光学ガラス検査装置および検査方法
【課題】本発明は、光学ガラスを透過した光の反射光等の影響を排除できる光学ガラス検査装置および検査方法を実現する。
【解決手段】ガラス３５を保持した治具３０を搭載する搭載部２１、搭載部２１を変位させてガラス３５を検査領域に位置づける駆動装置２２、搭載部２１の一方側に配設された光源１５および光学系１０、及び搭載部２１の他方側に配設され反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部４０を有し、治具３０として、表・裏面を連通する治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの隣接領域にガラス３５を保持するためのガラス保持手段３２を有するものを使用することで、光源１５から検査領域に照射された光がガラス３５、治具開口３１ｃおよび搭載部開口２１ｃを通過して更に反射部４０に入射して反射する反射光の光路が、検査領域と交叉しない構成とした。
【解決手段】ガラス３５を保持した治具３０を搭載する搭載部２１、搭載部２１を変位させてガラス３５を検査領域に位置づける駆動装置２２、搭載部２１の一方側に配設された光源１５および光学系１０、及び搭載部２１の他方側に配設され反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部４０を有し、治具３０として、表・裏面を連通する治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの隣接領域にガラス３５を保持するためのガラス保持手段３２を有するものを使用することで、光源１５から検査領域に照射された光がガラス３５、治具開口３１ｃおよび搭載部開口２１ｃを通過して更に反射部４０に入射して反射する反射光の光路が、検査領域と交叉しない構成とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ等の光学機器において使用されるカバーガラスやカバーレンズ等の光学ガラス検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等の光学機器、特に携帯電話と一体化され小型化されたデジタルカメラは、ンズの前方にカバーガラス等（以下光学ガラスまたはガラスと表記することがある）を配設して、レンズを保護している。こうしたガラスでは、撮像素子の小型化に伴って、小さな傷やしみがあると撮像された影像にしみ等を生じることがある。またガラスは、赤外線カットフィルター等の光学フィルタとなる干渉膜をコーティングしたものや、透過率を高めるための無反射コーティング膜を形成したものもある。これらコーティング膜等の傷等も像にしみ等を生じさせるため、傷等を確実かつ迅速に検査する技術が開発されてきた。
【０００３】
例えば、ビデオカメラを使用してガラスの表面画像と裏面画像を得て、傷や汚れの有無を検査する技術である（特許文献１）。この検査技術では、治具に保持されたガラスに光を照射してガラスの傷等の有無が判断される。ここで治具はテーブル上に搭載され、ガラスの鉛直線方向の上方にはビデオカメラが配設され、ガラスの斜め上方に複数の光源が配設され、ビデオカメラはこれら光源の照射光で得られた影像を電気信号に変換して映像信号とし、この映像信号に所定の処理を施すことで傷等の検査が行なわれる。
【０００４】
この検査では、治具の縦横方向に多数のガラスが載置されており、テーブルは縦横方向に移動して、任意のガラスをビデオカメラの撮像位置に位置づける。ガラスに照射された光は、ガラスに傷等がなければ、ガラスを透過するからビデオカメラで検出されない。しかしガラスに傷等があると、傷等で反射または散乱した光による影像がビデオカメラで検出される。目視の場合には顕微鏡で傷等を検出できる。
【０００５】
しかしガラスの裏面と相対する治具の表面領域において、ガラスを透過した光がわずかであるが反射または散乱する。治具に無反射黒色加工等を施しても、反射率を数％（例えば２〜４％）程度以下にすることは困難だからである。しかも、多数のガラスを短時間に検査するための治具はトレイのような形状となって、ガラス裏面と治具の表面領域との間隔が数ｍｍ（例えば１〜２ｍｍ）程度となる。従って治具の表面領域での反射光や散乱光等（以下、背景ノイズと表記することがある）が傷等の検出を妨げることもある。
【０００６】
ここで背景ノイズと傷等の影像との分別性を向上させようとすると、目視の場合には、検査員の技量に依存することになって検査時間がかり、また検査員の疲労原因となる等の問題が生じる。ビデオカメラで得た映像信号で検査する場合には、映像処理を工夫することで分別性が高まるが、処理時間の増加や、装置の複雑化等が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−０８５６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題を解消するため、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）光学ガラス検査装置および検査方法を実現することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、ガラスを保持した治具を搭載するための搭載部（例えば治具を搭載するテーブル）と、搭載部を変位させることで搭載部に搭載された治具に保持された光学ガラスを所定の検査領域に位置づけるための駆動装置と、搭載部の一方側（例えば上方）から検査領域に光を照射するための光源と、検査領域に位置づけられた光学ガラスからの反射光を検出するための光学系（例えば目視検査の場合には顕微鏡であり、自動検査の場合にはビデオカメラ等である）と、搭載部の他方側（例えば下方）に配設され、その反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有している。ここで搭載部は、その一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有している。
【００１０】
該光学ガラス検査装置は、治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および治具開口の隣接領域に光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有した治具を搭載するもので、そのとき治具開口が搭載部開口と相対する位置に位置づけられるようになっている。
【００１１】
該光学ガラス検査装置では、ガラスに傷やしみ等があれば、光源から検査領域に照射された光が傷等で反射または散乱されて光学系によって傷として検出される。一方、ガラスの傷やしみ等で反射または散乱されなかった光は、ガラス、治具開口および搭載部開口を通過して反射部に入射する。反射部への入射光は反射面で吸収される一方、その一部が反射するが、反射光の光路は検査領域と交叉していない。
