【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】光透過率の低い容器に液体を充填した場合であっても、容器内の液面又は液面付近の全周の浮遊異物を少ない個数のカメラで検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器１内に充填された液体の液面Ｌｅ又は液面Ｌｅ付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明２によって容器１内を容器底面１ａ側から照明することにより容器１内の液面を照明し、容器１内の液面Ｌｅの位置を囲むように容器１の外周側に配置されたコーンミラー４の逆円錐面状のミラー面４ｍにより、容器１内の液面Ｌｅからの光を上方に反射させ、コーンミラー４のミラー面４ｍで反射した反射光を容器１の上方に配置されたカメラ３により撮像する。 （もっと読む）

【課題】検査対象を裏返す過程を省略することができ、これにより生じ得る不良を予め防止することができるとともに、検査対象の不良位置を容易に検出することができる目視検査治具及びこれを用いた目視検査システムを提供する。
【解決手段】本発明による目視検査治具１００は、検査対象の配置領域及び検査対象の反射領域を含み、前記検査対象の配置領域に検査対象１０を載置し、透明材質で形成された検査プレート１１０と、検査プレート１１０の下部に形成され、前記検査対象の配置領域に載置された検査対象の後面１０ｂの像を反射して前記検査対象の反射領域に投映する反射鏡１２０と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面で反射されて位相変調された信号光２と、この検査対象物Ｍの表面で位相変調されていない参照光３との干渉によってフォトリフラクティブ結晶４中に生じたダイナミックホログラムで参照光３を回折し、この回折した参照光３を複数の検出チャンネル５を備えたマルチチャンネル検出器６で受光する。複数の検出チャンネル５のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル５から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル５をディスクリミネータ７で弁別し、この弁別された検出チャンネル５の受光強度をマルチプレクサ８で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】十分な検査速度を確保しつつ、卵の全周面の透過光画像を確実に撮影して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の卵４を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置１と、搬送装置上の撮影領域内に設定した複数の撮影位置で卵４の検査画像を撮影する撮像装置３を備え、搬送装置１は、卵４が鋭端部と鈍端部との間の卵軸廻りに回転しながら各撮影位置の間を転動する搬送軌道５と、搬送軌道上の卵４を搬送方向後方から押す支持部材７と、支持部材を搬送方向に沿って移動させる支持部材駆動部を有し、搬送軌道５は、検査画像を撮影する撮影位置の相互間の区間軌道長が、支持部材間に相当する卵の搬送ピッチよりも長く、かつ卵の卵軸廻りの全周角を前記撮影位置の数で除した区分角度の整数倍の回転角度に卵を回転させるのに必要な長さを有する。 （もっと読む）

【課題】ステージ上で大きく撓むようなマスク基板の欠陥を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】マスク基板の対向する二辺を検査テーブル手段の基板支持部となる傾斜面に載置すると共にマスク基板の下面にエア浮上ステージ手段からエア噴流を吹き付けることによってマスク基板が撓まないようにする。さらに、マスク基板の対向する二辺の上面側からエア噴流を吹き付けてマスク基板の下側辺を傾斜面に押し付け、マスク基板の二辺を検査テーブル手段に固定的にエア挟持させる。マスク基板の下面にエア噴流を吹き付けることでマスク基板の撓みを矯正することができ、基板検査装置は撓みの矯正されたほぼ平面状のマスク基板の欠陥を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】プレスキャン機能を実施することによって、表面欠陥が存在するときの光ディスク再生デバイスの読み出し性能を向上させる。
【解決手段】光ディスク再生デバイスは、第１および第２のレーザと、光学アセンブリと、第１および第２の光学検波器と、光学検波器に結合されたコントローラ回路とを備える。光学アセンブリは、第１および第２のレーザからの入射光を光ディスクの表面上にそれぞれ前走査スポットおよび後走査スポットを形成するように導くように構成され、さらに、光ディスクの表面上の前走査スポットおよび後走査スポットからの対応する反射光をそれぞれの光学検波器に導くように構成される。コントローラ回路は、後走査スポットが光ディスクの表面欠陥に到達する前に前走査スポットに関連する反射光を処理することによって光ディスクの表面欠陥を識別するように構成される。 （もっと読む）

