【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物１０の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部４の少なくとも一方を移動させる移動部２と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、照明手段５１と、照明手段５１により照明がなされている状態で貼り合せ板状体１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第１板状体１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第１板状体１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 （もっと読む）

【課題】
表面の異物や傷欠陥だけでなく基板の局所的な厚さの変化による欠陥まで検出することを可能にする。
【解決手段】
ガラス基板検査装置を、ガラス基板を透過した光を検出する第１の欠陥検出光学系と、ガラス基板を透過した光によりガラス基板の表面又は内部で発生した散乱光を検出する第２の欠陥検出光学系と、第１の検出光学系で検出した信号と第２の検出光学系で検出した信号とを処理する信号処理手段とを備えて構成し、信号処理手段は、第１の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の局所的な厚さの変化に起因する欠陥を検出し、第２の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の欠陥を検出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】連続して発生するガラス欠陥の検査において、必要な検査精度を確保したまま検査速度を高め、さらに、装置構成を複雑にせず装置コストを抑えた板ガラス検査装置を提供する。
【解決手段】複数の板ガラスを検査する板ガラス検査装置であって、第１板ガラスの欠陥候補範囲と、前記第１板ガラスとは異なる第２板ガラスの欠陥候補範囲とを検出する検出部１１０と、前記第１板ガラスの欠陥候補範囲の位置と、前記第２板ガラスの欠陥候補範囲の位置とを比較し、前記比較の結果に基づいて、前記第１板ガラスと前記第２板ガラスとに連続する欠陥の有無を判定する判定部１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、ＮＧの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板１の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第１イメージおよび第２イメージをそれぞれ撮影する撮像装置１０および２０と、ガラス基板１の下方に配置され、撮像装置１０、２０側にガラス基板１を透過する暗視野照明装置３０と、第１イメージ上の不良の位置座標と、第２イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部４０とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ１は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ２、Ｐ３は、互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 透明な物体の表面に付着した微小な異物、及び透明な物体の表面の微小な欠陥を精度良く検出することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 表面観察装置は、光源装置、偏光変換装置、ハーフミラー、レンズ、受光モジュール、回路基板、筐体、処理装置などを備えている。受光モジュールは、偏光フィルタ１５１、マイクロレンズアレイ１５３、イメージセンサなどを有している。そして、偏光フィルタ１５１の＋Ｚ側の面とマイクロレンズアレイ１５３との間隙Ｄｉｎｔは、マイクロレンズアレイ１５３におけるレンズピッチＰｍｌ以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面汚染分析装置１００は、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置である。この表面汚染分析装置１００は、外部からの光を遮断する遮光容器１１０と、遮光容器１１０の中に配置され、透明板状部材を保持する保持部１２０と、透明板状部材の一方の端面に光を照射して、透明板状部材の内部に光を透過させる照明部１３０と、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 シート材を高速搬送させても短時間で観察画像を取得することができ、シート材が搬送方向と垂直な方向であって、前記観察部の視野内にある前記シート材の搬送方向と直交する方向（つまり、シート材の厚み方向や幅方向）にバタツキや揺動を生じたとしても、観察画像の品質及び評価の質が損われることを防ぐことができる、シート材端部の観察・評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 観察対象となるシート材の端部を搬送させながら観察し、
観察視野範囲の一部分を観察領域として登録し、当該領域を別個に複数登録でき、当該観察部の外部から複数の部分観察領域を選択するかを指示して、複数登録された中から一つの部分観察領域に切り替える部分観察領域切替機能を有し、
シート端部位置検出器から得られた信号に基づいて観察部に対して部分観察領域が切り替わるように信号出力する、シート材端部の観察評価装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査することで表面上の欠陥を検出する場合において、設備投資を抑えつつも欠陥の検出精度を高めること、並びにガラス基板の波打ち等に起因した種々の問題発生を可及的に回避することを可能とする。
【解決手段】ガラス基板１０と、このガラス基板１０の表面１０ａに対向配置した欠陥検知手段５とを相対移動させ、ガラス基板１０の表面１０ａに沿って欠陥検知手段５を走査させることにより、ガラス基板１０が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板１０を、上記相対移動方向と直交する断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態で保持する。ガラス基板１０は、例えば縦姿勢とされ、その上辺１１と下辺１２とを一対の端部保持手段３，４でそれぞれ保持することにより上記の湾曲形態で保持される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスの洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄条件の調査に有用な光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段２と、潜傷付与手段２により付与された潜傷の形状を測定する第１の形状測定手段３と、第１の形状測定手段３により潜傷の形状を測定された光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、潜傷を拡大させる洗浄手段４と、洗浄手段４による洗浄後に、潜傷の形状を測定する第２の形状測定手段５と、第１の形状測定手段３及び第２の形状測定手段５で得られた結果から光学ガラスの洗浄前後の潜傷の状態を対比する対比手段６と、を有する光学ガラスの潜傷評価装置１。 （もっと読む）