【００１２】
例えば、反射面と光学系の光軸との交叉角が４５度の場合には、光軸と平行する光路を通過して反射面に入射した光は、その入射角および反射角が４５度となって反射されて、治具に保持された光学ガラスの検査領域に戻らない。検査領域を光学系の光軸と直交させた場合には、反射面からの反射光は、入射光と直交する反射光路（治具と平行する光路）上を通過することになって治具に戻らない。このようにガラスを透過して、反射部へと向かった光は、ガラスからの反射光および散乱光を検出する光学系に戻らないから、ガラスの傷等の検査に影響を与えない。もちろん反射部は、低反射率（数％）の黒色等に塗装等することが望ましい。
【００１３】
さらに反射光路上には、低反射率の光吸収部を配設して反射部からの反射光を吸収することが望ましい。加えて検査の際には、目視であれビデオカメラによる検査であれ、ガラスに焦点を合わすから、反射部および光吸収部からの反射光等は光学系の結像位置に結像せず背景ノイズとなりにくい。
【００１４】
また反射部を配設する位置に、反射部に替えて反射光と散乱光の光量が極めて小さい光吸収面を有する光吸収部を配設してもよい。そうすれば検査領域に戻る光は、ごく僅かだから、また光吸収部が光学系の焦点から外れているから、背景ノイズとなりにくい。
【００１５】
ところで該ガラス検査装置は遮光環境下で使用されることが望ましく、少なくともガラスを透過した光が通る光路側（搭載部の他方の側）空間は遮光環境下にあることが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
以上のとおり本発明によれば、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光等の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上、および迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）光学ガラス検査装置および検査方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明にかかる光学ガラス検査装置の一実施例（実施例１）における概略構成（一部は断面概略構成）の一例を示す図である。
【図２】図１に示す光学ガラス検査装置で使用される治具の概略構成の一例を示す図であり、同図（ａ）は、その平面視の概略構成を示し、同図（ｂ）はそのガラス載置部の平面視の概略構成を示し、同図（ｃ）はガラス載置部の断面概略構造を示す図である。
【図３】図１に示す光学ガラス検査装置における反射部の一変形例における概略構成を示す図である。
【図４】図１に示す光学ガラス検査装置における反射部の他の変形例における概略構成を示す図である。
【図５】本発明にかかる光学ガラス検査装置の他の実施例（実施例２）における概略構成（一部は断面概略構成）の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明にかかる光学ガラス検査装置および検査方法の一実施例を説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１に示す本発明にかかる光学ガラス検査装置１（実施例１）は、顕微鏡（光学系）１０、光源１５、水平に位置づけられたテーブル２１と、テーブル２１を駆動する駆動装置２２とを有する位置決め機構２０、黒色の反射部４０および黒色の光吸収部５０を有している。
【００２０】
（顕微鏡）
顕微鏡１０は、対物レンズ１１（以下、レンズ１１と表記する）、顕微鏡本体１２および接眼レンズ１３を有して、水平に位置づけられたテーブル２１の上方に配設され、レンズ１１の光軸１１ｘがテーブル２１と直交している。
【００２１】
光軸１１ｘ近傍には、２つの光源１５ａおよび１５ｂを有する光源１５が顕微鏡本体１２と一体になって配設されている。光源１５ａおよび１５ｂが照射する光は、光軸１１ｘと略平行する領域内（図１中、１点鎖線１５ｘおよび１５ｙで示す領域内）を比較的狭い光ビームとなって、テーブル２１に照射される。
【００２２】
（位置決め機構）
位置決め機構２０は、テーブル２１と、このテーブル２１を水平面上で直交する２方向に変位させるための駆動装置２２を有している。テーブル２１は、その略中央部領域に、表面（一方側の面）２１ａと裏面（他方側の面）２１ｂとを連通するテーブル開口２１ｃを有している。テーブル２１の表面２１ａでは、テーブル開口２１ｃを囲むように治具位置決め部２１ｄが突出して形成されている。なお駆動装置２２は、コピューター等を備えた制御装置で制御される装置、あるいは手動でテーブル２１を変位させる装置等であればよく、その趣旨はテーブル２１を変位させて位置を定めるための可動部等を有するものであればよい。
【００２３】
（治具）
治具３０は、その平面視を図２（ａ）に示すように、平面視で略長方形状をなし、その長辺および短辺方向に整列して配列されたガラス載置部３１ｎ（ｎ＝１、２・・・ｎ）を有している。ガラス載置部３１ｎは、平面視で長方形状をなしている。ガラス載置部３１ｎは、その平面視を図２（ｂ）に、そしてその断面構成を図２（ｃ）に示すように、治具３０の表面３０ａと裏面３０ｂとを連通する長方形状の治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの周辺部において表面３０ａから突出して形成されたガラス保持枠３２ａを有している。ガラス保持枠３２ａと治具開口３１ｃとの間には、治具３０の表面３０ａと平行したガラス支持部３２ｂが形成されている。
【００２４】
これらガラス保持枠３２ａ、およびガラス支持部３２ｂが、図２（ｂ）に示すように、長方形状のガラス保持手段３２を形成しており、このガラス保持手段３２で規定された位置にガラス３５を位置づけることができる。ここでガラス３５の４つの辺部を支えるガラス支持部３２ｂは、極力狭いことが望ましい。なぜならばガラス支持部３２ｂを極力狭くすることで、ガラス３５とガラス支持部３２ｂとが接する面積を極力狭くして、ガラス３５の表面に傷等が生じることを防げるからである。またガラス保持枠３２ａの壁面とガラス３５の４辺周面との間は、若干の隙間が形成されて、ガラス保持手段３２へのガラス３５の載置等が円滑に行われるようになっている。
【００２５】
治具３０は、テーブル２１に搭載されるとき、その搭載位置が治具位置決め部２１ｄで規定されて、すべての治具開口３１ｃが、テーブル開口２１ｃの上方（図１中において）に位置づけられる。もちろん駆動装置２２でテーブル２１を変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎのうちの任意のガラス載置部を光軸１１ｘ上に位置づけることができる。
