【課題】酸化亜鉛系薄膜の蒸着に用いられる前駆体のアルキル亜鉛ハライド酸化亜鉛前駆体及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】Ｒ−Ｚｎ−Ｘ前記式中、Ｒはアルキル基（Ｃ_ｎＨ_２ｎ＋１）を表し、Ｘはハロゲン基を表す。好ましくは、前記アルキル基のｎは１〜４であり、より好ましくは、前記アルキル基は、メチル基、エチル基、ｉ−プロピル基、またはｔ−ブチル基を含む。好ましくは、前記ハロゲン基は、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、またはＩを含む。また、本蒸着チャンバ内に基板を配置させる段階と、前記アルキル亜鉛ハライド酸化亜鉛前駆体と酸化剤を前記蒸着チャンバに供給して、基板上に酸化亜鉛系薄膜を化学気相蒸着する段階と、を含むことを特徴とする酸化亜鉛系薄膜の蒸着方法とする。好ましくは、常圧化学気相蒸着にて前記基板上に前記酸化亜鉛系薄膜を蒸着する。 （もっと読む）

【課題】酸化亜鉛系薄膜の蒸着に用いられる前駆体であって、下記の化学式で示されるジルコノセン（ｚｉｎｃｏｃｅｎｅ）、またはその誘導体であることを特徴とする酸化亜鉛前駆体及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】


前記式中、Ｒ１およびＲ２は水素またはＣ_ｎＨ_２ｎ＋１を表す。好ましくは、前記ｎは１〜３であり、より好ましくは、前記Ｒ１およびＲ２は水素、メチル基、エチル基、またはｉ−プロピル基を含む。また、蒸着チャンバ内に基板を配置させる段階と、前記酸化亜鉛前駆体と酸化剤を前記蒸着チャンバに供給し、基板上に酸化亜鉛系薄膜を化学気相蒸着する段階と、を含むことを特徴とする酸化亜鉛系薄膜の蒸着方法とする。好ましくは、常圧化学気相蒸着にて前記基板上に前記酸化亜鉛系薄膜を蒸着する。 （もっと読む）

【課題】高品質のＧａＮ薄膜を転移させることができる薄膜接合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のＧａＮ基板のＧａ面から所定の深さにイオンを注入し、第１のイオン注入層を形成する。第１のＧａＮ基板のＧａ面に第１のＧａＮ基板と化学組成が異なる基板である第１の異種基板を接合させる。第１のイオン注入層を境界面として第１のＧａＮ基板を分離させて、第１の異種基板に第１のＧａＮ基板から分離された第２のＧａＮ基板を形成する。第２のＧａＮ基板のＮ面から所定の深さにイオンを注入して、第２のイオン注入層を形成する。第２のＧａＮ基板のＮ面に第２のＧａＮ基板と化学組成が異なる基板である第２の異種基板を接合させ、第２のイオン注入層を境界面として第２のＧａＮ基板及び第１の異種基板を分離させて、第２の異種基板に第２のＧａＮ基板から分離されたＧａＮ薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、接合基板及びその製造方法に関し、より詳細には、表面粗さが改善された接合基板及びその製造方法に関する。
【解決手段】このために、本発明は、基板；前記基板上に接合され、前記基板と化学組成が異なる薄膜層；及び、前記基板と前記薄膜層との間に配置され、前記薄膜層との接合部界面で発生するボイド（ｖｏｉｄ）の移動性を増加させて、前記薄膜層の表面が前記ボイドにより突出することを防止する中間層を含むことを特徴とする接合基板を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、接合基板及びその製造方法に関し、より詳しくは、複数の溝を有する接合基板及びその製造方法に関する。
【解決手段】このために、本発明は、第１の基板にイオンを注入してイオン注入層を形成するイオン注入段階と、前記第１の基板を複数の溝が形成された第２の基板に接合する接合段階、及び前記第１の基板を前記イオン注入層を基準に分離する分離段階と、を含むことを特徴とする接合基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、窒化ガリウム膜製造方法に関し、より詳細には、成長する窒化ガリウム膜内の欠陥を減らすことができる窒化ガリウム膜製造方法に関する。
【解決手段】このために、本発明は、基板上に、外周面に周方向溝を有する窒化ガリウムナノロッド（ＧａＮ ｎａｎｏ ｒｏｄ）を成長させる窒化ガリウムナノロッド成長ステップ；及び、前記窒化ガリウムナノロッド上に窒化ガリウム膜を成長させる窒化ガリウム膜成長ステップ；を含むことを特徴とする窒化ガリウム膜製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、強化ガラス製造方法及び強化ガラス製造装置に関し、より詳細には、ヒーター及び高周波を利用した強化ガラス製造方法及び強化ガラス製造装置に関するものである。
【解決手段】このために、本発明は、加熱部にガラスを装入する移送ステップ；前記ガラスを、ヒーター（ｈｅａｔｅｒ）及び高周波発生器を利用して加熱する加熱ステップ；及び、前記ガラスをクエンチング（ｑｕｅｎｃｈｉｎｇ）する冷却ステップ；を含むことを特徴とする強化ガラス製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、ＮＧの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板１の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第１イメージおよび第２イメージをそれぞれ撮影する撮像装置１０および２０と、ガラス基板１の下方に配置され、撮像装置１０、２０側にガラス基板１を透過する暗視野照明装置３０と、第１イメージ上の不良の位置座標と、第２イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部４０とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ１は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ２、Ｐ３は、互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】反り及びクラックが発生することなく自立基板を製造することのできる自立基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、異種基板上に第１薄膜を成長させる第１ステップ；イオンを注入して前記第１薄膜内にイオン注入層を形成する第２ステップ；前記イオン注入層を基準に、前記第１薄膜を上部薄膜と下部薄膜とに分離する第３ステップ；及び、前記上部薄膜上に第２薄膜を成長させる第４ステップを含むことを特徴とする自立（Ｆｒｅｅ‐Ｓｔａｎｄｉｎｇ）基板の製造方法を提供し、反り及びクラックが発生することなく自立基板を製造することができ、異種基板と成長した自立基板とを分離するためのレーザー（Ｌａｓｅｒ）分離工程等の追加的な工程を必要としない効果を有する。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置に係り、カラーシフトの改善やモアレ発生による画質の劣化を防止する。
【解決手段】ディスプレイパネルの前面に配置されるバックグラウンド層、及びバックグラウンド層に形成され、互いに離間して形成される複数の凹状または凸状パターンからなり入射する光の出射方向を分散させるレンズ部を含み、複数のパターン間の間隔τとピッチＴは、フーリエ級数から誘導された下記の数式によって導出される下記のｍ値によって決められることを特徴とするディスプレイ装置用光学フィルムを具備する。
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