光学ガラス検査治具
【課題】光学ガラス検査治具に保持された光学ガラスの透過光の、光学ガラス検査治具の表面からの反射の影響を排除して、光学ガラスの傷等の検査精度向上と迅速化を図る。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部３１ｎと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部３２とを有し、さらにガラス載置部３１ｎが光学ガラス検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙの間を連通する治具開口部３１ｃを備え、ガラス保持部３２が治具開口部３１ｃの少なくとも２つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス３５を通過した光が更に治具開口部３１ｃを通過する構成とした。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部３１ｎと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部３２とを有し、さらにガラス載置部３１ｎが光学ガラス検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙの間を連通する治具開口部３１ｃを備え、ガラス保持部３２が治具開口部３１ｃの少なくとも２つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス３５を通過した光が更に治具開口部３１ｃを通過する構成とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ等の光学機器において使用されるカバーガラスやカバーレンズ等の光学ガラスを検査するための光学ガラス検査治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等の光学機器、特に携帯電話と一体化され小型化されたデジタルカメラは、ンズの前方にカバーガラス等（以下、「光学ガラス」または「ガラス」と表記することがある）を配設して、レンズを保護している。こうしたガラスでは、撮像素子の小型化に伴って、小さな傷やしみがあると撮像された影像にしみ等を生じることがある。またガラスは、赤外線カットフィルター等の光学フィルタとなる干渉膜をコーティングしたものや、透過率を高めるための無反射コーティング膜を形成したものもある。これらコーティング膜等の傷等も像にしみ等を生じさせるため、傷等を確実かつ迅速に検査する技術が開発されてきた。
【０００３】
例えば、ビデオカメラを使用してガラスの表面画像と裏面画像を得て、傷や汚れの有無を検査する技術である（特許文献１）。この検査技術では、光学ガラス検査治具（以下、「検査治具」と表記することがある）に保持されたガラスに光を照射してガラスの傷等の有無が判断される。ここで検査治具はテーブル（検査治具を搭載する搭載部）上に搭載され、ガラスの鉛直線方向の上方にはビデオカメラが配設され、ガラスの斜め上方に複数の光源が配設され、ビデオカメラはこれら光源の照射光で得られた影像を電気信号に変換して映像信号とし、この映像信号に所定の処理を施すことで傷等の検査が行なわれる。
【０００４】
この検査では、検査治具の縦横方向に多数のガラスが載置されており、テーブルは縦横方向に移動して、任意のガラスをビデオカメラの撮像位置に位置づける。ガラスに照射された光は、ガラスに傷等がなければ、ガラスを透過するからビデオカメラで検出されない。しかしガラスに傷等があると、傷等で反射または散乱した光による影像がビデオカメラで検出される。目視の場合には顕微鏡で傷等を検出できる。
【０００５】
しかしガラスの裏面と相対する検査治具の表面領域において、ガラスを透過した光がわずかであるが反射または散乱する。検査治具に無反射黒色加工等を施しても、反射率を数％（例えば２〜４％）程度以下にすることは困難だからである。しかも、多数のガラスを短時間に検査するための検査治具はトレイのような形状となって、ガラス裏面と検査治具の表面領域との間隔が数ｍｍ（例えば１〜２ｍｍ）程度となる。従って検査治具の表面領域での反射光や散乱光等が傷等の検出を妨げることもある。
【０００６】
ここで反射光等と傷等の影像との分別性を向上させようとすると、目視の場合には、検査員の技量に依存することになって検査時間がかり、また検査員の疲労原因となる等の問題が生じる。ビデオカメラで得た映像信号で検査する場合には、映像処理を工夫することで分別性が高まるが、処理時間の増加や装置の複雑化等が生じる。
【０００７】
また光学ガラスを該検査治具に載置するときに、光学ガラスが該検査治具と接触して、光学ガラスに傷等が生じ得るという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０８５６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記問題を解消するために、検査治具で保持された光学ガラスを透過した光の、検査治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）検査治具の実現を課題とするものであり、また光学ガラスに傷等を生じさせないために光学ガラスと該治具との接触面積を極力小さくすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明にかかる検査治具は、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部、および載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部を有している。さらにガラス載置部が該検査治具の表面と裏面との間を連通する治具開口部を備え、ガラス保持部が治具開口部の少なくとも２つの領域に配設されて、光学ガラスを保持できるようになっている。
【００１１】