【００２６】
（反射部）
黒色の反射部（反射板）４０は、テーブル２１の下方で、かつ光軸１１ｘ上の位置Ｐにおいて、光軸１１ｘと交叉角θ（例えばθ＝４５度）で、交叉している。ここで反射部４０の反射面４０ａは、平面をなしている。従って、位置Ｐでは、入射角および反射角が４５度で、反射光の光軸４０ｘがテーブル２１と平行する。反射面４０ａは、例えば反射率２〜４％程度であり、さらに光源１５から照射された光ビームを殆どとらえることができる面積を有している（光源１５からの光ビーム幅を示す１点鎖線１５ｘおよび１５ｙが何れも反射部４０と交叉する）ことが望ましい。
【００２７】
（光吸収部）
反射光の光軸４０ｘ方向には、光軸４０ｘと直交する低反射率（黒色）の光吸収面５０ａを有した光吸収部５０が配設されており、反射面４０ａからの反射光は、光吸収部５０で殆ど吸収される。光学ガラス検査装置１は、遮光環境下で使用されることが望ましく、図１中で、少なくともテーブル２１の下方側の空間は遮光環境とすることが望ましい。なおこのような遮光環境では、反射部４０で反射された光は、黒色の遮光幕等（光吸収部として機能する）で殆ど吸収されるから、光吸収部５０を省略してもよい。
【００２８】
（光学ガラス検査）
光学ガラス検査装置１によるガラス３５の検査は以下の手順で行われる。所定の形状にカットされたガラス３５は、図示しないピックアップ装置によって、治具３０のガラス載置部３１ｎに載置される。次にガラス３５を保持した治具３０がテーブル２１の治具位置決め部２１ｄで規定された位置に搭載される。このときテーブル２１に搭載された治具３０では、すべてのガラス載置部３１ｎがテーブル開口２１ｃの上方に位置づけられる。
【００２９】
検査員（自動検査の場合には図示しない制御装置）は、レンズ１１の焦点をガラス３５に合わせた状態で、ガラス３５の傷、しみ等による像を検出する。このときレンズ１１の焦点深度は、浅い方が望ましい。例えばガラス３５の表面および裏面を焦点深度の範囲内に含み、反射部４０はその範囲外であることが望ましい。
【００３０】
傷等の検出は、治具３０のガラス載置部３１ｎについて、例えばｎ＝１、２・・・ｎの順番で行われる。具体的には、駆動装置２２によってテーブル２１を水平方向で２次元的に変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎを順番に光軸１１ｘ上に位置づける。光源１５が照射した光ビームは、光軸１１ｘと交叉するガラス載置部３１ｎに、あるいはその近傍の複数のガラス載置部３１ｎに、ほぼ均一に照射される。
【００３１】
ガラス３５を１枚ごとに検査する場合には、光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎの領域が検査領域となる。光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎおよびその隣接領域の複数のガラス載置部に保持された複数のガラス３５を、一度に検査する場合には、これらガラス載置部を含む領域が検査領域となる。なおいずれの検査領域であっても、光源１５が照射した光ビームは、検査領域以外に照射されない方が望ましい。
【００３２】
傷等の検出は、次のように行われる。検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがある場合には、これら傷やしみの性状に応じた反射光や散乱光が生じる。これら反射光等を顕微鏡１０でとらえて傷等を検査する。または傷等の影像をビデオカメラで映像信号へ変換し、これに所定の処理を施すことで自動的に傷等を検査してもよい。
【００３３】
検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがない場合には、照射された光はガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４０へ到達する。ここで反射面４０ａは、例えば黒色で反射率が２〜４％程度だから、入射光の殆どを吸収するが、吸収されなかった光は反射光や散乱光となる。ここで反射光は、光軸４０ｘとその近傍を通過して光吸収部５０の光吸収面５０ａ（例えば黒色で反射率が２〜４％程度）に到達して吸収される。
【００３４】
一方、反射面４０ａで生じた散乱光は、その一部が検査領域方向に散乱され得る。しかし検査領域方向への散乱光は極めてわずかな光量だから、加えて反射面４０ａはレンズ１１の焦点外にあるから、傷等の検査は妨げられない。
【００３５】
光吸収部５０で反射または散乱された光で、反射部４０および検査領域に向かうものもあり得るが、低反射率の反射面４０ａおよび光吸収面５０ａで二度反射等した光の光量は極めて僅かである。加えて反射部４０と光吸収部５０がレンズ１１の焦点外にあるから、こうした反射光や散乱光は傷等の検査の妨げとはならない。
【００３６】
なお光吸収面５０ａと光軸４０ｘとの交叉角を適宜設定して光吸収面５０ａでの反射方向を検査領域ではない方向（例えば図１中で下方）にしてもよい。光軸４０ｘについても、反射面４０ａと光軸１１ｘとの交叉角θを４５度以下として、テーブル２１と遠ざかる方向としてもよい（図１中、下方に向けてもよい。）。
【００３７】
なお反射面４０ａを平面として例示したが、反射面４０ａを曲面としてもよい。曲面は、微少平面領域の集合と考えることができるから、それらの微少平面領域における反射光の光軸方向に検査領域が配設されていなければよい。
【００３８】
（変形例１）
図３は、反射部４０の一変形例である反射部４１の概略構成を示す図である。反射部４１は、略直方体形状をなす黒色の反射部本体４２と、反射部本体４２の表面４２ａにＶ字状に穿設された溝部４３ｎ（ｎ＝１、２・・）を有している。溝部４３ｎの一方の斜面は黒色の反射面４４ｎ、それと相対する他方の斜面は反射面４５ｎが設けられており、何れの反射面も黒色である。ここで反射面４４ｎおよび反射面４５ｎは、表面４２ａと例えば６０度程度で交叉している。
【００３９】
反射部４１は、テーブル２１の下方に配設されて、その表面４２ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられ、また光軸１１ｘと直交するように位置づけられる。また反射部４１の溝部４３ｎは、図１における位置Ｐで、光源１５からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。
【００４０】
