位置ズレ検出装置
【課題】低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】底側に開口部を有する筒状の空間と空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、空間に連通する通気孔を有し、通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、テーパー部を空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、第１の部材と第２の部材との間隙および第２の部材とテーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えるようにした。
【解決手段】底側に開口部を有する筒状の空間と空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、空間に連通する通気孔を有し、通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、テーパー部を空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、第１の部材と第２の部材との間隙および第２の部材とテーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置ズレ検出装置に係り、特に半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出等に適用して有用な位置ズレ検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体デバイスの検査装置等において、検査対象としての半導体デバイスをコネクタやバーンインボード等に着脱させる挿抜装置が用いられている。
【０００３】
即ち、ＬＳＩやＩＣ等の半導体デバイスの品質および信頼性レベルを得るために、故障メカニズムに即した試験を実施し、潜在的な欠陥を含む半導体デバイスを除去する試験としてスクリーニング試験が行われる。
【０００４】
この種のスクリーニング試験の一種としてバーンイン試験が多く実施されている。
【０００５】
このバーンイン試験は、熱耐性が比較的低い内部セル構造を有するメモリＩＣ等の半導体デバイスの初期不良を除去することを目的として行われるもので、複数の半導体デバイスを一括して高温下に曝して、高電圧を印加し、初期不良期から偶発不良期に入る半導体デバイスを測定し評価するものである。
【０００６】
バーンイン試験では、前工程において、半導体デバイスが収容されているトレイ等から半導体デバイスを取り出して、試験用の基板であるバーンインボードに設けられた複数のＩＣソケットに差し込んで装着する作業が行われる。
【０００７】
また、後工程において、試験が終了した半導体デバイスをバーンインボードから取り外して、試験結果に基づいて、トレイ等へ選別して収容する作業が行われる。
【０００８】
ところで、上述のバーンイン試験の前工程および後工程において行われる作業は、挿抜装置によって自動化されている。
【０００９】
ここで、従来の挿抜装置の概略的構成及び動作を、図１０を参照して簡単に説明する。
【００１０】
図１０に示す挿抜装置Ｍは、トレイ１１０を保持するトレイ保持部１０２と、複数のバーンインボードＢを格納して移送するバーンインボードラック１０３と、被検査体としての半導体デバイスＤを保持して移送する２組のハンドリング機構１０４，１０５と、アライメントステージ１０６が配置されている。
【００１１】
挿抜装置Ｍには、制御装置としてのホストコンピュータ１０８が接続されており、ホストコンピュータ１０８によって各種制御が行われるようになっている。
【００１２】
また、このホストコンピュータ１０８には、バーンインテスタ１０９が接続されており、バーンインテスタ１０９も、ホストコンピュータ１０８によって制御されるようになっている。バーンインボードラック１０３には、複数のバーンインボードＢが収納されており、バーンインボードラック１０３を図示しない移動機構に装着することにより、挿抜装置Ｍ内にて昇降可能に設置される。
【００１３】
そして、挿抜装置Ｍを稼働させることにより、バーンインボードラック１０３が移動機構によって昇降され、バーンインボードラック１０３の上段側から順にバーンインボードＢが引き出される。
【００１４】
次に、トレイ１１０内の半導体デバイスＤのバーンインボードＢへの装着方法について図１１を用いて説明する。トレイ保持部１０２には、複数枚のトレイ１１０が積み重なる形で配設されており、トレイ１１０内に、半導体デバイスＤが収納されている。
【００１５】
そして、挿抜装置Ｍの稼働によって、最下部のトレイ１１０は移動機構１１１により前方へ引き出され所定の位置へセットされる。そして、所定の位置にセットされたトレイ１１０からハンドリング機構１０４により半導体デバイスＤはアライメントステージ１０６へ搬送される。
【００１６】
次いで、ハンドリング機構１０５により、アライメントステージ１０６からバーンインボードＢへ搬送され、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに実装される。
【００１７】
そして、上述の一連の動作を繰り返し、バーンインボードＢ上の全てのＩＣソケットに半導体デバイスＤが装着されると、図示しないプリテスタによりバーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが電気試験される。ここで不良が発見された場合は再度装着を仕直したり、あるいは、次の半導体デバイスＤと交換したりする。
【００１８】
このような試験により、バーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが良品と判断されると、このバーンインボードＢは、バーンインボードラック１０３へ収納されて、半導体デバイスＤが装着されていない他のバーンインボードＢが引き出されて再び半導体デバイスＤの装着動作が行われる。
【００１９】
また、バーンインボードラック１０３内に、半導体デバイスＤが装着されたバーンインボードＢが満杯になると、バーンインボードラック１０３は、バーンインテスタ１０９のチャンバに入れられバーンイン試験が行われる。
【００２０】
さらに、バーンイン試験の終了後、試験済みのバーンインボードラック１０３は、再び挿抜装置Ｍに運ばれて収納される。
【００２１】
このような挿抜装置としては特開２０００−２９２４８８号公報等に示されるものなどがある。
【特許文献１】特開２０００−２９２４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
ところで、上記従来の挿抜装置において、半導体デバイスＤは、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに精度良く実装される必要がある。そのため、アライメントステージ１０６の半導体デバイスセット部は、半導体デバイスＤとのクリアランスが厳密に形成され、かつバーンインボードＢとの位置調精度も良く固定される必要がある。