すなわち光学ガラスを載置した該検査治具を光学ガラス検査装置（以下、「検査装置」と表記することがある）の搭載部に搭載して、光源から光学ガラスに光を照射することで、光学ガラスに傷やしみ等があれば、照射された光が傷等で反射または散乱されて、顕微鏡等で傷として検出される。一方、ガラスの傷やしみ等で反射または散乱されなかった光は、光学ガラスおよび治具開口部を通過する。こうして光学ガラスおよび治具開口部を通過した光が、治具開口部に、反射光や散乱光として戻ってこなければ、傷等の検出が妨げられることはない。
【００１２】
ここで検査装置が、該検査治具を搭載する搭載部に搭載部開口を有し、搭載部開口と治具開口部とが相対するように該検査治具を搭載するようになっていれば、光学ガラスおよび治具開口部を通過した光は、さらに検査装置の搭載部開口を通過する。こうした光を吸収しまたは治具開口部に戻らない方向に反射すれば、傷等の検出が妨げられることはない。
【００１３】
また治具開口部の２つの領域に配設されたガラス保持部は、それぞれ保持部斜面を有し、これら保持部斜面の上端と治具開口部の中心との間隔が、これら保持部斜面の下端と治具開口部の中心との間隔よりも広くなっていれば、これら保持部斜面が光学ガラスの周辺縁と線接触して、光学ガラスを保持することができる。このような栓接触であれば、光学ガラスの裏面または表面（以下、「裏面等」と表記することがある）に傷等が生じることを回避することができる。
【００１４】
または該検査治具が、治具開口部の縁部に形成された開口縁部とガラス支持部とを有して、光学ガラスの端面と相対する開口縁部で該光学ガラス検査治具の表面方向における光学ガラスの載置位置を規定するとともに、光学ガラスの裏面等と接するガラス支持部で該光学ガラス検査治具の厚さ方向における光学ガラスの載置位置を規定して、光学ガラスを保持することができる。この場合には、光学ガラスにおける光束通過領域を除いた光学ガラスの光学ガラスの周辺縁の近傍領域だけがガラス支持部と面接触するようする（面接触で光学ガラスにしみ等が生じても、これによるカメラ等における影像のしみを回避することができる。）。
【００１５】
なお治具開口部における２つの領域とは、代表的には平面視長方形状の光学ガラスの場合には相対する長辺領域および短辺領域であり、円板形状の光学ガラスの場合には点対称の円周領域等である。また光学ガラスにおける光束通過領域とは、例えばデジタルカメラ等の光学機器において、光学像を結像するために必要な光束が光学ガラスを通過するために必要とされる領域である。
【発明の効果】
【００１６】
以上のとおり本発明にかかる光学ガラス検査治具は、治具開口部を設けたことによって、該検査治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、該検査治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる。
【００１７】
また本発明にかかる光学ガラス検査治具は、光学ガラスが該検査治具と接触する領域を極めて僅かにすることができて、光学ガラスを該検査治具に載置することで生じ得る傷等の発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明にかかる光学ガラス検査治具を使用して光学ガラスの検査を行う検査装置の一例（概略構成例）を示す図である。
【図２】本発明の一実施例（実施例１）にかかる光学ガラス検査治具の平面視概略構成を示す図である。
【図３】図２に示す光学ガラス検査治具におけるガラス載置部とその近傍の概略構成を示す図である。
【図４】図２に示すガラス載置部とその近傍の概略斜視図である。
【図５】本発明にかかる光学ガラス検査治具を使用して光学ガラスの検査を行う検査装置の他の例（概略構成例）を示す図である。
【図６】実施例１の光学ガラス検査治具の変形例におけるガラス載置部とその近傍の概略断面構成を示す図であり、同図（ａ）は変形例１における概略断面構成を示し、同図（ｂ）は変形例２における概略断面構成を示す図である。
【図７】実施例１の光学ガラス検査治具において、ガラス支持部を治具開口部の相対する２組の領域（４つの領域）に設けた場合の平面視概略構成を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例（実施例２）にかかる光学ガラス検査治具のガラス載置部とその近傍の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明にかかる光学ガラス検査治具について説明する。
【実施例１】
【００２０】
先ず、検査装置の概要を説明したのちに、本発明にかかる光学ガラス検査治具について説明する。
【００２１】
（検査装置）
検査装置１（図１）は、顕微鏡１０、光源１５、水平に位置づけられたテーブル２１と、テーブル２１を駆動する駆動装置２２とを有する位置決め機構２０、黒色の反射部４０および黒色の光吸収部５０を有している。
【００２２】
顕微鏡１０は、対物レンズ１１（以下、「レンズ１１」と表記する）、顕微鏡本体１２および接眼レンズ１３を有して、水平に位置づけられたテーブル２１の上方に配設され、レンズ１１の光軸１１ｘがテーブル２１と直交している。光軸１１ｘ近傍には、２つの光源１５ａおよび１５ｂを有する光源１５が顕微鏡本体１２と一体になって配設されている。光源１５ａおよび１５ｂが照射する光は、光軸１１ｘと略平行する領域内（図１中、１点鎖線１５ｘおよび１５ｙで示す領域内）を比較的狭い光ビームとなって、テーブル２１に照射される。
【００２３】
位置決め機構２０は、テーブル２１と、このテーブル２１を水平面上で直交する２方向に変位させるための駆動装置２２を有している。テーブル２１は、その略中央部領域に、表面２１ａと裏面２１ｂとを連通するテーブル開口２１ｃを有している。テーブル２１の表面２１ａでは、テーブル開口２１ｃを囲むように検査治具位置決め部２１ｄが突出して形成されて、テーブル２１に搭載する検査治具の搭載位置を規定している。
【００２４】
テーブル開口２１ｃの下方に配設された黒色の反射部（反射板）４０は、光軸１１ｘ上の位置Ｐにおいて、光軸１１ｘと交叉角θ（例えばθ＝４５度）で交叉している。ここで反射部４０の反射面４０ａは平面をなしている。従って位置Ｐでは、入射角および反射角が４５度で、反射光の光軸４０ｘがテーブル２１と平行するようになっている。反射面４０ａは、例えば反射率２〜４％程度であり、さらに光源１５から照射された光ビームを殆どとらえることができる面積を有している。反射光の光軸４０ｘ方向には、光軸４０ｘと直交する低反射率（黒色）の光吸収面５０ａを有した光吸収部５０が配設されており、反射面４０ａからの反射光は、光吸収部５０で殆ど吸収される。
