【課題】各種の内径を高精度に測定可能なエアーマイクロメータの実現。
【解決手段】円筒状の筐体31と、外周面にエアー噴出し口をそれぞれ有する少なくとも１組のヘッド部材21A,21Bと、筐体に取り付けられ、少なくとも１組のヘッド部材を保持する少なくとも１組のヘッド保持機構32A,33AA,33AB;32B,33BA,33BBと、少なくとも１組のヘッド部材の中心軸に対する位置を変化させるヘッド位置変化機構41と、少なくとも１組のヘッド部材のエアー噴出し口にエアーを供給するエアー供給機構Pと、を有し、少なくとも１組のヘッド保持機構のそれぞれは、筐体に取り付けられる基材32A,32Bと、基材とヘッド部材を連結する平行な２枚の板バネ33AA,33AB;33BA,33BBと、を有し、ヘッド部材を筐体の中心軸に垂直な方向にのみ移動可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】エアマイクロメータの測定ヘッドにおいて、部品の交換が可能でありながら、精度の高い測定を可能とさせる。
【解決手段】エアの流入口２１が形成されているリング状の外側部材２と、この外側部材２の内周側に取り付けられているリング状の内側部材３とを備えている。内側部材３の内周には、被測定物Ｗを取り囲んで案内するガイド面、及び、流入口２１に流入したエアを被測定物Ｗに噴射するノズル口３１が形成されている。内側部材３と外側部材２とは締まり嵌めの状態にあり、内側部材３は、単一の部材として製造されており、当該単一の部材に、ノズル口３１とガイド面とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内で使用するために、ウェーハのプロファイルの局所的相違を測定する感度が上昇した気体ゲージを提供する。
【解決手段】気体ゲージは、オブジェクトまでの距離を割り出すように配置された気体送出管を有する。気体送出管は気体導管を含み、これを通して適切な測定気体が供給される。測定気体は、圧力下で出口を介して気体送出管を出て、相互作用領域内のオブジェクトに衝突し、跳ね返った気体の圧力が圧力検出器によって測定される。小さい原子番号を有する気体を使用することができる。圧力センサは気体出口で、又はその付近で気体導管を少なくとも部分的に囲む気体送出管内に配置された薄膜を含むことができる。圧力センサは気体導管の周囲に配置された薄膜ディスクを含むことができる。圧力センサは、実質的に共通の面に配置され、気体導管から隔置されるが、それでもそれを囲むことができる適切な複数の圧力要素を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】適切な周波数応答を有用な低圧で、かつ、有用な感度で出力し、また、チャンバ圧力の遠隔センシングを容易にするガスゲージ近接センサを提供する
【解決手段】圧力センサに結合された流体支援ガスゲージによれば、広い帯域幅で近接測定を実施することができる。ガス充填測定チャンバおよび流体充填伝達チャンバを備え、かつ、これらの２つのチャンバを分離しているダイヤフラムを備えた２チャンバガスゲージによって被測定表面にガスが排気され、その一方で非圧縮性流体によって圧力センサに圧力が伝達される。ガスゲージのガス体積を最小化することによって応答時間が短縮される。さらに、非圧縮性流体を使用することにより、応答時間性能を犠牲にすることなく、測定点から離れた場所に圧力センサを配置することができる。一実施形態では、流体支援ガスゲージの差動ブリッジバージョンが同相モードの影響を小さくしている。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】 ガイドシャフトでガイドされた可動部を有する可動装置に設けられ、可動部が基準位置に存在するのか否かを検出する位置検出装置を提供する。
【解決方法】 エアセンサ３０（位置検出装置）は、コマ１８とブッシュ４０とエア流路２８と圧力計２６を備えている。コマ１８は、ガイドシャフト１２に略同軸に設けられ、ガイドシャフト１２よりも大径である大径部１８ａを有し、ガイドシャフト１２に対して揺動可能に支持されている。ブッシュ４０は、貫通孔４２が形成され、可動部１０が基準位置に達したときにコマ１８の大径部１８ａが貫通孔４２に入る位置に固定されている。エア流路２８は、外部から供給されるエア（流体）を貫通孔４２内に供給している。圧力計２６は、エアの圧力を監視している。リフタ装置２では、エアセンサ３０を用いて可動部１０の位置を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の位置を検出することができるとともに、被測定物の表面形状を測定して報知することができ、加工穴の穴径及び穴の中心間距離を容易に測定することができる工作機械における被測定物の表面形状判定装置を提供する。
【解決手段】加工されたワークＷに対して、エア噴射ノズル２３の先端面を所定間隔ｈだけ離隔した状態で、エア噴射ノズル２３をＸ軸方向に一定の速度で移動すると共に、ノズル本体２７の噴射孔２７ａからエアを噴射し、ワークＷの加工された穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２を通るように移動する。圧力測定器３０によって、圧力変動が測定される。この測定されたＸ軸座標に対する圧力の曲線Ｌｘの傾斜部Ｌｄ，Ｌｕの中心点Ｔ１，Ｔ２の座標に基づいて、穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２のＸ座標、穴径Ｅ及び穴の中心間距離Ｄ１を演算する。 （もっと読む）