【課題】結晶粒界や光学系のムラによる画像の濃淡差が発生しても内部クラックを検出することの出来るシリコンウエハ検査方法および装置を提供する。
【解決手段】赤外照明光を円偏光フィルタを用いて円偏光し、シリコンウエハに対して照射する。シリコンウエハ表面，および裏面での反射光は偏光方向が反転するため，円偏光フィルタを透過することは出来ない。
一方，内部にクラックなどの欠陥があれば照明光は乱反射するため無偏光となり，円偏光フィルタを透過することが出来るため，カメラにて撮像が可能である。このため，クラック等の欠陥で乱反射した照明光のみを撮像し画像処理装置で検出することで，クラック等の欠陥の有無を検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マスクブランクに存在する位相欠陥とＥＵＶＬ用マスクを製造した後に残存する位相欠陥との両方を感度良く検出する方法を提供する。
【解決手段】マスクブランクを検査する場合は、中心遮蔽ＮＡ以内で大きい照明ＮＡを有するＥＵＶ光を照射し、ＥＵＶＬ用マスクを検査する場合は、ＥＵＶ光を遮蔽する中心遮蔽部と、中心遮蔽部の直径よりも小さい幅を有し、ＥＵＶ光を遮断する線状遮蔽部とをその瞳面に有する暗視野結像光学系を用いて、線状遮蔽部の幅と同じ照明ＮＡまたは線状遮蔽部の幅よりも小さい照明ＮＡを有するＥＵＶ光を照射する。 （もっと読む）

【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０であって、内側平坦部２０側から照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する赤色光源４８、５０と、外側平坦部２２側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の内面の全周を、所定の角度から見た画像を一度に撮像する放射状照明、曲面鏡およびＣＣＤカメラを有する検査装置を提供する。
【解決手段】
保持台に保持された被検査体の内面の全周を、被検査体の内面を放射状に光が照射されるように環状に配置された複数のＬＥＤ（４）、前記ＬＥＤ（４）と同じ中心をもつ曲面鏡及び前記曲面鏡と同じ中心をもち、上方向に光が照射されるように環状に配置された複数のＬＥＤ（７）およびＣＣＤカメラにより曲面鏡に写った像を撮像する。曲面鏡の位置を上下に移動させることにより、被検査体の内面を所定の角度から見た画像として撮像する。 （もっと読む）

【課題】画像検査の検査精度を向上する。
【解決手段】画像検査装置では、撮像部により画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて基準積算値分布が取得される。第２積算部では、検査画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて検査積算値分布が取得される。感度補正部では、検査積算値分布の局所ピークを除去した後の検査積算値分布と基準積算値分布との比に基づいて、検査積算値分布６０の局所ピーク以外の複数の積算値を、基準積算値分布の対応する複数の積算値に相対的に近づける感度補正が行われる。比較部では、感度補正後の検査積算値分布６２から基準積算値分布が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、検査積算値分布６０に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】試料に実在する欠陥に起因する輝度変化を、各種ノイズから分離して検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、試料表面上に主走査方向に整列した複数個の走査スポットを形成し、試料表面の同一の部位を、主走査方向に整列したｎ個の走査スポットにより所定の時間間隔で順次走査する。ｎ個の走査スポットからの反射ビームをそれぞれ光検出素子により受光する。信号処理装置は、ｎ個の光検出素子から出力される輝度信号中に、所定の閾値を超えると共に互いに時間的又は位置的に対応する輝度変化が存在する場合、試料上に欠陥が存在するものと判定する。本発明によれば、試料表面上に形成された欠陥に起因する輝度変化は、光源ノイズや光検出器の熱雑音から分離して検出されるので、疑似欠陥が増大することなく、欠陥の検出感度を高く設定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管２内面の検査箇所にパターンを有するパターン光Ｐ１を管２内面の周方向にわたって投影する投影手段１１と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光Ｐ２として投影する表示手段１２と、反射パターン光Ｐ２の形状を観測する観測手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射型サンプル基板上の欠陥の特性を、非破壊かつ高精度に評価可能な欠陥特性評価装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板であるマスク基板１１上の被検欠陥１２に対して、実際の露光で利用する波長のコヒーレント光を、マスク基板１１上の被検欠陥と略同一のサイズに集光する集光光学系１０と、集光光学系１０により集光され、マスク基板１１上にコヒーレント光を照射する照射部１６と、照射部１６により照射された照射パタン領域１３ｂからの回折光を２次元的に受光する二次元検出器１３と、二次元検出器１３による受光結果である画像情報を記録する記録部１７と、記録部１７により記録された画像情報から、被検欠陥１２の反射振幅と位相分布を反復計算により導出する導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察時に観察顕微鏡のレンズ部と基板又は基板保持機構との衝突を防止する。欠陥観察に必要な時間を短縮化する。
【解決手段】基板の表面に照射された高さ調整用のレーザビームは、その高さに比例してスポットの直径が変化し、フォーカス面で最小となり、さらに下降移動により拡大する。観察顕微鏡手段を上方から下降させることによって、レーザビームのスポット径の最小位置を検出し、登録した対物レンズの倍率におけるフォーカス時のスポット径と比較することによって、対物レンズがフォーカス位置より下方向に移動し続けて、基板又は基板保持機構と接触するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【解決手段】撮像手段１１と対象物Ｔとの間に光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、光源１２から放射された光線Ｌを撮像手段１１の光軸Ｏ方向に沿って対象物Ｔ側に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が光軸Ｏと同軸に貫設され、孔部１５の内周面１５ａに内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６とを備え、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する検査装置１０を提供する。 （もっと読む）