【００２５】
従って、光源１５が、照射した光でテーブル開口２１ｃを通過した光は、反射部４０で吸収されるとともに、反射部４０で反射された反射光は、光吸収部５０で吸収されて、テーブル開口２１ｃの近傍に戻らない。
【００２６】
（検査治具）
本発明の一実施例にかかる光学ガラス検査治具（検査治具）３０Ａは、図２に示すように平面視で略長方形状をなし、表面等が無反射黒色加工されたアルミ等の金属で形成され、その長辺および短辺方向に整列して配列された平面視が長方形状のガラス載置部３１ｎ（ｎ＝１、２・・・ｎ）を有している。
【００２７】
ガラス載置部３１ｎ近傍の平面視および断面構成（Ａ−Ａ断面構成）を図３に、斜視図を図４に示すように、ガラス載置部３１ｎは検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙとを連通する長方形状の治具開口部３１ｃを有し、この治具開口部３１ｃは２つの短辺周壁３１ａおよび長辺周壁３１ｂを有している（いずれの周壁も検査治具３０Ａの表面３０ｘと直交している。）。ここで２つの短辺周壁３１ａには、相対するガラス保持部３２がそれぞれ形成されているが、２つの長辺周壁３１ｂにはガラス保持部３２が形成されていない。
【００２８】
ガラス保持部３２は、その上端３２ａが検査治具３０Ａの表面３０ｘより若干裏面３０ｙに寄った位置に、その下端３２ｂが検査治具３０Ａの裏面３０ｙより若干表面３０ｘに寄った位置にそれぞれ位置づけられた保持部斜面３２ｓを有している。この保持部斜面３２ｓは、上端３２ａから下端３２ｂにかけて、下端３２ｂ側が治具開口部３１ｃの中心３１ｘに向けて傾斜しており、相対した保持部斜面３２ｓの上端３２ａの間隔はＷ１であり、下端３２ｂの間隔はＷ２である（Ｗ１＞Ｗ２である。）。
【００２９】
このようにガラス載置部３１ｎは、相対する２つのガラス保持部３２において検査治具３０Ａの表面３０ｘ側が裏面３０ｙ側よりも開いている。ここで治具開口部３１ｃをガラス３５の平面視形状よりも若干大きく且つ略相似形状に形成し、保持部斜面３２ｓにおいて、その上端３２ａの間隔Ｗ１をガラス３５の長手方向の長さより長く、その下端３２ｂの間隔Ｗ２をガラス３５の長手方向の長さより短く形成することで、表面３０ｘ側から載置されたガラス３５を保持部斜面３２ｓで保持することができる（ガラス３５の周辺縁３５ａが保持部斜面３２ｓと線接触する。）。
【００３０】
なお検査治具３０Ａの表面３０ｘと保持部斜面３２ｓの上端３２ａとの間には、検査治具３０Ａの表面３０ｘと直交するガラス保持部３２の上部壁部３２ｕが形成されている。また検査治具３０Ａの裏面３０ｙと保持部斜面３２ｓの下端３２ｂとの間には、検査治具３０Ａの裏面３０ｙと直交するガラス保持部３２の下部壁部３２ｔが形成されており、ガラス３５の光束通過範囲は相対する下部壁部３２ｔの間に位置づけられる。
【００３１】
（光学ガラスの検査）
次に、検査治具３０Ａを使用した光学ガラスの検査について説明する。検査装置１によるガラス３５の検査は以下の手順で行われる。所定の形状にカットされたガラス３５は、図示しないピックアップ装置によって、検査治具３０Ａのガラス載置部３１ｎに載置され、この検査治具３０Ａがテーブル２１に搭載される。このとき、すべてのガラス載置部３１ｎがテーブル開口２１ｃの上方に位置づけられる。
【００３２】
傷等の検出は、検査治具３０Ａのガラス載置部３１ｎについて、例えばｎ＝１、２・・・ｎの順番で行われる（駆動装置２２によってテーブル２１を水平方向で２次元的に変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎが順番に光軸１１ｘ上に位置づけられる。）。光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎの領域が検査領域となって、光源１５が照射した光ビームが光軸１１ｘと交叉するガラス載置部３１ｎに照射される。
【００３３】
傷等の検出は次のように行われる。検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがある場合には、これら傷等の性状に応じた反射光や散乱光が生じる。これら反射光等を顕微鏡１０でとらえて傷等を検査する。ここでガラス３５に傷やしみがない場合には、照射された光はガラス３５を透過し、治具開口部３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して黒色の反射部４０へ到達する。ここで吸収されなかった光は、光軸４０ｘとその近傍を通過して光吸収部５０の光吸収面５０ａに到達して吸収される。
【００３４】
図５に示す検査装置２は、検査装置１における反射部４０を光吸収部５０に置き換えたものである。光吸収部５０は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されている。光吸収面５０ａは、例えば黒色のフェルトによって覆われており入射した光を吸収する。
【００３５】
検査治具３０Ａは、いずれの検査装置においても、ガラス載置部３１ｎに載置したガラス３５を透過した光を、さらに治具開口部３１ｃを通過させることで、検査治具３０Ａの表面領域における反射光または散乱光の発生を防いで、光学ガラスの傷等の検査精度向上と、迅速化を図ることができる。
【００３６】
（検査治具の変形例）
次に検査治具３０Ａの変形例を図６（ａ）および（ｂ）に示す。図６（ａ）に示す検査治具３０Ｂ（変形例１）は、その表面３０ｘにおいて治具開口部３１ｃを取り囲むように突出して形成された開口縁部３３ａを有している。検査治具３０Ｂの例では、開口縁部３３ａがガラス保持部３２の上端３２ａと同じ高さて突出している。開口縁部３３ａは、治具開口部３１ｃの４辺に設けられていてもよく、２つの短辺周壁３１ａに接するように設けられてもよく、または２つの長辺周壁３１ｂに接するように設けられてもよい。
【００３７】