【００２３】
また、アライメントステージ１０６などを所定の位置でロックするロック機構も精度よく係止させる必要がある。
【００２４】
しかしながら、ハンドリング機構１０５や移動機構１１１を動作させる際の振動等の何らかの原因によりアライメントステージ１０６やロック機構の係止位置に位置ズレを生ずる場合がある。
【００２５】
このような位置ズレを生じた際に、ハンドリング機構１０５等の運転を続けると、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに対して半導体デバイスＤが位置ズレした状態で挿抜されることとなり、半導体デバイスＤに撓みや応力が働いて故障や破損の原因となり、また、ＩＣソケットＳにも必要以上の負荷がかかりバーンインボードＢおよびＩＣソケットＳの劣化を早めるという問題があった。
【００２６】
この問題を解消するためには、上述のような位置ズレを生じた際には直ちに検出して、ハンドリング機構１０５等の運転を停止させる必要がある。
【００２７】
一方で、影響のない範囲の位置ズレであるにも関わらず挿抜装置を頻繁に停止させていたのでは試験効率が著しく低下するという不都合がある。
【００２８】
また、精度良く位置ズレを検出しようとするとコストが嵩み易いという難点もあった。
【００２９】
そこで、本発明は、低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
上記課題を解決するために、請求項１の発明に係る位置ズレ検出装置は、底側に開口部を有する筒状の空間と該空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００３１】
請求項２の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記計測手段は、流量計または圧力計で構成されることを特徴とする。
【００３２】
請求項３の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記流体の流路の途中には、レギュレータまたは真空発生器が配置されることを特徴とする。
【００３３】
請求項４の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材，前記第２の部材および前記第３の部材からなる検出ユニットを複数備えることを特徴とする。
【００３４】
請求項５の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記各検出ユニットは、１または２以上の前記計測手段を備え、前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出することを特徴とする。
【００３５】
請求項６の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えることを特徴とする。
【００３６】
請求項７の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第２の部材を前記第３の部材側に付勢する付勢手段をさらに備えることを特徴とする。
【００３７】
請求項８の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材と前記第３の部材との接触面には、突起が形成またはスペーサが介在されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば以下の効果を奏することができる。
【００３９】
すなわち、請求項１に記載の発明によれば、計測手段による流体の流量または圧力の計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４０】
請求項２に記載の発明によれば、計測手段は、流量計または圧力計で構成されるのでコストを低減できるという効果がある。
【００４１】
請求項３に記載の発明によれば、流体の流路の途中にレギュレータまたは真空発生器が配置されているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４２】
請求項４に記載の発明によれば、第１の部材，第２の部材および第３の部材からなる検出ユニットを複数備えているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４３】
請求項５に記載の発明によれば、各検出ユニットは、１または２以上の計測手段を備え、検出ユニットの少なくとも一方における第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４４】
請求項６に記載の発明によれば、検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、計測手段で計測された流体の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えているので、的確に位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４５】
請求項７に記載の発明によれば、付勢手段により球状または円錐状の第２の部材が第３の部材が有するテーパー部側に付勢されているので、求心性を高め原点へ復帰し易くすることができ、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４６】
請求項８に記載の発明によれば、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。
【００４８】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要と動作を示す側方図、図２は第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の適用例を示す側面図、図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要を示す側方図、図３は本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットの概要と動作を示す側方図、図４〜図９は位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【００４９】
図１（ａ）に示すように、第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は、底側に開口部２００を有する筒状の空間２０１と、この空間２０１に連通する通気孔１ｂとを有する第１の部材Ｐ１と、この第１の部材Ｐ１の筒状の空間２０１に底側から摺動自在に収容される球状の第２の部材Ｐ２（例えば、直径１５／６４インチの鋼球等）と、空間２０１に連通する通気孔２０２を有し、この通気孔２０２の端部には空間２００側に向かって広がり第２の部材Ｐ２の一部が係合されるテーパー部Ｔが形成され、このテーパー部Ｔを空間２００に対向させた状態で第１の部材Ｐ１の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材Ｐ３とから構成されている。
