この装置は、試料（２）の少なくとも１つの表面（１）の歪みが温度に対して測定されることを可能とする。所定の平面、例えば表面（１）の平面に垂直な方向の歪みが、合成像によって測定される。前記平面における歪みが、画像相関によって測定される。画像相関と合成像とによる測定は、共通の可視光検出カメラ（３）を使用する。試料（２）は、可視光（Ｌ）を少なくとも局所的に通す透明格納容器（６）内に配置される。少なくとも１つの赤外線発光器（９）が、大部分がカメラ（３）によって検出されないスペクトル帯の赤外光が発生されることを可能とする。
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光学素子（５）の製造方法は、検査された光学素子（５）の副開口部のみを照明する測定光のビーム（１３）を発生させる干渉計光学系（１）を用いて光学素子（５）を検査する工程を含む。干渉計光学系（１）は、ホログラムを備えている。副開口部測定の結果が組み合わされ、光学素子（５）の表面全体に関する測定結果が得られる。さらに、干渉計光学系（１）を較正する方法は、干渉計光学系（１）によって発生した測定光のビーム（１３）の全断面の副開口部のみをカバーするホログラムを有する較正光学系を用いた干渉測定を行う工程と、干渉計光学系（１）の全断面を示す結果を得るために、副開口部測定値を組み合わせる工程とを含む。 （もっと読む）

【解決手段】鍛造プレスの長手軸に沿って移動されるところの加工部材の鍛造を最適化するための方法及び装置。該方法は、長手軸に沿って加工部材の第一及び第二の端の相対的な位置を検出し、そしてその間の加工部材の長さを計算することを含む。 （もっと読む）

本発明は、基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステムを提供することを対象とする。該方法は、膜の上において複数の処理領域を識別することと、複数の処理領域のサブセットの特性を測定することと、測定された特性を確定することと、測定された特性の１つの変化を決定することと、測定された特性の１つと、サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、変化の原因を関連付けることとを含む。該システムは、上述された方法を実施する。
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【課題】長寸の物体の姿勢から得られた姿勢データを処理する装置及び方法を提供する。
【解決手段】長寸の物体（例えば、筆記用具、ポインタ、ロボットアーム、又は棒）の先端は、１つ又はそれ以上の不変特性を有する平面と接触する。長寸の物体の姿勢は、該物体内に搭載された光学測定システムにより、不変特性を利用して光学的に測定される。測定された姿勢は、その姿勢に対応する姿勢データを作成するのに使用される。そして、作成された姿勢データの一部が特定され、アプリケーションに（例えば前記姿勢データの一部が命令データ又は入力データとして機能するユーザアプリケーション）に送信される。長寸の物体はその先端が前記表面と接触しながら動くので、長寸の物体の姿勢は、前記動作を所望する時間分解能で測定するために、十分に頻回の測定時間ｔｉで定期的に測定される。 （もっと読む）

【課題】 人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いローピングなどの程度の測定・評価評価が可能となる測定・評価方法等を提供する。
【解決手段】
所定の入射角で、メタルイハライド光源１２が測定対象の表面に光を照射する工程と、入射角に略等しい反射角に対応させた角度上で表面から反射される光をＣＣＤカメラ１５が受光し、反射光を光の強度の分布のデータに変換する工程と、そのデータに基づいて、表面の光の強度変化を指標として演算装置１７が算出する工程とを有するものである。 （もっと読む）