図６（ｂ）に示す検査治具３０Ｃ（変形例２）は、その表面３０ｘに保持部斜面３２ｓの上端３２ａが位置づけられ、その裏面３０ｙに保持部斜面３２ｓの下端３２ｂが位置づけられている（検査治具３０Ａから、ガラス保持部３２の上部壁部３２ｕおよび下部壁部３２ｔを除いた構成となっている。）。
【００３８】
なおガラス保持部３２は、図７に示すように、相対する２つの短辺周壁３１ａおよび２つの長辺周壁３１ｂにそれぞれ設けてもよく、または相対する２つの長辺周壁３１ｂに設けてもよい（図示せず）。
【００３９】
また図３中において、ガラス保持部３２の下部壁部３２ｔの近傍領域が検査治具３０Ａの面方向（図３中の水平方向）に僅かに突出していてもよい。この場合には、保持部斜面３２ｓの下端３２ｂと下部壁部３２ｔの上端との間に検査治具３０Ａの裏面３０ｙと平行する僅かな平面が形成されるが、ガラス３５の周辺縁３５ａが保持部斜面３２ｓと線接触して、ガラス３５の裏面等は上記突出した下部壁部３２ｔと面接触しない。
【実施例２】
【００４０】
本発明の他の実施例（実施例２）にかかる検査治具３０Ｄを図８（ａ）および（ｂ）に基づいて説明する。ここで実施例１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符合を付してそれらの説明を省略する。
【００４１】
検査治具３０Ｄは、治具開口部３１ｃの周辺部において表面３０ｘから突出して形成された開口縁部３３ａを有している。開口縁部３３ａと治具開口部３１ｃとの間にはガラス支持部３３ｂが形成され、このガラス支持部３３ｂは検査治具３０Ｄの表面３０ｘと平行する平面をなしている。そして開口縁部３３ａの周壁３３ｕおよびガラス支持部３３ｂの下方の周壁３３ｔが検査治具３０Ｄの表面３０ｘと略直交している。
【００４２】
これら開口縁部３３ａ、およびガラス支持部３３ｂが、長方形状のガラス保持手段３３を形成しており、開口縁部３３ａは検査治具３０Ｄの表面方向におけるガラス３５の位置を規定し、ガラス支持部３３ｂは検査治具３０Ｄの厚さ方向におけるガラス３５の位置を規定する。こうしてガラス保持手段３３はガラス３５が載置される位置を規定する。
【００４３】
ここでガラス３５の４つの辺部を支えるガラス支持部３３ｂは、極力狭いことが望ましい。なぜならばガラス支持部３３ｂを極力狭くすることで、ガラス３５の周辺縁３５ａの近傍領域におけるガラス３５の裏面等とガラス支持部３３ｂとが接する面積を極力狭くして、ガラス３５の裏面等に傷等が生じることを防止できるからである。また開口縁部３３ａの周壁３３ｕとガラス３５の４辺周面との間は、若干の隙間が形成されて、ガラス保持手段３３へのガラス３５の載置等が円滑に行われるようになっている。もちろんガラス３５における光束通過領域は、ガラス支持部３３ｂの下方の周壁３３ｔの間に位置づけられるようになっている。
【００４４】
なお開口縁部３３ａが検査治具３３Ｄの表面３０ｘから突出する必要はなく（例えば、開口縁部３３ａの上面が検査治具３３Ｄの表面３０ｘとなるように構成されていてもよく）、ガラス保持手段３３は、開口縁部３３ａの周壁３３ｕ、およびガラス支持部３３ｂとを有していれば、ガラス３５を保持することができる。
【００４５】
ところで本発明にかかる検査治具の治具開口部におけるガラス保持部を設ける領域とは、検査治具の治具開口部において、光学ガラスを保持するために必要なガラス保持部を配設するための領域であり、治具開口部の中心からみて異なる方向の領域をいう。かかる領域は、治具開口部の中心からみて、方向が９０度以上異なる少なくとも２つ必要となる。従って治具開口部の周壁近傍のすべての領域は、方向が９０度以上異なる複数の領域の集合となる。
【００４６】
例えば、平面視長方形状の光学ガラスの場合には、治具開口部の一方の長辺周壁の両端側領域（２つの領域）と他方の長辺周壁の中央部領域（１つの領域）の、計３つの領域であってもよい。また平面視円形形状の光学ガラスの場合には、治具開口部の円形形状の円周壁を３等分した周壁上の３つの領域であってもよい。さらに治具開口部の内周壁のすべての領域に連続したガラス保持部を設けた場合においては、方向が９０度以上異なる複数の領域に設けたガラス保持部の集合となるのである。
【００４７】
このように本発明にかかる光学ガラス検査治具は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明にかかる光学ガラス検査治具は、それを工業的および商業的に製造、販売および使用等できるものだから経済的価値を有して産業上の利用可能性を有するものである。
【符号の説明】
【００４９】
１、２ 光学ガラス検査装置
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ 検査治具（光学ガラス検査治具）
３０ｘ 光学ガラス検査治具の表面
３０ｙ 光学ガラス検査治具の裏面
３１ａ 治具開口部の短辺周壁（治具開口部の領域）
３１ｂ 治具開口部の長辺周壁（治具開口部の領域）
３１ｃ ガラス載置部の治具開口部
３１ｎ ガラス載置部
３１ｘ 治具開口部の中心
３２ ガラス保持部
３２ａ 保持部斜面の上端
３２ｂ 保持部斜面の下端
３２ｓ 保持部斜面
３３ ガラス保持手段
３３ａ 開口縁部
３３ｂ ガラス支持部
３５ ガラス（光学ガラス）
３５ａ ガラスの周辺縁
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ等の光学機器において使用されるカバーガラスやカバーレンズ等の光学ガラスを検査するための光学ガラス検査治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等の光学機器、特に携帯電話と一体化され小型化されたデジタルカメラは、ンズの前方にカバーガラス等（以下、「光学ガラス」または「ガラス」と表記することがある）を配設して、レンズを保護している。こうしたガラスでは、撮像素子の小型化に伴って、小さな傷やしみがあると撮像された影像にしみ等を生じることがある。またガラスは、赤外線カットフィルター等の光学フィルタとなる干渉膜をコーティングしたものや、透過率を高めるための無反射コーティング膜を形成したものもある。これらコーティング膜等の傷等も像にしみ等を生じさせるため、傷等を確実かつ迅速に検査する技術が開発されてきた。