従って、ガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４１へ到達した光は、溝部４３ｎの反射面４４ｎまたは反射面４５ｎで吸収される。ここでわずかな反射光や散乱光が生じ得るが、反射面４４ｎでの反射光等は反射面４５ｎで、反射面４５ｎでの反射光等は反射面４４ｎで、それぞれ殆ど吸収されて、検査領域に戻る光を無視することができる。
【００４１】
（変形例２）
図４は、反射部４０の他の変形例である反射部４１’の概略構成を示す図である。 反射部４１’は、略平板形状をなす黒色の反射部本体４６と、その表面４６ａに斜めに立設された反射板４７ｎ（ｎ＝１、２・・）を有している（例えば反射部本体４６と反射板４７ｎとは６０度で交叉している。）。反射板４７ｎの一方の斜面は反射面４８ｎとなって、またそれと相対する側の斜面は反射面４９ｎとなっており、何れの反射面も黒色である。
【００４２】
反射部４１’は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されて、反射部本体４６の表面４６ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられる。また反射板４７ｎは、図１における位置Ｐで、光源１５からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。ここで反射部本体４６を光軸１１ｘにおいて上方から平面視すると、反射部本体４６の表面４６ａが反射板４７ｎで遮られている。
【００４３】
従って、ガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４１’へ到達した光は、反射板４７ｎの反射面４８ｎで吸収される。このとき数％の反射光や散乱光が生じるが、反射面４８ｎでの反射光等は反射面４９ｎで吸収される。反射面４８ｎと反射面４９ｎとで２度以上反射された光は、僅かな光量であるが、やがて反射部本体４６の表面４６ａに到達して吸収されるから、検査領域方向に戻る散乱光等を無視することができる。
【実施例２】
【００４４】
次に、本発明にかかる光学ガラス検査装置２（実施例２）について説明する。なお実施例１と同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００４５】
図５に示すように光吸収部５０は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されて、その表面５０ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられている。例えば表面５０ａは黒色のフェルトによって覆われている。表面５０ａでは入射した光は、殆ど吸収され、僅かな散乱光が散乱するが、検査領域に戻る光は殆どない。またレンズ１１の焦点が光吸収部５０から外れているから、散乱光によって傷等の検査が妨げられない。光吸収部５０は、テーブル２１と平行に配設されてもよいし、あるいはテーブル２１に対し傾斜するように配設されてもよい。
【００４６】
以上、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法について説明したが、本発明は、各実施例の構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱することなく変形して実施できるものである。例えば、各実施例では、小型のデジタルカメラ等に使用される小型の光学ガラスを検査対象として説明したが、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法は、ガラスの大きさに依存するものではなく、光学ガラス検査装置の寸法を適切に設定することで、例えば平面型映像ディスプレイディバイスの表面を保護するためのガラス等の検査に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、それを製造、販売および使用等できるものだから、また本発明にかかる光学ガラス検査方法は、光学ガラスの検査において使用できるから、いずれも経済的価値を有して産業上の利用可能性を有するものである。
【符号の説明】
【００４８】
１、２ 光学ガラス検査装置
１０ 顕微鏡（光学系）
１１ 対物レンズ
１１ｘ レンズの光軸（光学系の光軸）
１５ 光源
２１ テーブル（搭載部）
２１ａ テーブルの表面（搭載部の一方側の面）
２１ｂ テーブルの裏面（搭載部の他方側の面）
２１ｃ テーブル開口（搭載部開口）
２２ 駆動装置
３０ 治具
３０ａ 治具の表面
３０ｂ 治具の裏面
３２ ガラス保持手段
３１ｃ 治具開口
３１ｎ ガラス載置部
３５ 光学ガラス（ガラス）
４０、４１、４１’ 反射部
４０ａ 反射面
５０ 光吸収部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ等の光学機器において使用されるカバーガラスやカバーレンズ等の光学ガラス検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等の光学機器、特に携帯電話と一体化され小型化されたデジタルカメラは、ンズの前方にカバーガラス等（以下光学ガラスまたはガラスと表記することがある）を配設して、レンズを保護している。こうしたガラスでは、撮像素子の小型化に伴って、小さな傷やしみがあると撮像された影像にしみ等を生じることがある。またガラスは、赤外線カットフィルター等の光学フィルタとなる干渉膜をコーティングしたものや、透過率を高めるための無反射コーティング膜を形成したものもある。これらコーティング膜等の傷等も像にしみ等を生じさせるため、傷等を確実かつ迅速に検査する技術が開発されてきた。
【０００３】
例えば、ビデオカメラを使用してガラスの表面画像と裏面画像を得て、傷や汚れの有無を検査する技術である（特許文献１）。この検査技術では、治具に保持されたガラスに光を照射してガラスの傷等の有無が判断される。ここで治具はテーブル上に搭載され、ガラスの鉛直線方向の上方にはビデオカメラが配設され、ガラスの斜め上方に複数の光源が配設され、ビデオカメラはこれら光源の照射光で得られた影像を電気信号に変換して映像信号とし、この映像信号に所定の処理を施すことで傷等の検査が行なわれる。
【０００４】
この検査では、治具の縦横方向に多数のガラスが載置されており、テーブルは縦横方向に移動して、任意のガラスをビデオカメラの撮像位置に位置づける。ガラスに照射された光は、ガラスに傷等がなければ、ガラスを透過するからビデオカメラで検出されない。しかしガラスに傷等があると、傷等で反射または散乱した光による影像がビデオカメラで検出される。目視の場合には顕微鏡で傷等を検出できる。
【０００５】