【００５０】
なお、第２の部材Ｐ２は球状に限らず円錐状であってもよい。
【００５１】
テーパー部Ｔの形状も特には限定されないが、例えば図２に示すように上方に１２０度の開きを持つようにできる。
【００５２】
また、特に限定されないが、筒状の空間２０１の内径は略８ｍｍとされ、球状の第２の部材Ｐ２はこの筒状の空間２０１内に僅かなクリアランスをもって昇降可能に収容される。
【００５３】
また、空間２０１内には第２の部材Ｐ２を第３の部材Ｐ３側に付勢する付勢手段としてのスプリング４が設けられている。このスプリング４により第２の部材Ｐ２のガタつきを抑えるとともに、後述する流体の負荷に対する抗力を適当に保つことができる。
【００５４】
第３の部材Ｐ３の通気孔２０２の下端部には流体（本実施の形態では空気）を送り込む（あるいは吸い込む）ための通気部材６が係合されている。
【００５５】
なお、通気部材６を介して空気を送り込む場合には第２の部材Ｐ２に正圧が加わることとなり、逆に通気部材６を介して空気を吸い込む場合には部材Ｐ２に負圧が加わることとなるが、後述するように本発明に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は何れの場合にも位置ズレを検出することができる。
【００５６】
また、通気部材６には通気管８ａが接続され、通気管８ａは流量計（計測手段）７を介して通気管８ｂに接続され、さらに通気管８ｂは精密レギュレータ９に接続され、精密レギュレータ９は通気管８ｃを介してポンプ等の空圧源１０に接続されている。
【００５７】
また、流量計７にはマイクロコンピュータ等で構成される制御部Ｃが接続され、流量計７による計測結果が送信されるようになっている。
【００５８】
なお、流量計７に代えて圧力センサを設けるようにしてもよい。また、精密レギュレータ９と空圧源１０に代えて真空発生器を設けることもできる（負圧とする場合）。
【００５９】
ここで、特に限定はされないが、流量計７としてはＳＭＣ社製のＰＭＦ７１０Ｓ−Ｃ４−Ｃ−Ｍ（計測範囲：０〜１０Ｌ／ｍｉｎ、分解能：０．０１Ｌ／ｍｉｎ）を用いることができる。
【００６０】
また、流量計７に代えて使用可能な圧力センサとしては、キーエンス社製のＡＰ−Ｃ４０あるいはＡＰ−４４（計測範囲：１０１．３〜−１０１．３ｋＰａ、分解能：標準０．１ｋＰａ）を挙げることができる。
【００６１】
また、特に限定はされないが、精密レギュレータ９としては、ＳＭＣ社製のＩＲ２０２０−０２ＢＧ（計測範囲：０．００５〜０．８ＭＰａ、感度：１．６ｋＰａ以内、繰り返し性：±４ｋＰａ以内）を用いることができる。
【００６２】
また、精密レギュレータ９に代えて使用可能な真空発生器としては、ＰＩＳＣＯ社製のＶＧＨ１０Ｅ−６６−ＤＣ２４Ｌ（到達真空度：−９３ｋＰａ、吸込流量：２７Ｌ／ｍｉｎ）を挙げることができる。
【００６３】
そして、図１（ｂ）に示すように、例えば第３の部材Ｐ３に右方向の力Ｆが加わった場合には、第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔに沿って第２の部材Ｐ２が上方に変位すると共に第３の部材Ｐ３自体が水平方向（図上は右側）に位置ズレ量Ｚ１で移動する。
【００６４】
これにより、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔとの間に空気が流通可能な空隙６００が形成される。なお、確実に流体が流通するように、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３との接触面に、突起が形成またはスペーサが介在されるようにすると良い。
【００６５】
図１（ａ）の構成によれば、第２の部材Ｐ２には通気部材６を介して正圧の空気が供給されており、空隙６００に対応した空気が外部に放出される。これにより、流量計７で流出する空気量が測定され、その測定値が制御部Ｃに送られる。
【００６６】
制御部Ｃは、内蔵する記憶装置（例えば、フラッシュメモリ等：閾値格納手段）に所定の閾値と判定プログラム等を格納しており、流量計７で計測された流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定している。
【００６７】
そして、制御部Ｃで流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたと判定された場合には、所定の位置ズレを検出したものとして、特定の機器（特には限定されない）等の動作を停止させる等の措置をとることができる。
【００６８】
なお、検出できる位置ズレの方向は水平面であれば特に制限はなく、左右方向（Ｘ，Ｙ方向）の何れの方向に第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３が位置ズレを生じても検出することができる。
【００６９】
また、後述する第２の実施の形態によれば第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３のθ方向（回転方向）の位置ズレも検出可能である。
【００７０】
ここで、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１の適用例を図２を参照して説明する。
【００７１】
図２では、例えば半導体デバイス等を載置するステージ部５００が第１の部材Ｐ１と一体的に形成され、第３の部材Ｐ３は水平方向に延設される板状部Ｅに連結されている。
【００７２】
また、ステージ部５００はロック機構Ｌにより解除可能に係止されている。
【００７３】
そして、何らかの影響によりステージ部５００または板状部Ｅに水平方向の力が加わった場合には、位置ズレ検出装置Ｍ１によりその位置ズレ量が流体（空気）の流量変化（或いは圧力変化）として検出され、所定の閾値を超えた場合には位置ズレを検出したとして、例えば半導体デバイスの移送装置を停止させたり、ロック機構Ｌを解除して位置合わせを行う等の措置をとることができる。
【００７４】
次に、図３を参照して本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵについて説明する。
【００７５】
本実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵは、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍを２個並設した構成となっている。
【００７６】
即ち、図３（ａ）に示す例では、位置ズレ検出装置Ｍ１とＭ２が左右に並設され、一つの第３の部材Ｐ３Ａが共有されるようになっている。
【００７７】
また、第３の部材Ｐ３Ａに形成される通気孔２０２Ａ，２０２Ｂにはそれぞれ通気部材６Ａ，６Ｂが接続され、通気管８ａを介して流量計７（或いは圧力センサ）に接続されており、制御部Ｃに電気的に接続されている。
【００７８】