【０００３】
例えば、ビデオカメラを使用してガラスの表面画像と裏面画像を得て、傷や汚れの有無を検査する技術である（特許文献１）。この検査技術では、光学ガラス検査治具（以下、「検査治具」と表記することがある）に保持されたガラスに光を照射してガラスの傷等の有無が判断される。ここで検査治具はテーブル（検査治具を搭載する搭載部）上に搭載され、ガラスの鉛直線方向の上方にはビデオカメラが配設され、ガラスの斜め上方に複数の光源が配設され、ビデオカメラはこれら光源の照射光で得られた影像を電気信号に変換して映像信号とし、この映像信号に所定の処理を施すことで傷等の検査が行なわれる。
【０００４】
この検査では、検査治具の縦横方向に多数のガラスが載置されており、テーブルは縦横方向に移動して、任意のガラスをビデオカメラの撮像位置に位置づける。ガラスに照射された光は、ガラスに傷等がなければ、ガラスを透過するからビデオカメラで検出されない。しかしガラスに傷等があると、傷等で反射または散乱した光による影像がビデオカメラで検出される。目視の場合には顕微鏡で傷等を検出できる。
【０００５】
しかしガラスの裏面と相対する検査治具の表面領域において、ガラスを透過した光がわずかであるが反射または散乱する。検査治具に無反射黒色加工等を施しても、反射率を数％（例えば２〜４％）程度以下にすることは困難だからである。しかも、多数のガラスを短時間に検査するための検査治具はトレイのような形状となって、ガラス裏面と検査治具の表面領域との間隔が数ｍｍ（例えば１〜２ｍｍ）程度となる。従って検査治具の表面領域での反射光や散乱光等が傷等の検出を妨げることもある。
【０００６】
ここで反射光等と傷等の影像との分別性を向上させようとすると、目視の場合には、検査員の技量に依存することになって検査時間がかり、また検査員の疲労原因となる等の問題が生じる。ビデオカメラで得た映像信号で検査する場合には、映像処理を工夫することで分別性が高まるが、処理時間の増加や装置の複雑化等が生じる。
【０００７】
また光学ガラスを該検査治具に載置するときに、光学ガラスが該検査治具と接触して、光学ガラスに傷等が生じ得るという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０８５６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記問題を解消するために、検査治具で保持された光学ガラスを透過した光の、検査治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる（検査コストを低減できる）検査治具の実現を課題とするものであり、また光学ガラスに傷等を生じさせないために光学ガラスと該治具との接触面積を極力小さくすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明にかかる検査治具は、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部、および載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部を有している。さらにガラス載置部が該検査治具の表面と裏面との間を連通する治具開口部を備え、ガラス保持部が治具開口部の少なくとも２つの領域に配設されて、光学ガラスを保持できるようになっている。
【００１１】
すなわち光学ガラスを載置した該検査治具を光学ガラス検査装置（以下、「検査装置」と表記することがある）の搭載部に搭載して、光源から光学ガラスに光を照射することで、光学ガラスに傷やしみ等があれば、照射された光が傷等で反射または散乱されて、顕微鏡等で傷として検出される。一方、ガラスの傷やしみ等で反射または散乱されなかった光は、光学ガラスおよび治具開口部を通過する。こうして光学ガラスおよび治具開口部を通過した光が、治具開口部に、反射光や散乱光として戻ってこなければ、傷等の検出が妨げられることはない。
【００１２】
ここで検査装置が、該検査治具を搭載する搭載部に搭載部開口を有し、搭載部開口と治具開口部とが相対するように該検査治具を搭載するようになっていれば、光学ガラスおよび治具開口部を通過した光は、さらに検査装置の搭載部開口を通過する。こうした光を吸収しまたは治具開口部に戻らない方向に反射すれば、傷等の検出が妨げられることはない。
【００１３】
また治具開口部の２つの領域に配設されたガラス保持部は、それぞれ保持部斜面を有し、これら保持部斜面の上端と治具開口部の中心との間隔が、これら保持部斜面の下端と治具開口部の中心との間隔よりも広くなっていれば、これら保持部斜面が光学ガラスの周辺縁と線接触して、光学ガラスを保持することができる。このような栓接触であれば、光学ガラスの裏面または表面（以下、「裏面等」と表記することがある）に傷等が生じることを回避することができる。
【００１４】
または該検査治具が、治具開口部の縁部に形成された開口縁部とガラス支持部とを有して、光学ガラスの端面と相対する開口縁部で該光学ガラス検査治具の表面方向における光学ガラスの載置位置を規定するとともに、光学ガラスの裏面等と接するガラス支持部で該光学ガラス検査治具の厚さ方向における光学ガラスの載置位置を規定して、光学ガラスを保持することができる。この場合には、光学ガラスにおける光束通過領域を除いた光学ガラスの光学ガラスの周辺縁の近傍領域だけがガラス支持部と面接触するようする（面接触で光学ガラスにしみ等が生じても、これによるカメラ等における影像のしみを回避することができる。）。
【００１５】
なお治具開口部における２つの領域とは、代表的には平面視長方形状の光学ガラスの場合には相対する長辺領域および短辺領域であり、円板形状の光学ガラスの場合には点対称の円周領域等である。また光学ガラスにおける光束通過領域とは、例えばデジタルカメラ等の光学機器において、光学像を結像するために必要な光束が光学ガラスを通過するために必要とされる領域である。
【発明の効果】
【００１６】
以上のとおり本発明にかかる光学ガラス検査治具は、治具開口部を設けたことによって、該検査治具に搭載された光学ガラスを透過した光の、該検査治具の表面領域における反射光または散乱光の影響を排除することができて、光学ガラスの傷等の検査の精度向上と、迅速化を図ることができる。