しかしガラスの裏面と相対する治具の表面領域において、ガラスを透過した光がわずかであるが反射または散乱する。治具に無反射黒色加工等を施しても、反射率を数％（例えば２〜４％）程度以下にすることは困難だからである。しかも、多数のガラスを短時間に検査するための治具はトレイのような形状となって、ガラス裏面と治具の表面領域との間隔が数ｍｍ（例えば１〜２ｍｍ）程度となる。従って治具の表面領域での反射光や散乱光等（以下、背景ノイズと表記することがある）が傷等の検出を妨げることもある。
【０００６】
ここで背景ノイズと傷等の影像との分別性を向上させようとすると、目視の場合には、検査員の技量に依存することになって検査時間がかり、また検査員の疲労原因となる等の問題が生じる。ビデオカメラで得た映像信号で検査する場合には、映像処理を工夫することで分別性が高まるが、処理時間の増加や、装置の複雑化等が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−０８５６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題を解消するため、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）光学ガラス検査装置および検査方法を実現することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、ガラスを保持した治具を搭載するための搭載部（例えば治具を搭載するテーブル）と、搭載部を変位させることで搭載部に搭載された治具に保持された光学ガラスを所定の検査領域に位置づけるための駆動装置と、搭載部の一方側（例えば上方）から検査領域に光を照射するための光源と、検査領域に位置づけられた光学ガラスからの反射光を検出するための光学系（例えば目視検査の場合には顕微鏡であり、自動検査の場合にはビデオカメラ等である）と、搭載部の他方側（例えば下方）に配設され、その反射面が光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有している。ここで搭載部は、その一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有している。
【００１０】
該光学ガラス検査装置は、治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および治具開口の隣接領域に光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有した治具を搭載するもので、そのとき治具開口が搭載部開口と相対する位置に位置づけられるようになっている。
【００１１】
該光学ガラス検査装置では、ガラスに傷やしみ等があれば、光源から検査領域に照射された光が傷等で反射または散乱されて光学系によって傷として検出される。一方、ガラスの傷やしみ等で反射または散乱されなかった光は、ガラス、治具開口および搭載部開口を通過して反射部に入射する。反射部への入射光は反射面で吸収される一方、その一部が反射するが、反射光の光路は検査領域と交叉していない。
【００１２】
例えば、反射面と光学系の光軸との交叉角が４５度の場合には、光軸と平行する光路を通過して反射面に入射した光は、その入射角および反射角が４５度となって反射されて、治具に保持された光学ガラスの検査領域に戻らない。検査領域を光学系の光軸と直交させた場合には、反射面からの反射光は、入射光と直交する反射光路（治具と平行する光路）上を通過することになって治具に戻らない。このようにガラスを透過して、反射部へと向かった光は、ガラスからの反射光および散乱光を検出する光学系に戻らないから、ガラスの傷等の検査に影響を与えない。もちろん反射部は、低反射率（数％）の黒色等に塗装等することが望ましい。
【００１３】
さらに反射光路上には、低反射率の光吸収部を配設して反射部からの反射光を吸収することが望ましい。加えて検査の際には、目視であれビデオカメラによる検査であれ、ガラスに焦点を合わすから、反射部および光吸収部からの反射光等は光学系の結像位置に結像せず背景ノイズとなりにくい。
【００１４】
また反射部を配設する位置に、反射部に替えて反射光と散乱光の光量が極めて小さい光吸収面を有する光吸収部を配設してもよい。そうすれば検査領域に戻る光は、ごく僅かだから、また光吸収部が光学系の焦点から外れているから、背景ノイズとなりにくい。
【００１５】
ところで該ガラス検査装置は遮光環境下で使用されることが望ましく、少なくともガラスを透過した光が通る光路側（搭載部の他方の側）空間は遮光環境下にあることが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
以上のとおり本発明によれば、治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、治具の表面領域における反射光または散乱光等の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上、および迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）光学ガラス検査装置および検査方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明にかかる光学ガラス検査装置の一実施例（実施例１）における概略構成（一部は断面概略構成）の一例を示す図である。
【図２】図１に示す光学ガラス検査装置で使用される治具の概略構成の一例を示す図であり、同図（ａ）は、その平面視の概略構成を示し、同図（ｂ）はそのガラス載置部の平面視の概略構成を示し、同図（ｃ）はガラス載置部の断面概略構造を示す図である。
【図３】図１に示す光学ガラス検査装置における反射部の一変形例における概略構成を示す図である。
【図４】図１に示す光学ガラス検査装置における反射部の他の変形例における概略構成を示す図である。
【図５】本発明にかかる光学ガラス検査装置の他の実施例（実施例２）における概略構成（一部は断面概略構成）の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明にかかる光学ガラス検査装置および検査方法の一実施例を説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１に示す本発明にかかる光学ガラス検査装置１（実施例１）は、顕微鏡（光学系）１０、光源１５、水平に位置づけられたテーブル２１と、テーブル２１を駆動する駆動装置２２とを有する位置決め機構２０、黒色の反射部４０および黒色の光吸収部５０を有している。
【００２０】
（顕微鏡）
顕微鏡１０は、対物レンズ１１（以下、レンズ１１と表記する）、顕微鏡本体１２および接眼レンズ１３を有して、水平に位置づけられたテーブル２１の上方に配設され、レンズ１１の光軸１１ｘがテーブル２１と直交している。
【００２１】