この第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵによれば、例えば図３（ｂ）に示すように、位置ズレ検出装置Ｍ１の第２の部材Ｐ２Ａの中心軸Ｊ１を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレが第３の部材Ｐ３Ａに生じた場合に、位置ズレ検出装置Ｍ１では第２の部材Ｐ２Ａは変位しないので流体の放出は生じない。しかし、一方の位置ズレ検出装置Ｍ２において位置ズレ量Ｚ２の変位が生じるので、位置ズレ検出装置Ｍ２から放出される流体（空気）の流量あるいは圧力を計測することにより、水平面で生じた回転角θの位置ズレを検出することができる。
【００７９】
また、同様に位置ズレ検出装置Ｍ２側の第２の部材Ｐ２Ｂの中心軸Ｊ２を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレも検出することができる。
【００８０】
次に、図４〜図１０に、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍおよび第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵにおけるズレ量と圧力あるいは流量との関係を示す。
【００８１】
図４の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８２】
図５の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８３】
図６の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８４】
図７の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８５】
図８の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８６】
図９の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、圧力を計測（１０回）した結果を示している。
【００８７】
各図のグラフを参照すると分かるように、ズレ量と流量或いは圧力は略比例しており、本発明によれば、第１の部材Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）と第３の部材Ｐ３（Ｐ３Ａ）の位置ズレを的確に検出することができることが分かる。
【００８８】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって開示された技術に限定されるものではないと考えるべきである。即ち、本発明の技術的な範囲は、上記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載に従って解釈すべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲内でのすべての変更が含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明による位置ズレ検出装置は、半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要と動作を示す側方図である。
【図２】第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の適用例を示す側面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要を示す側方図である。
【図４】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図５】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図６】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図７】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図８】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図９】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図１０】挿抜装置の構成を示す斜視図である。
【図１１】挿抜装置の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
【００９１】
Ｃ 制御部（判定手段）
６００ 空隙
Ｅ 板状部
Ｊ１，Ｊ２ 中心軸
Ｌ ロック機構
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２ 位置ズレ検出装置
Ｕ 位置ズレ検出ユニット
Ｐ１，Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ 第１の部材
Ｐ２，Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ 第２の部材
Ｐ３，Ｐ３Ａ 第３の部材
５００ ステージ部
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置ズレ検出装置に係り、特に半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出等に適用して有用な位置ズレ検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体デバイスの検査装置等において、検査対象としての半導体デバイスをコネクタやバーンインボード等に着脱させる挿抜装置が用いられている。
【０００３】
即ち、ＬＳＩやＩＣ等の半導体デバイスの品質および信頼性レベルを得るために、故障メカニズムに即した試験を実施し、潜在的な欠陥を含む半導体デバイスを除去する試験としてスクリーニング試験が行われる。
【０００４】
この種のスクリーニング試験の一種としてバーンイン試験が多く実施されている。
【０００５】
このバーンイン試験は、熱耐性が比較的低い内部セル構造を有するメモリＩＣ等の半導体デバイスの初期不良を除去することを目的として行われるもので、複数の半導体デバイスを一括して高温下に曝して、高電圧を印加し、初期不良期から偶発不良期に入る半導体デバイスを測定し評価するものである。
【０００６】
バーンイン試験では、前工程において、半導体デバイスが収容されているトレイ等から半導体デバイスを取り出して、試験用の基板であるバーンインボードに設けられた複数のＩＣソケットに差し込んで装着する作業が行われる。
【０００７】
また、後工程において、試験が終了した半導体デバイスをバーンインボードから取り外して、試験結果に基づいて、トレイ等へ選別して収容する作業が行われる。
【０００８】
ところで、上述のバーンイン試験の前工程および後工程において行われる作業は、挿抜装置によって自動化されている。
【０００９】
ここで、従来の挿抜装置の概略的構成及び動作を、図１０を参照して簡単に説明する。
【００１０】
図１０に示す挿抜装置Ｍは、トレイ１１０を保持するトレイ保持部１０２と、複数のバーンインボードＢを格納して移送するバーンインボードラック１０３と、被検査体としての半導体デバイスＤを保持して移送する２組のハンドリング機構１０４，１０５と、アライメントステージ１０６が配置されている。