【００１７】
また本発明にかかる光学ガラス検査治具は、光学ガラスが該検査治具と接触する領域を極めて僅かにすることができて、光学ガラスを該検査治具に載置することで生じ得る傷等の発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明にかかる光学ガラス検査治具を使用して光学ガラスの検査を行う検査装置の一例（概略構成例）を示す図である。
【図２】本発明の一実施例（実施例１）にかかる光学ガラス検査治具の平面視概略構成を示す図である。
【図３】図２に示す光学ガラス検査治具におけるガラス載置部とその近傍の概略構成を示す図である。
【図４】図２に示すガラス載置部とその近傍の概略斜視図である。
【図５】本発明にかかる光学ガラス検査治具を使用して光学ガラスの検査を行う検査装置の他の例（概略構成例）を示す図である。
【図６】実施例１の光学ガラス検査治具の変形例におけるガラス載置部とその近傍の概略断面構成を示す図であり、同図（ａ）は変形例１における概略断面構成を示し、同図（ｂ）は変形例２における概略断面構成を示す図である。
【図７】実施例１の光学ガラス検査治具において、ガラス支持部を治具開口部の相対する２組の領域（４つの領域）に設けた場合の平面視概略構成を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例（実施例２）にかかる光学ガラス検査治具のガラス載置部とその近傍の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明にかかる光学ガラス検査治具について説明する。
【実施例１】
【００２０】
先ず、検査装置の概要を説明したのちに、本発明にかかる光学ガラス検査治具について説明する。
【００２１】
（検査装置）
検査装置１（図１）は、顕微鏡１０、光源１５、水平に位置づけられたテーブル２１と、テーブル２１を駆動する駆動装置２２とを有する位置決め機構２０、黒色の反射部４０および黒色の光吸収部５０を有している。
【００２２】
顕微鏡１０は、対物レンズ１１（以下、「レンズ１１」と表記する）、顕微鏡本体１２および接眼レンズ１３を有して、水平に位置づけられたテーブル２１の上方に配設され、レンズ１１の光軸１１ｘがテーブル２１と直交している。光軸１１ｘ近傍には、２つの光源１５ａおよび１５ｂを有する光源１５が顕微鏡本体１２と一体になって配設されている。光源１５ａおよび１５ｂが照射する光は、光軸１１ｘと略平行する領域内（図１中、１点鎖線１５ｘおよび１５ｙで示す領域内）を比較的狭い光ビームとなって、テーブル２１に照射される。
【００２３】
位置決め機構２０は、テーブル２１と、このテーブル２１を水平面上で直交する２方向に変位させるための駆動装置２２を有している。テーブル２１は、その略中央部領域に、表面２１ａと裏面２１ｂとを連通するテーブル開口２１ｃを有している。テーブル２１の表面２１ａでは、テーブル開口２１ｃを囲むように検査治具位置決め部２１ｄが突出して形成されて、テーブル２１に搭載する検査治具の搭載位置を規定している。
【００２４】
テーブル開口２１ｃの下方に配設された黒色の反射部（反射板）４０は、光軸１１ｘ上の位置Ｐにおいて、光軸１１ｘと交叉角θ（例えばθ＝４５度）で交叉している。ここで反射部４０の反射面４０ａは平面をなしている。従って位置Ｐでは、入射角および反射角が４５度で、反射光の光軸４０ｘがテーブル２１と平行するようになっている。反射面４０ａは、例えば反射率２〜４％程度であり、さらに光源１５から照射された光ビームを殆どとらえることができる面積を有している。反射光の光軸４０ｘ方向には、光軸４０ｘと直交する低反射率（黒色）の光吸収面５０ａを有した光吸収部５０が配設されており、反射面４０ａからの反射光は、光吸収部５０で殆ど吸収される。
【００２５】
従って、光源１５が、照射した光でテーブル開口２１ｃを通過した光は、反射部４０で吸収されるとともに、反射部４０で反射された反射光は、光吸収部５０で吸収されて、テーブル開口２１ｃの近傍に戻らない。
【００２６】
（検査治具）
本発明の一実施例にかかる光学ガラス検査治具（検査治具）３０Ａは、図２に示すように平面視で略長方形状をなし、表面等が無反射黒色加工されたアルミ等の金属で形成され、その長辺および短辺方向に整列して配列された平面視が長方形状のガラス載置部３１ｎ（ｎ＝１、２・・・ｎ）を有している。
【００２７】
ガラス載置部３１ｎ近傍の平面視および断面構成（Ａ−Ａ断面構成）を図３に、斜視図を図４に示すように、ガラス載置部３１ｎは検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙとを連通する長方形状の治具開口部３１ｃを有し、この治具開口部３１ｃは２つの短辺周壁３１ａおよび長辺周壁３１ｂを有している（いずれの周壁も検査治具３０Ａの表面３０ｘと直交している。）。ここで２つの短辺周壁３１ａには、相対するガラス保持部３２がそれぞれ形成されているが、２つの長辺周壁３１ｂにはガラス保持部３２が形成されていない。
【００２８】
ガラス保持部３２は、その上端３２ａが検査治具３０Ａの表面３０ｘより若干裏面３０ｙに寄った位置に、その下端３２ｂが検査治具３０Ａの裏面３０ｙより若干表面３０ｘに寄った位置にそれぞれ位置づけられた保持部斜面３２ｓを有している。この保持部斜面３２ｓは、上端３２ａから下端３２ｂにかけて、下端３２ｂ側が治具開口部３１ｃの中心３１ｘに向けて傾斜しており、相対した保持部斜面３２ｓの上端３２ａの間隔はＷ１であり、下端３２ｂの間隔はＷ２である（Ｗ１＞Ｗ２である。）。
【００２９】
このようにガラス載置部３１ｎは、相対する２つのガラス保持部３２において検査治具３０Ａの表面３０ｘ側が裏面３０ｙ側よりも開いている。ここで治具開口部３１ｃをガラス３５の平面視形状よりも若干大きく且つ略相似形状に形成し、保持部斜面３２ｓにおいて、その上端３２ａの間隔Ｗ１をガラス３５の長手方向の長さより長く、その下端３２ｂの間隔Ｗ２をガラス３５の長手方向の長さより短く形成することで、表面３０ｘ側から載置されたガラス３５を保持部斜面３２ｓで保持することができる（ガラス３５の周辺縁３５ａが保持部斜面３２ｓと線接触する。）。
