム２０と第２偏光板１５との間にλ／４波長板１４を配置する。第２偏光板１５を回転させて、第１偏光板１３の透過軸をフィルム２０の光学軸に対し４５°傾けた状態で、第２偏光板１５の透過軸を前記λ／４波長板１４の光学軸に対して＋４５度にした第１状態で撮影装置１２により第１画像を撮影する。第２偏光板１５の透過軸をλ／４波長板１４の光学軸に対して−４５度にした第２状態で撮影装置１２により第２画像を撮影する。第１画像と第２画像とを第１及び第２位相差領域が一致する位置で重ね合わせて合成する。得られた合成画像に基づき欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】パターン化位相差フィルム１２を挟んで第１，第２偏光板１８，１９が配される。各偏光板１８，１９は、クロスニコル配置とされる。パターン化位相差フィルム１２には、遅相軸がほぼ直交する第１位相差領域１４，第２位相差領域１５が交互に配されている。光源部１６は、第１偏光板１８を介してパターン化位相差フィルム１２に検査光を照射し、撮影装置１７は、パターン化位相差フィルム１２，第２偏光板１９を透過する光を受光して輝度画像を撮影する。第１位相差領域１４の遅相軸Ａｓ１と第１偏光板１８の偏光透過軸Ｐ１とをほぼ平行となる状態で、正常な第１位相差領域１４と第２位相差領域１５の各輝度が同じレベルとなるように偏光透過軸Ｐ１の方向を調整する。 （もっと読む）

【課題】 透明な物体の表面に付着した微小な異物、及び透明な物体の表面の微小な欠陥を精度良く検出することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 表面観察装置は、光源装置、偏光変換装置、ハーフミラー、レンズ、受光モジュール、回路基板、筐体、処理装置などを備えている。受光モジュールは、偏光フィルタ１５１、マイクロレンズアレイ１５３、イメージセンサなどを有している。そして、偏光フィルタ１５１の＋Ｚ側の面とマイクロレンズアレイ１５３との間隙Ｄｉｎｔは、マイクロレンズアレイ１５３におけるレンズピッチＰｍｌ以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】接着剤中に散在する多くの気泡について、精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、貼り合せ板状体１０を介してラインセンサカメラ５０に向けて照明する照明手段５１、５２と、前記照明手段により照明がなされている状態でラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて生成される画素単位の濃淡値からなる検査画像情報から得られる暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の検査画像上での距離に基づいて気泡サイズ情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】被測定物体から試料を切り取る必要がなく、機械的駆動部を備えておらず持ち運びが容易にできる反射特性測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】反射特性測定装置１は、被測定物体を照明する照明部1ａと、照明部1aにより内部を照明できるようにした拡散ドーム1bと、拡散ドーム1bの頂上に取り付けた魚眼レンズ1cと、魚眼レンズ1cを取り付けた受光部1dと、画像処理部1eを備えて構成されている。被測定物体からの反射光は拡散ドーム1bの内壁に映り込み、このときの光強度分布を受光部1dで撮像する。そして、撮像した画像から画像処理部1eで被測定物体上の反射点の位置を検出し、このときの位置を基準として拡散ドームの径に応じた球座標に変換する。このようにすると、反射点の反射特性を一度の撮像で取得して、さらに３次元表示できる。 （もっと読む）

【課題】効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、走行する被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、検査ロール上の被検査物の表面に光を照射する光源と、被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、溝部と柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、検出ユニットは、被検査物において柱面部上に位置する領域を検出領域とし、柱面部の位置が、複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、光の透過率の高い薄い異物やシワ等を原因とするシール不良の検出も可能な高精度のシール検査装置を提供する。
【解決手段】本実施形態に係るシール検査装置１は、内容物を密封した包装袋７０の袋口シール領域７７のシール不良を検査するシール検査装置１において、シール後の包装袋７０をその袋口シール領域７７が検査場所５０を通過するように案内するガイド部材３０と、検査場所５０にコリメート光を照射するための光源１０と、検査場所５０に位置する袋口シール領域７７の表面に対して略垂直な方向において、光源１０と同じ側に設置された、袋口シール領域７７からの反射光を撮像する撮像装置２０と、撮像装置２０が撮影した撮像画像に基づいて、袋口シール領域７７においてシール不良が発生していないか判定する制御手段４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察面Ｆｐが設定される観察光学系（１１）と、観察光学系側から観察面Ｆｐを照明する反射照明機構１２と、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐを照明する透過照明機構１４と、観察面Ｆｐに沿う平坦面（３５ａ）を形成する保持機構１３と、を備える検査装置１０である。保持機構１３は、透過照明機構１４からの照明光の透過を許しかつ平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材（３５）と、透過部材を取り囲んで保持する保持部材（３４）と、を有し、保持部材は、観察光学系側へと突出しつつ平坦面を取り囲む環状突部３４ｈと、それと平坦面とにより規定される内方凹所３４ｌを外部に連通させる吸引孔３８と、を有し、吸引孔３８には、内方凹所３４ｌの空気を吸引する吸引装置３６が接続されている。 （もっと読む）