【００１１】
挿抜装置Ｍには、制御装置としてのホストコンピュータ１０８が接続されており、ホストコンピュータ１０８によって各種制御が行われるようになっている。
【００１２】
また、このホストコンピュータ１０８には、バーンインテスタ１０９が接続されており、バーンインテスタ１０９も、ホストコンピュータ１０８によって制御されるようになっている。バーンインボードラック１０３には、複数のバーンインボードＢが収納されており、バーンインボードラック１０３を図示しない移動機構に装着することにより、挿抜装置Ｍ内にて昇降可能に設置される。
【００１３】
そして、挿抜装置Ｍを稼働させることにより、バーンインボードラック１０３が移動機構によって昇降され、バーンインボードラック１０３の上段側から順にバーンインボードＢが引き出される。
【００１４】
次に、トレイ１１０内の半導体デバイスＤのバーンインボードＢへの装着方法について図１１を用いて説明する。トレイ保持部１０２には、複数枚のトレイ１１０が積み重なる形で配設されており、トレイ１１０内に、半導体デバイスＤが収納されている。
【００１５】
そして、挿抜装置Ｍの稼働によって、最下部のトレイ１１０は移動機構１１１により前方へ引き出され所定の位置へセットされる。そして、所定の位置にセットされたトレイ１１０からハンドリング機構１０４により半導体デバイスＤはアライメントステージ１０６へ搬送される。
【００１６】
次いで、ハンドリング機構１０５により、アライメントステージ１０６からバーンインボードＢへ搬送され、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに実装される。
【００１７】
そして、上述の一連の動作を繰り返し、バーンインボードＢ上の全てのＩＣソケットに半導体デバイスＤが装着されると、図示しないプリテスタによりバーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが電気試験される。ここで不良が発見された場合は再度装着を仕直したり、あるいは、次の半導体デバイスＤと交換したりする。
【００１８】
このような試験により、バーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが良品と判断されると、このバーンインボードＢは、バーンインボードラック１０３へ収納されて、半導体デバイスＤが装着されていない他のバーンインボードＢが引き出されて再び半導体デバイスＤの装着動作が行われる。
【００１９】
また、バーンインボードラック１０３内に、半導体デバイスＤが装着されたバーンインボードＢが満杯になると、バーンインボードラック１０３は、バーンインテスタ１０９のチャンバに入れられバーンイン試験が行われる。
【００２０】
さらに、バーンイン試験の終了後、試験済みのバーンインボードラック１０３は、再び挿抜装置Ｍに運ばれて収納される。
【００２１】
このような挿抜装置としては特開２０００−２９２４８８号公報等に示されるものなどがある。
【特許文献１】特開２０００−２９２４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
ところで、上記従来の挿抜装置において、半導体デバイスＤは、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに精度良く実装される必要がある。そのため、アライメントステージ１０６の半導体デバイスセット部は、半導体デバイスＤとのクリアランスが厳密に形成され、かつバーンインボードＢとの位置調精度も良く固定される必要がある。
【００２３】
また、アライメントステージ１０６などを所定の位置でロックするロック機構も精度よく係止させる必要がある。
【００２４】
しかしながら、ハンドリング機構１０５や移動機構１１１を動作させる際の振動等の何らかの原因によりアライメントステージ１０６やロック機構の係止位置に位置ズレを生ずる場合がある。
【００２５】
このような位置ズレを生じた際に、ハンドリング機構１０５等の運転を続けると、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに対して半導体デバイスＤが位置ズレした状態で挿抜されることとなり、半導体デバイスＤに撓みや応力が働いて故障や破損の原因となり、また、ＩＣソケットＳにも必要以上の負荷がかかりバーンインボードＢおよびＩＣソケットＳの劣化を早めるという問題があった。
【００２６】
この問題を解消するためには、上述のような位置ズレを生じた際には直ちに検出して、ハンドリング機構１０５等の運転を停止させる必要がある。
【００２７】
一方で、影響のない範囲の位置ズレであるにも関わらず挿抜装置を頻繁に停止させていたのでは試験効率が著しく低下するという不都合がある。
【００２８】
また、精度良く位置ズレを検出しようとするとコストが嵩み易いという難点もあった。
【００２９】
そこで、本発明は、低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
上記課題を解決するために、請求項１の発明に係る位置ズレ検出装置は、底側に開口部を有する筒状の空間と該空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００３１】
請求項２の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記計測手段は、流量計または圧力計で構成されることを特徴とする。
【００３２】
請求項３の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記流体の流路の途中には、レギュレータまたは真空発生器が配置されることを特徴とする。
【００３３】
請求項４の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材，前記第２の部材および前記第３の部材からなる検出ユニットを複数備えることを特徴とする。
【００３４】
請求項５の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記各検出ユニットは、１または２以上の前記計測手段を備え、前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出することを特徴とする。
【００３５】
請求項６の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えることを特徴とする。
【００３６】
請求項７の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第２の部材を前記第３の部材側に付勢する付勢手段をさらに備えることを特徴とする。
【００３７】
請求項８の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材と前記第３の部材との接触面には、突起が形成またはスペーサが介在されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば以下の効果を奏することができる。