光軸１１ｘ近傍には、２つの光源１５ａおよび１５ｂを有する光源１５が顕微鏡本体１２と一体になって配設されている。光源１５ａおよび１５ｂが照射する光は、光軸１１ｘと略平行する領域内（図１中、１点鎖線１５ｘおよび１５ｙで示す領域内）を比較的狭い光ビームとなって、テーブル２１に照射される。
【００２２】
（位置決め機構）
位置決め機構２０は、テーブル２１と、このテーブル２１を水平面上で直交する２方向に変位させるための駆動装置２２を有している。テーブル２１は、その略中央部領域に、表面（一方側の面）２１ａと裏面（他方側の面）２１ｂとを連通するテーブル開口２１ｃを有している。テーブル２１の表面２１ａでは、テーブル開口２１ｃを囲むように治具位置決め部２１ｄが突出して形成されている。なお駆動装置２２は、コピューター等を備えた制御装置で制御される装置、あるいは手動でテーブル２１を変位させる装置等であればよく、その趣旨はテーブル２１を変位させて位置を定めるための可動部等を有するものであればよい。
【００２３】
（治具）
治具３０は、その平面視を図２（ａ）に示すように、平面視で略長方形状をなし、その長辺および短辺方向に整列して配列されたガラス載置部３１ｎ（ｎ＝１、２・・・ｎ）を有している。ガラス載置部３１ｎは、平面視で長方形状をなしている。ガラス載置部３１ｎは、その平面視を図２（ｂ）に、そしてその断面構成を図２（ｃ）に示すように、治具３０の表面３０ａと裏面３０ｂとを連通する長方形状の治具開口３１ｃ、および治具開口３１ｃの周辺部において表面３０ａから突出して形成されたガラス保持枠３２ａを有している。ガラス保持枠３２ａと治具開口３１ｃとの間には、治具３０の表面３０ａと平行したガラス支持部３２ｂが形成されている。
【００２４】
これらガラス保持枠３２ａ、およびガラス支持部３２ｂが、図２（ｂ）に示すように、長方形状のガラス保持手段３２を形成しており、このガラス保持手段３２で規定された位置にガラス３５を位置づけることができる。ここでガラス３５の４つの辺部を支えるガラス支持部３２ｂは、極力狭いことが望ましい。なぜならばガラス支持部３２ｂを極力狭くすることで、ガラス３５とガラス支持部３２ｂとが接する面積を極力狭くして、ガラス３５の表面に傷等が生じることを防げるからである。またガラス保持枠３２ａの壁面とガラス３５の４辺周面との間は、若干の隙間が形成されて、ガラス保持手段３２へのガラス３５の載置等が円滑に行われるようになっている。
【００２５】
治具３０は、テーブル２１に搭載されるとき、その搭載位置が治具位置決め部２１ｄで規定されて、すべての治具開口３１ｃが、テーブル開口２１ｃの上方（図１中において）に位置づけられる。もちろん駆動装置２２でテーブル２１を変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎのうちの任意のガラス載置部を光軸１１ｘ上に位置づけることができる。
【００２６】
（反射部）
黒色の反射部（反射板）４０は、テーブル２１の下方で、かつ光軸１１ｘ上の位置Ｐにおいて、光軸１１ｘと交叉角θ（例えばθ＝４５度）で、交叉している。ここで反射部４０の反射面４０ａは、平面をなしている。従って、位置Ｐでは、入射角および反射角が４５度で、反射光の光軸４０ｘがテーブル２１と平行する。反射面４０ａは、例えば反射率２〜４％程度であり、さらに光源１５から照射された光ビームを殆どとらえることができる面積を有している（光源１５からの光ビーム幅を示す１点鎖線１５ｘおよび１５ｙが何れも反射部４０と交叉する）ことが望ましい。
【００２７】
（光吸収部）
反射光の光軸４０ｘ方向には、光軸４０ｘと直交する低反射率（黒色）の光吸収面５０ａを有した光吸収部５０が配設されており、反射面４０ａからの反射光は、光吸収部５０で殆ど吸収される。光学ガラス検査装置１は、遮光環境下で使用されることが望ましく、図１中で、少なくともテーブル２１の下方側の空間は遮光環境とすることが望ましい。なおこのような遮光環境では、反射部４０で反射された光は、黒色の遮光幕等（光吸収部として機能する）で殆ど吸収されるから、光吸収部５０を省略してもよい。
【００２８】
（光学ガラス検査）
光学ガラス検査装置１によるガラス３５の検査は以下の手順で行われる。所定の形状にカットされたガラス３５は、図示しないピックアップ装置によって、治具３０のガラス載置部３１ｎに載置される。次にガラス３５を保持した治具３０がテーブル２１の治具位置決め部２１ｄで規定された位置に搭載される。このときテーブル２１に搭載された治具３０では、すべてのガラス載置部３１ｎがテーブル開口２１ｃの上方に位置づけられる。
【００２９】
検査員（自動検査の場合には図示しない制御装置）は、レンズ１１の焦点をガラス３５に合わせた状態で、ガラス３５の傷、しみ等による像を検出する。このときレンズ１１の焦点深度は、浅い方が望ましい。例えばガラス３５の表面および裏面を焦点深度の範囲内に含み、反射部４０はその範囲外であることが望ましい。
【００３０】
傷等の検出は、治具３０のガラス載置部３１ｎについて、例えばｎ＝１、２・・・ｎの順番で行われる。具体的には、駆動装置２２によってテーブル２１を水平方向で２次元的に変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎを順番に光軸１１ｘ上に位置づける。光源１５が照射した光ビームは、光軸１１ｘと交叉するガラス載置部３１ｎに、あるいはその近傍の複数のガラス載置部３１ｎに、ほぼ均一に照射される。
【００３１】
ガラス３５を１枚ごとに検査する場合には、光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎの領域が検査領域となる。光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎおよびその隣接領域の複数のガラス載置部に保持された複数のガラス３５を、一度に検査する場合には、これらガラス載置部を含む領域が検査領域となる。なおいずれの検査領域であっても、光源１５が照射した光ビームは、検査領域以外に照射されない方が望ましい。
【００３２】
傷等の検出は、次のように行われる。検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがある場合には、これら傷やしみの性状に応じた反射光や散乱光が生じる。これら反射光等を顕微鏡１０でとらえて傷等を検査する。または傷等の影像をビデオカメラで映像信号へ変換し、これに所定の処理を施すことで自動的に傷等を検査してもよい。
【００３３】