【００３０】
なお検査治具３０Ａの表面３０ｘと保持部斜面３２ｓの上端３２ａとの間には、検査治具３０Ａの表面３０ｘと直交するガラス保持部３２の上部壁部３２ｕが形成されている。また検査治具３０Ａの裏面３０ｙと保持部斜面３２ｓの下端３２ｂとの間には、検査治具３０Ａの裏面３０ｙと直交するガラス保持部３２の下部壁部３２ｔが形成されており、ガラス３５の光束通過範囲は相対する下部壁部３２ｔの間に位置づけられる。
【００３１】
（光学ガラスの検査）
次に、検査治具３０Ａを使用した光学ガラスの検査について説明する。検査装置１によるガラス３５の検査は以下の手順で行われる。所定の形状にカットされたガラス３５は、図示しないピックアップ装置によって、検査治具３０Ａのガラス載置部３１ｎに載置され、この検査治具３０Ａがテーブル２１に搭載される。このとき、すべてのガラス載置部３１ｎがテーブル開口２１ｃの上方に位置づけられる。
【００３２】
傷等の検出は、検査治具３０Ａのガラス載置部３１ｎについて、例えばｎ＝１、２・・・ｎの順番で行われる（駆動装置２２によってテーブル２１を水平方向で２次元的に変位させることで、すべてのガラス載置部３１ｎが順番に光軸１１ｘ上に位置づけられる。）。光軸１１ｘ上に位置づけられたガラス載置部３１ｎの領域が検査領域となって、光源１５が照射した光ビームが光軸１１ｘと交叉するガラス載置部３１ｎに照射される。
【００３３】
傷等の検出は次のように行われる。検査領域に位置づけられたガラス３５に傷やしみがある場合には、これら傷等の性状に応じた反射光や散乱光が生じる。これら反射光等を顕微鏡１０でとらえて傷等を検査する。ここでガラス３５に傷やしみがない場合には、照射された光はガラス３５を透過し、治具開口部３１ｃおよびテーブル開口２１ｃを通過して黒色の反射部４０へ到達する。ここで吸収されなかった光は、光軸４０ｘとその近傍を通過して光吸収部５０の光吸収面５０ａに到達して吸収される。
【００３４】
図５に示す検査装置２は、検査装置１における反射部４０を光吸収部５０に置き換えたものである。光吸収部５０は、光軸１１ｘと直交し、かつテーブル２１の下方に配設されている。光吸収面５０ａは、例えば黒色のフェルトによって覆われており入射した光を吸収する。
【００３５】
検査治具３０Ａは、いずれの検査装置においても、ガラス載置部３１ｎに載置したガラス３５を透過した光を、さらに治具開口部３１ｃを通過させることで、検査治具３０Ａの表面領域における反射光または散乱光の発生を防いで、光学ガラスの傷等の検査精度向上と、迅速化を図ることができる。
【００３６】
（検査治具の変形例）
次に検査治具３０Ａの変形例を図６（ａ）および（ｂ）に示す。図６（ａ）に示す検査治具３０Ｂ（変形例１）は、その表面３０ｘにおいて治具開口部３１ｃを取り囲むように突出して形成された開口縁部３３ａを有している。検査治具３０Ｂの例では、開口縁部３３ａがガラス保持部３２の上端３２ａと同じ高さて突出している。開口縁部３３ａは、治具開口部３１ｃの４辺に設けられていてもよく、２つの短辺周壁３１ａに接するように設けられてもよく、または２つの長辺周壁３１ｂに接するように設けられてもよい。
【００３７】
図６（ｂ）に示す検査治具３０Ｃ（変形例２）は、その表面３０ｘに保持部斜面３２ｓの上端３２ａが位置づけられ、その裏面３０ｙに保持部斜面３２ｓの下端３２ｂが位置づけられている（検査治具３０Ａから、ガラス保持部３２の上部壁部３２ｕおよび下部壁部３２ｔを除いた構成となっている。）。
【００３８】
なおガラス保持部３２は、図７に示すように、相対する２つの短辺周壁３１ａおよび２つの長辺周壁３１ｂにそれぞれ設けてもよく、または相対する２つの長辺周壁３１ｂに設けてもよい（図示せず）。
【００３９】
また図３中において、ガラス保持部３２の下部壁部３２ｔの近傍領域が検査治具３０Ａの面方向（図３中の水平方向）に僅かに突出していてもよい。この場合には、保持部斜面３２ｓの下端３２ｂと下部壁部３２ｔの上端との間に検査治具３０Ａの裏面３０ｙと平行する僅かな平面が形成されるが、ガラス３５の周辺縁３５ａが保持部斜面３２ｓと線接触して、ガラス３５の裏面等は上記突出した下部壁部３２ｔと面接触しない。
【実施例２】
【００４０】
本発明の他の実施例（実施例２）にかかる検査治具３０Ｄを図８（ａ）および（ｂ）に基づいて説明する。ここで実施例１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符合を付してそれらの説明を省略する。
【００４１】
検査治具３０Ｄは、治具開口部３１ｃの周辺部において表面３０ｘから突出して形成された開口縁部３３ａを有している。開口縁部３３ａと治具開口部３１ｃとの間にはガラス支持部３３ｂが形成され、このガラス支持部３３ｂは検査治具３０Ｄの表面３０ｘと平行する平面をなしている。そして開口縁部３３ａの周壁３３ｕおよびガラス支持部３３ｂの下方の周壁３３ｔが検査治具３０Ｄの表面３０ｘと略直交している。
【００４２】
これら開口縁部３３ａ、およびガラス支持部３３ｂが、長方形状のガラス保持手段３３を形成しており、開口縁部３３ａは検査治具３０Ｄの表面方向におけるガラス３５の位置を規定し、ガラス支持部３３ｂは検査治具３０Ｄの厚さ方向におけるガラス３５の位置を規定する。こうしてガラス保持手段３３はガラス３５が載置される位置を規定する。
【００４３】
ここでガラス３５の４つの辺部を支えるガラス支持部３３ｂは、極力狭いことが望ましい。なぜならばガラス支持部３３ｂを極力狭くすることで、ガラス３５の周辺縁３５ａの近傍領域におけるガラス３５の裏面等とガラス支持部３３ｂとが接する面積を極力狭くして、ガラス３５の裏面等に傷等が生じることを防止できるからである。また開口縁部３３ａの周壁３３ｕとガラス３５の４辺周面との間は、若干の隙間が形成されて、ガラス保持手段３３へのガラス３５の載置等が円滑に行われるようになっている。もちろんガラス３５における光束通過領域は、ガラス支持部３３ｂの下方の周壁３３ｔの間に位置づけられるようになっている。
【００４４】