【００３９】
すなわち、請求項１に記載の発明によれば、計測手段による流体の流量または圧力の計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４０】
請求項２に記載の発明によれば、計測手段は、流量計または圧力計で構成されるのでコストを低減できるという効果がある。
【００４１】
請求項３に記載の発明によれば、流体の流路の途中にレギュレータまたは真空発生器が配置されているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４２】
請求項４に記載の発明によれば、第１の部材，第２の部材および第３の部材からなる検出ユニットを複数備えているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４３】
請求項５に記載の発明によれば、各検出ユニットは、１または２以上の計測手段を備え、検出ユニットの少なくとも一方における第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４４】
請求項６に記載の発明によれば、検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、計測手段で計測された流体の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えているので、的確に位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４５】
請求項７に記載の発明によれば、付勢手段により球状または円錐状の第２の部材が第３の部材が有するテーパー部側に付勢されているので、求心性を高め原点へ復帰し易くすることができ、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【００４６】
請求項８に記載の発明によれば、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。
【００４８】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要と動作を示す側方図、図２は第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の適用例を示す側面図、図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要を示す側方図、図３は本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットの概要と動作を示す側方図、図４〜図９は位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【００４９】
図１（ａ）に示すように、第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は、底側に開口部２００を有する筒状の空間２０１と、この空間２０１に連通する通気孔１ｂとを有する第１の部材Ｐ１と、この第１の部材Ｐ１の筒状の空間２０１に底側から摺動自在に収容される球状の第２の部材Ｐ２（例えば、直径１５／６４インチの鋼球等）と、空間２０１に連通する通気孔２０２を有し、この通気孔２０２の端部には空間２００側に向かって広がり第２の部材Ｐ２の一部が係合されるテーパー部Ｔが形成され、このテーパー部Ｔを空間２００に対向させた状態で第１の部材Ｐ１の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材Ｐ３とから構成されている。
【００５０】
なお、第２の部材Ｐ２は球状に限らず円錐状であってもよい。
【００５１】
テーパー部Ｔの形状も特には限定されないが、例えば図２に示すように上方に１２０度の開きを持つようにできる。
【００５２】
また、特に限定されないが、筒状の空間２０１の内径は略８ｍｍとされ、球状の第２の部材Ｐ２はこの筒状の空間２０１内に僅かなクリアランスをもって昇降可能に収容される。
【００５３】
また、空間２０１内には第２の部材Ｐ２を第３の部材Ｐ３側に付勢する付勢手段としてのスプリング４が設けられている。このスプリング４により第２の部材Ｐ２のガタつきを抑えるとともに、後述する流体の負荷に対する抗力を適当に保つことができる。
【００５４】
第３の部材Ｐ３の通気孔２０２の下端部には流体（本実施の形態では空気）を送り込む（あるいは吸い込む）ための通気部材６が係合されている。
【００５５】
なお、通気部材６を介して空気を送り込む場合には第２の部材Ｐ２に正圧が加わることとなり、逆に通気部材６を介して空気を吸い込む場合には部材Ｐ２に負圧が加わることとなるが、後述するように本発明に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は何れの場合にも位置ズレを検出することができる。
【００５６】
また、通気部材６には通気管８ａが接続され、通気管８ａは流量計（計測手段）７を介して通気管８ｂに接続され、さらに通気管８ｂは精密レギュレータ９に接続され、精密レギュレータ９は通気管８ｃを介してポンプ等の空圧源１０に接続されている。
【００５７】
また、流量計７にはマイクロコンピュータ等で構成される制御部Ｃが接続され、流量計７による計測結果が送信されるようになっている。
【００５８】
なお、流量計７に代えて圧力センサを設けるようにしてもよい。また、精密レギュレータ９と空圧源１０に代えて真空発生器を設けることもできる（負圧とする場合）。
【００５９】
ここで、特に限定はされないが、流量計７としてはＳＭＣ社製のＰＭＦ７１０Ｓ−Ｃ４−Ｃ−Ｍ（計測範囲：０〜１０Ｌ／ｍｉｎ、分解能：０．０１Ｌ／ｍｉｎ）を用いることができる。
【００６０】
また、流量計７に代えて使用可能な圧力センサとしては、キーエンス社製のＡＰ−Ｃ４０あるいはＡＰ−４４（計測範囲：１０１．３〜−１０１．３ｋＰａ、分解能：標準０．１ｋＰａ）を挙げることができる。
【００６１】
また、特に限定はされないが、精密レギュレータ９としては、ＳＭＣ社製のＩＲ２０２０−０２ＢＧ（計測範囲：０．００５〜０．８ＭＰａ、感度：１．６ｋＰａ以内、繰り返し性：±４ｋＰａ以内）を用いることができる。
【００６２】
また、精密レギュレータ９に代えて使用可能な真空発生器としては、ＰＩＳＣＯ社製のＶＧＨ１０Ｅ−６６−ＤＣ２４Ｌ（到達真空度：−９３ｋＰａ、吸込流量：２７Ｌ／ｍｉｎ）を挙げることができる。
【００６３】
そして、図１（ｂ）に示すように、例えば第３の部材Ｐ３に右方向の力Ｆが加わった場合には、第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔに沿って第２の部材Ｐ２が上方に変位すると共に第３の部材Ｐ３自体が水平方向（図上は右側）に位置ズレ量Ｚ１で移動する。
【００６４】
これにより、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔとの間に空気が流通可能な空隙６００が形成される。なお、確実に流体が流通するように、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３との接触面に、突起が形成またはスペーサが介在されるようにすると良い。