検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがない場合には、照射された光はガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４０へ到達する。ここで反射面４０ａは、例えば黒色で反射率が２〜４％程度だから、入射光の殆どを吸収するが、吸収されなかった光は反射光や散乱光となる。ここで反射光は、光軸４０ｘとその近傍を通過して光吸収部５０の光吸収面５０ａ（例えば黒色で反射率が２〜４％程度）に到達して吸収される。
【００３４】
一方、反射面４０ａで生じた散乱光は、その一部が検査領域方向に散乱され得る。しかし検査領域方向への散乱光は極めてわずかな光量だから、加えて反射面４０ａはレンズ１１の焦点外にあるから、傷等の検査は妨げられない。
【００３５】
光吸収部５０で反射または散乱された光で、反射部４０および検査領域に向かうものもあり得るが、低反射率の反射面４０ａおよび光吸収面５０ａで二度反射等した光の光量は極めて僅かである。加えて反射部４０と光吸収部５０がレンズ１１の焦点外にあるから、こうした反射光や散乱光は傷等の検査の妨げとはならない。
【００３６】
なお光吸収面５０ａと光軸４０ｘとの交叉角を適宜設定して光吸収面５０ａでの反射方向を検査領域ではない方向（例えば図１中で下方）にしてもよい。光軸４０ｘについても、反射面４０ａと光軸１１ｘとの交叉角θを４５度以下として、テーブル２１と遠ざかる方向としてもよい（図１中、下方に向けてもよい。）。
【００３７】
なお反射面４０ａを平面として例示したが、反射面４０ａを曲面としてもよい。曲面は、微少平面領域の集合と考えることができるから、それらの微少平面領域における反射光の光軸方向に検査領域が配設されていなければよい。
【００３８】
（変形例１）
図３は、反射部４０の一変形例である反射部４１の概略構成を示す図である。反射部４１は、略直方体形状をなす黒色の反射部本体４２と、反射部本体４２の表面４２ａにＶ字状に穿設された溝部４３ｎ（ｎ＝１、２・・）を有している。溝部４３ｎの一方の斜面は黒色の反射面４４ｎ、それと相対する他方の斜面は反射面４５ｎが設けられており、何れの反射面も黒色である。ここで反射面４４ｎおよび反射面４５ｎは、表面４２ａと例えば６０度程度で交叉している。
【００３９】
反射部４１は、テーブル２１の下方に配設されて、その表面４２ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられ、また光軸１１ｘと直交するように位置づけられる。また反射部４１の溝部４３ｎは、図１における位置Ｐで、光源１５からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。
【００４０】
従って、ガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４１へ到達した光は、溝部４３ｎの反射面４４ｎまたは反射面４５ｎで吸収される。ここでわずかな反射光や散乱光が生じ得るが、反射面４４ｎでの反射光等は反射面４５ｎで、反射面４５ｎでの反射光等は反射面４４ｎで、それぞれ殆ど吸収されて、検査領域に戻る光を無視することができる。
【００４１】
（変形例２）
図４は、反射部４０の他の変形例である反射部４１’の概略構成を示す図である。 反射部４１’は、略平板形状をなす黒色の反射部本体４６と、その表面４６ａに斜めに立設された反射板４７ｎ（ｎ＝１、２・・）を有している（例えば反射部本体４６と反射板４７ｎとは６０度で交叉している。）。反射板４７ｎの一方の斜面は反射面４８ｎとなって、またそれと相対する側の斜面は反射面４９ｎとなっており、何れの反射面も黒色である。
【００４２】
反射部４１’は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されて、反射部本体４６の表面４６ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられる。また反射板４７ｎは、図１における位置Ｐで、光源１５からの光ビームの殆どをとらえるように位置づけられる。ここで反射部本体４６を光軸１１ｘにおいて上方から平面視すると、反射部本体４６の表面４６ａが反射板４７ｎで遮られている。
【００４３】
従って、ガラス３５を透過し、治具開口３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して反射部４１’へ到達した光は、反射板４７ｎの反射面４８ｎで吸収される。このとき数％の反射光や散乱光が生じるが、反射面４８ｎでの反射光等は反射面４９ｎで吸収される。反射面４８ｎと反射面４９ｎとで２度以上反射された光は、僅かな光量であるが、やがて反射部本体４６の表面４６ａに到達して吸収されるから、検査領域方向に戻る散乱光等を無視することができる。
【実施例２】
【００４４】
次に、本発明にかかる光学ガラス検査装置２（実施例２）について説明する。なお実施例１と同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００４５】
図５に示すように光吸収部５０は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されて、その表面５０ａがテーブル２１の裏面２１ｂと相対するように位置づけられている。例えば表面５０ａは黒色のフェルトによって覆われている。表面５０ａでは入射した光は、殆ど吸収され、僅かな散乱光が散乱するが、検査領域に戻る光は殆どない。またレンズ１１の焦点が光吸収部５０から外れているから、散乱光によって傷等の検査が妨げられない。光吸収部５０は、テーブル２１と平行に配設されてもよいし、あるいはテーブル２１に対し傾斜するように配設されてもよい。
【００４６】
以上、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法について説明したが、本発明は、各実施例の構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱することなく変形して実施できるものである。例えば、各実施例では、小型のデジタルカメラ等に使用される小型の光学ガラスを検査対象として説明したが、本発明にかかる光学ガラス検査装置と検査方法は、ガラスの大きさに依存するものではなく、光学ガラス検査装置の寸法を適切に設定することで、例えば平面型映像ディスプレイディバイスの表面を保護するためのガラス等の検査に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明にかかる光学ガラス検査装置は、それを製造、販売および使用等できるものだから、また本発明にかかる光学ガラス検査方法は、光学ガラスの検査において使用できるから、いずれも経済的価値を有して産業上の利用可能性を有するものである。
【符号の説明】
【００４８】
１、２ 光学ガラス検査装置
１０ 顕微鏡（光学系）
１１ 対物レンズ
１１ｘ レンズの光軸（光学系の光軸）
１５ 光源
２１ テーブル（搭載部）