なお開口縁部３３ａが検査治具３３Ｄの表面３０ｘから突出する必要はなく（例えば、開口縁部３３ａの上面が検査治具３３Ｄの表面３０ｘとなるように構成されていてもよく）、ガラス保持手段３３は、開口縁部３３ａの周壁３３ｕ、およびガラス支持部３３ｂとを有していれば、ガラス３５を保持することができる。
【００４５】
ところで本発明にかかる検査治具の治具開口部におけるガラス保持部を設ける領域とは、検査治具の治具開口部において、光学ガラスを保持するために必要なガラス保持部を配設するための領域であり、治具開口部の中心からみて異なる方向の領域をいう。かかる領域は、治具開口部の中心からみて、方向が９０度以上異なる少なくとも２つ必要となる。従って治具開口部の周壁近傍のすべての領域は、方向が９０度以上異なる複数の領域の集合となる。
【００４６】
例えば、平面視長方形状の光学ガラスの場合には、治具開口部の一方の長辺周壁の両端側領域（２つの領域）と他方の長辺周壁の中央部領域（１つの領域）の、計３つの領域であってもよい。また平面視円形形状の光学ガラスの場合には、治具開口部の円形形状の円周壁を３等分した周壁上の３つの領域であってもよい。さらに治具開口部の内周壁のすべての領域に連続したガラス保持部を設けた場合においては、方向が９０度以上異なる複数の領域に設けたガラス保持部の集合となるのである。
【００４７】
このように本発明にかかる光学ガラス検査治具は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明にかかる光学ガラス検査治具は、それを工業的および商業的に製造、販売および使用等できるものだから経済的価値を有して産業上の利用可能性を有するものである。
【符号の説明】
【００４９】
１、２ 光学ガラス検査装置
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ 検査治具（光学ガラス検査治具）
３０ｘ 光学ガラス検査治具の表面
３０ｙ 光学ガラス検査治具の裏面
３１ａ 治具開口部の短辺周壁（治具開口部の領域）
３１ｂ 治具開口部の長辺周壁（治具開口部の領域）
３１ｃ ガラス載置部の治具開口部
３１ｎ ガラス載置部
３１ｘ 治具開口部の中心
３２ ガラス保持部
３２ａ 保持部斜面の上端
３２ｂ 保持部斜面の下端
３２ｓ 保持部斜面
３３ ガラス保持手段
３３ａ 開口縁部
３３ｂ ガラス支持部
３５ ガラス（光学ガラス）
３５ａ ガラスの周辺縁
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学ガラスを検査装置で検査するための光学ガラス検査治具であって、
一または複数の前記光学ガラスを載置するためのガラス載置部と、
前記ガラス載置部に載置された前記光学ガラスを保持するためのガラス保持部とを有し、
さらに前記ガラス載置部が該光学ガラス検査治具の表面と裏面との間を連通する治具開口部を備え、
前記ガラス保持部が前記治具開口部の少なくとも２つの領域に配設されて前記光学ガラスを前記ガラス載置部において保持することができるとともに、
前記ガラス載置部に照射された光は、前記光学ガラスを通過して、さらに前記治具開口部を通過すること特徴とする光学ガラス検査治具。
【請求項２】
前記治具開口部の少なくとも２つの領域に配設された前記ガラス保持部は、
それぞれが保持部斜面を有し、前記保持部斜面の上端と前記治具開口部の中心との間隔が、前記保持部斜面の下端と前記治具開口部の中心との間隔よりも広くなっており、前記保持部斜面が前記光学ガラスの周辺縁と線接触して、前記光学ガラスを保持すること、
または前記治具開口部の縁部に形成された開口縁部とガラス支持部とを有して、前記開口縁部が、前記光学ガラスの端面と相対して、該光学ガラス検査治具の面方向における前記光学ガラスの載置位置を規定するとともに、前記ガラス支持部が、前記光学ガラスの表面または裏面と接して、該光学ガラス検査治具の厚さ方向における前記光学ガラスの載置位置を規定して、前記光学ガラスを保持することを特徴とする光学ガラス検査治具。
【請求項１】
光学ガラスを検査装置で検査するための光学ガラス検査治具であって、
一または複数の前記光学ガラスを載置するためのガラス載置部と、
前記ガラス載置部に載置された前記光学ガラスを保持するためのガラス保持部とを有し、
さらに前記ガラス載置部が該光学ガラス検査治具の表面と裏面との間を連通する治具開口部を備え、
前記ガラス保持部が前記治具開口部の少なくとも２つの領域に配設されて前記光学ガラスを前記ガラス載置部において保持することができるとともに、
前記ガラス載置部に照射された光は、前記光学ガラスを通過して、さらに前記治具開口部を通過すること特徴とする光学ガラス検査治具。
【請求項２】
前記治具開口部の少なくとも２つの領域に配設された前記ガラス保持部は、
それぞれが保持部斜面を有し、前記保持部斜面の上端と前記治具開口部の中心との間隔が、前記保持部斜面の下端と前記治具開口部の中心との間隔よりも広くなっており、前記保持部斜面が前記光学ガラスの周辺縁と線接触して、前記光学ガラスを保持すること、
または前記治具開口部の縁部に形成された開口縁部とガラス支持部とを有して、前記開口縁部が、前記光学ガラスの端面と相対して、該光学ガラス検査治具の面方向における前記光学ガラスの載置位置を規定するとともに、前記ガラス支持部が、前記光学ガラスの表面または裏面と接して、該光学ガラス検査治具の厚さ方向における前記光学ガラスの載置位置を規定して、前記光学ガラスを保持することを特徴とする光学ガラス検査治具。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−１９８０７２（Ｐ２０１２−１９８０７２Ａ）
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６１６８３（Ｐ２０１１−６１６８３）
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（５１１０７２１１６）株式会社サンテック (3)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（５１１０７２１１６）株式会社サンテック (3)
【Ｆターム（参考）】
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