【００６５】
図１（ａ）の構成によれば、第２の部材Ｐ２には通気部材６を介して正圧の空気が供給されており、空隙６００に対応した空気が外部に放出される。これにより、流量計７で流出する空気量が測定され、その測定値が制御部Ｃに送られる。
【００６６】
制御部Ｃは、内蔵する記憶装置（例えば、フラッシュメモリ等：閾値格納手段）に所定の閾値と判定プログラム等を格納しており、流量計７で計測された流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定している。
【００６７】
そして、制御部Ｃで流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたと判定された場合には、所定の位置ズレを検出したものとして、特定の機器（特には限定されない）等の動作を停止させる等の措置をとることができる。
【００６８】
なお、検出できる位置ズレの方向は水平面であれば特に制限はなく、左右方向（Ｘ，Ｙ方向）の何れの方向に第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３が位置ズレを生じても検出することができる。
【００６９】
また、後述する第２の実施の形態によれば第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３のθ方向（回転方向）の位置ズレも検出可能である。
【００７０】
ここで、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１の適用例を図２を参照して説明する。
【００７１】
図２では、例えば半導体デバイス等を載置するステージ部５００が第１の部材Ｐ１と一体的に形成され、第３の部材Ｐ３は水平方向に延設される板状部Ｅに連結されている。
【００７２】
また、ステージ部５００はロック機構Ｌにより解除可能に係止されている。
【００７３】
そして、何らかの影響によりステージ部５００または板状部Ｅに水平方向の力が加わった場合には、位置ズレ検出装置Ｍ１によりその位置ズレ量が流体（空気）の流量変化（或いは圧力変化）として検出され、所定の閾値を超えた場合には位置ズレを検出したとして、例えば半導体デバイスの移送装置を停止させたり、ロック機構Ｌを解除して位置合わせを行う等の措置をとることができる。
【００７４】
次に、図３を参照して本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵについて説明する。
【００７５】
本実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵは、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍを２個並設した構成となっている。
【００７６】
即ち、図３（ａ）に示す例では、位置ズレ検出装置Ｍ１とＭ２が左右に並設され、一つの第３の部材Ｐ３Ａが共有されるようになっている。
【００７７】
また、第３の部材Ｐ３Ａに形成される通気孔２０２Ａ，２０２Ｂにはそれぞれ通気部材６Ａ，６Ｂが接続され、通気管８ａを介して流量計７（或いは圧力センサ）に接続されており、制御部Ｃに電気的に接続されている。
【００７８】
この第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵによれば、例えば図３（ｂ）に示すように、位置ズレ検出装置Ｍ１の第２の部材Ｐ２Ａの中心軸Ｊ１を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレが第３の部材Ｐ３Ａに生じた場合に、位置ズレ検出装置Ｍ１では第２の部材Ｐ２Ａは変位しないので流体の放出は生じない。しかし、一方の位置ズレ検出装置Ｍ２において位置ズレ量Ｚ２の変位が生じるので、位置ズレ検出装置Ｍ２から放出される流体（空気）の流量あるいは圧力を計測することにより、水平面で生じた回転角θの位置ズレを検出することができる。
【００７９】
また、同様に位置ズレ検出装置Ｍ２側の第２の部材Ｐ２Ｂの中心軸Ｊ２を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレも検出することができる。
【００８０】
次に、図４〜図１０に、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍおよび第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵにおけるズレ量と圧力あるいは流量との関係を示す。
【００８１】
図４の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８２】
図５の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８３】
図６の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８４】
図７の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８５】
図８の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。
【００８６】
図９の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、圧力を計測（１０回）した結果を示している。
【００８７】
各図のグラフを参照すると分かるように、ズレ量と流量或いは圧力は略比例しており、本発明によれば、第１の部材Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）と第３の部材Ｐ３（Ｐ３Ａ）の位置ズレを的確に検出することができることが分かる。
【００８８】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって開示された技術に限定されるものではないと考えるべきである。即ち、本発明の技術的な範囲は、上記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載に従って解釈すべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲内でのすべての変更が含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明による位置ズレ検出装置は、半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要と動作を示す側方図である。
【図２】第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の適用例を示す側面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要を示す側方図である。
