【課題】
従来この種の装置としては不動部として気中に張力をかけた基準線を懸架することで構成しているが、基準線は自重による弛みと風圧による揺動の他、温度変化による伸縮変化が起こり本来不動点であるべき基準線の位置変化が発生して計測精度が著しく低下するという問題がある。
【解決手段】
変位計測部位を中間に位置する不動点間に設置された液路と、この液路内に貯留された液体と、この液体に浸かって且つ前期液路に沿って非接触収納され両端部をそれぞれ前記不動点に支持された浮梁構造体と、前記変位計測部位に設けられ前記浮梁構造体の中間部に対応位置し前記変位計測部位と浮梁構造体との間の変位を計測する非接触変位センサとから構成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】底側に開口部を有する筒状の空間と空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、空間に連通する通気孔を有し、通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、テーパー部を空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、第１の部材と第２の部材との間隙および第２の部材とテーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】物体表面の凹凸を検出する凹凸検出器を提供する。また，凹凸検出器で凹凸を検出するための凹凸検出方法を提供する。
【解決手段】内部に流体Ｆを持ち，圧力を受けて変形する受圧シートＳＲと，内部の圧力を保つための保圧シートＳＫと，受圧シートに加わる圧力が変化したときに発生する流体Ｆとの相対的な動きを検出する変形検出手段Ｄと，を有する。物体の凹凸を検出する凹凸検出方法であって，上記凹凸検出器を，前記物体の表面に当接した状態で該凹凸検出器と該物体とを相対移動させる。 （もっと読む）