【課題】同一仕様で形成され同一方法で保持された複数の平面基板上の、同一箇所に形成された同一パターンの形状を確実に順次検査するための簡単な方法を提供すること。
【解決手段】１枚目の検査対象基板に対して、検査のためのカメラと検査対象となるパターンとの撮像距離を順次変化させて各撮像距離で撮像して合計で複数の画像情報を入力し、入力した複数の画像情報を予め登録してある登録画像情報と比較して、登録画像情報に最も類似した一画像の情報を複数の画像情報の中から選択して、検査判定するとともに、選択した画像情報に対応する撮像距離をカメラ最適高さとして特定し、２枚目以降の平面基板上の同一箇所に形成された同一パターンの形状検査において、カメラ最適高さとした撮像距離で検査することを特徴とするパターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明・撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューター（ＰＣ）と、検査対象物を移動（搬送）する搬送部とを備え、前記照明・撮像系において、画像撮像用受光部（カメラ）、レンズ、照明を１系統とし、それらが、同一軸上に２系統以上配置され、移動（搬送）される検査対象物の同一フレームを同一条件で２回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合ＰＣに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を利用した基板上の異物を検知する異物検知装置の光軸がズレることなく、吐出装置と固定する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する異物検知装置を少なくとも有する塗布装置であって、前記異物検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置、投光装置ならびに受光装置それぞれに当接する面に弾性体を有し前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離自在のＬ型部材、および前記Ｌ型部材を前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離動作を行う作動部材により構成する。 （もっと読む）

【課題】光学ガラス検査治具に保持された光学ガラスの透過光の、光学ガラス検査治具の表面からの反射の影響を排除して、光学ガラスの傷等の検査精度向上と迅速化を図る。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部３１ｎと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部３２とを有し、さらにガラス載置部３１ｎが光学ガラス検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙの間を連通する治具開口部３１ｃを備え、ガラス保持部３２が治具開口部３１ｃの少なくとも２つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス３５を通過した光が更に治具開口部３１ｃを通過する構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスを透過した光の反射光等の影響を排除できる光学ガラス検査装置および検査方法を実現する。
【解決手段】ガラス３５を保持した治具３０を搭載する搭載部２１、搭載部２１を変位させてガラス３５を検査領域に位置づける駆動装置２２、搭載部２１の一方側に配設された光源１５および光学系１０、及び搭載部２１の他方側に配設され反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部４０を有し、治具３０として、表・裏面を連通する治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの隣接領域にガラス３５を保持するためのガラス保持手段３２を有するものを使用することで、光源１５から検査領域に照射された光がガラス３５、治具開口３１ｃおよび搭載部開口２１ｃを通過して更に反射部４０に入射して反射する反射光の光路が、検査領域と交叉しない構成とした。 （もっと読む）

【課題】製造ライン上を搬送される基板の搬送速度の変化に対応してリアルタイムに位置ズレ誤差を補正できるようにする。
【解決手段】インライン基板検査方法は、上流ラインから下流ラインヘ基板を移動させながら、移動中の基板と直交する方向へ投光系及び受光系からなる光学系を移動させて検査光を照射すると共に基板からの反射光又は散乱光又は透過光を受光し、受光した基板からの反射光又は散乱光又は透過光に基づいて基板の欠陥を検出するものであり、この検査時に基板の移動速度を検出し、検出された移動速度に基づいて基板の欠陥検出位置を補正するようにした。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板端から表示領域を画定する額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の基板を披検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、被検査体を透過した透過光を、透過光源部と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】搬送中のガラス板を停止させることなく、搬送方向に直交する向きの直交端面及びその近傍を撮像することのできるガラス板の端面撮像装置およびその撮像方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス板の端面撮像装置５は、水平状態でガラス板を所定方向に搬送する搬送手段３と、搬送手段３で搬送されるガラス板２の搬送方向と直交する向きの直交端面４ａ（４ｂ）及びその近傍を撮像する撮像手段７（７ａ，７ｂ）と、撮像手段７（７ａ，７ｂ）を、ガラス板２の搬送方向に対して斜め方向に移動させる移動手段８と、ガラス板２の搬送時、撮像手段７（７ａ，７ｂ）と直交端面４ａ（４ｂ）との距離を一定に保ちつつ、撮像手段７（７ａ，７ｂ）を移動手段８により直交端面４ａ（４ｂ）に沿って移動可能とする移動制御手段９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】平板ガラスの内部に含まれた異物を、ガラス品質に影響を及ぼす異物と、ガラス品質に影響を及ぼさない異物とに正確に判別する。
【解決手段】平板ガラスの異物検査装置は、平板ガラス１の上部または下部領域に設けられる照明部３１と、照明部３１と平板ガラス１との間に設けられる第１偏光板１１と、照明部３１に対して反対方向に取り付けられる第１及び第２カメラ１０、２０と、第１カメラ１０と平板ガラス１との間に設けられ、第１偏光板１１の偏光方向と０゜乃至２０゜の範囲の偏光方向を有する第２偏光板１３と、第２カメラ２０と平板ガラス１との間に設けられ、第１偏光板１１の偏光方向と７０゜乃至９０゜の範囲の偏光方向を有する第４偏光板１７と、第１及び第２カメラ１０、２０から獲得した映像を入力し、良品性異物であるか、または不良性異物であるかを判別する処理部５０とを備えている。 （もっと読む）