【図４】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図５】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図６】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図７】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図８】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図９】位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。
【図１０】挿抜装置の構成を示す斜視図である。
【図１１】挿抜装置の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
【００９１】
Ｃ 制御部（判定手段）
６００ 空隙
Ｅ 板状部
Ｊ１，Ｊ２ 中心軸
Ｌ ロック機構
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２ 位置ズレ検出装置
Ｕ 位置ズレ検出ユニット
Ｐ１，Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ 第１の部材
Ｐ２，Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ 第２の部材
Ｐ３，Ｐ３Ａ 第３の部材
５００ ステージ部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底側に開口部を有する筒状の空間と該空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、
該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、
前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、
前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、
該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする位置ズレ検出装置。
【請求項２】
前記計測手段は、流量計または圧力計で構成されることを特徴とする請求項１に記載の位置ズレ検出装置。
【請求項３】
前記流体の流路の途中には、レギュレータまたは真空発生器が配置されることを特徴とする請求項１または請求項２の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項４】
前記第１の部材，前記第２の部材および前記第３の部材からなる検出ユニットを複数備えることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項５】
前記各検出ユニットは、１または２以上の前記計測手段を備え、
前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する、
ことを特徴とする請求項４に記載の位置ズレ検出装置。
【請求項６】
前記検出手段は、
所定の閾値を格納する閾値格納手段と、
前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項７】
前記第２の部材を前記第３の部材側に付勢する付勢手段をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項６の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項８】
前記第１の部材と前記第３の部材との接触面には、突起が形成またはスペーサが介在されることを特徴とする請求項１から請求項７の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項１】
底側に開口部を有する筒状の空間と該空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、
該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、
前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、
前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、
該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする位置ズレ検出装置。
【請求項２】
前記計測手段は、流量計または圧力計で構成されることを特徴とする請求項１に記載の位置ズレ検出装置。
【請求項３】
前記流体の流路の途中には、レギュレータまたは真空発生器が配置されることを特徴とする請求項１または請求項２の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項４】
前記第１の部材，前記第２の部材および前記第３の部材からなる検出ユニットを複数備えることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項５】
前記各検出ユニットは、１または２以上の前記計測手段を備え、
前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する、
ことを特徴とする請求項４に記載の位置ズレ検出装置。
【請求項６】
前記検出手段は、
所定の閾値を格納する閾値格納手段と、
前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項７】
前記第２の部材を前記第３の部材側に付勢する付勢手段をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項６の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【請求項８】
前記第１の部材と前記第３の部材との接触面には、突起が形成またはスペーサが介在されることを特徴とする請求項１から請求項７の何れかに記載の位置ズレ検出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００９−１３３６６９（Ｐ２００９−１３３６６９Ａ）
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３０８６４５（Ｐ２００７−３０８６４５）
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（５９２１３６４４０）エスティケイテクノロジー株式会社 (8)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（５９２１３６４４０）エスティケイテクノロジー株式会社 (8)
【Ｆターム（参考）】
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