２１ａ テーブルの表面（搭載部の一方側の面）
２１ｂ テーブルの裏面（搭載部の他方側の面）
２１ｃ テーブル開口（搭載部開口）
２２ 駆動装置
３０ 治具
３０ａ 治具の表面
３０ｂ 治具の裏面
３２ ガラス保持手段
３１ｃ 治具開口
３１ｎ ガラス載置部
３５ 光学ガラス（ガラス）
４０、４１、４１’ 反射部
４０ａ 反射面
５０ 光吸収部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学ガラス検査装置であって、
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過して更に前記反射部に入射して反射する光の反射光の光路が、前記検査領域と交叉しないことを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項２】
前記反射部の反射面が黒色であることを特徴とする請求項１に記載の光学ガラス検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光学ガラス検査装置において、更に前記反射光の光路上に光吸収部を配設したことを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項４】
光学ガラス検査装置であって、
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設された光吸収部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過した光が、前記光吸収部に入射することを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項５】
光学ガラス検査方法であって、
治具の表面と裏面とを連通する治具開口の隣接領域に設けられたガラス保持手段に光学ガラスを保持させる工程と、
前記治具を、その治具開口が搭載部の搭載部開口と相対するように、搭載部に搭載する工程と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける工程と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する工程と、
前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光または散乱光を、前記搭載部の一方側に配設された光学系で検出する工程とを有しており、
前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部によって反射させ、この反射光の光路が前記検査領域と交叉させないこと、
または、前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設された光吸収部によって吸収させることを特徴とする光学ガラス検査方法。
【請求項１】
光学ガラス検査装置であって、
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過して更に前記反射部に入射して反射する光の反射光の光路が、前記検査領域と交叉しないことを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項２】
前記反射部の反射面が黒色であることを特徴とする請求項１に記載の光学ガラス検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光学ガラス検査装置において、更に前記反射光の光路上に光吸収部を配設したことを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項４】
光学ガラス検査装置であって、
光学ガラスを保持した治具を搭載する搭載部と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける駆動装置と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する光源と、
前記搭載部の一方側に配設され、前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光を検出する光学系と、
前記搭載部の他方側に配設された光吸収部とを有し、前記搭載部がその一方側と他方側とを連通する搭載部開口を有しており、
前記治具として、その表面と裏面とを連通する一または複数の治具開口、および前記治具開口の隣接領域に前記光学ガラスを保持するためのガラス保持手段を有する治具を使用することで、
前記光源から前記検査領域に照射されて、前記光学ガラス、前記治具開口および前記搭載部開口を通過した光が、前記光吸収部に入射することを特徴とする光学ガラス検査装置。
【請求項５】
光学ガラス検査方法であって、
治具の表面と裏面とを連通する治具開口の隣接領域に設けられたガラス保持手段に光学ガラスを保持させる工程と、
前記治具を、その治具開口が搭載部の搭載部開口と相対するように、搭載部に搭載する工程と、
前記搭載部を変位させて、前記搭載部に搭載された治具で保持された前記光学ガラスを所定の検査領域に位置づける工程と、
前記搭載部の一方側から前記検査領域に光を照射する工程と、
前記検査領域に位置づけられた前記光学ガラスからの反射光または散乱光を、前記搭載部の一方側に配設された光学系で検出する工程とを有しており、
前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設され、その反射面が前記光学系の光軸に対し傾斜した反射部によって反射させ、この反射光の光路が前記検査領域と交叉させないこと、
または、前記検査領域に照射された光で、前記光学ガラスを透過して更に治具開口および搭載部開口を通過した光を、前記搭載部の他方側に配設された光吸収部によって吸収させることを特徴とする光学ガラス検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−１９８０７１（Ｐ２０１２−１９８０７１Ａ）
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６１６８２（Ｐ２０１１−６１６８２）
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（５１１０７２１１６）株式会社サンテック (3)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（５１１０７２１１６）株式会社サンテック (3)
【Ｆターム（参考）】
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