【課題】一つのワークに対する測定時間を短縮できるとともに、設置スペースと装置コストとを減らすことができる測定装置を提供する。
【解決手段】台座部２１、および台座部２１より突出しワークＷを所定の姿勢で支持するピン２１ｂ・２１ｂ・・・が形成される治具２０と、治具２０が載置され、ワークＷの重量を測定可能な一対の重量計１０・１０と、ピン２１ｂ・２１ｂ・・・でワークＷを支持したときに、小端孔Ｗ２１および大端孔Ｗ３１との間にクリアランスＣが形成されるとともに、治具２０に一体的に形成される測定ヘッド４０・４０を備え、クリアランスＣを測定することにより、小端孔Ｗ２１および大端孔Ｗ３１の内径を測定可能な一対の径測定機構３０・３０と、を具備し、ピン２１ｂ・２１ｂ・・・がワークＷを支持した後で、一対の重量計１０・１０による測定と、一対の径測定機構３０・３０による測定と、を同時に行う。 （もっと読む）

【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

【課題】 異物除去が容易なワーク検知装置を提供する。
【解決手段】 ワークＷに対向して配置された装置本体１０１にエア噴出孔１０４を設けるとともに、このエア噴出孔１０４を、前記装置本体と前記ワークとの相対移動により前記装置本体に当接した前記ワークよって閉塞されるように前記装置本体に配置し、ワークＷと装置本体１０１との相対移動にともなう前記エア噴出孔１０４内のエアの圧力の変化に基づき装置本体へのワークの当接を検知するワーク検知装置において、装置本体１０１の外周面に凹溝１０１ｃを形成し、この凹溝に、エア噴出孔１０４を連通させ、前記凹溝を外周側から閉塞するシール部材１０８を前記装置本体の外周面に着脱自在に取り付け、閉塞状態の凹溝内に圧縮エアを供給することでエア噴出孔１０４からエアを噴出させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ブローを停止してからワークの着座状況を検出するまでに要する時間を短くし、しかも誤信号を出力しない位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧縮検出エアを導く検出流路２２と、圧縮ブローエアを導くブロー流路２３と、テーブルに形成した噴出口に接続する共通流路２８と、検出流路２２およびブロー流路２３のいずれか一方を共通流路２８に連通させ、いずれか他方を共通流路２８から遮断する切換弁２９と、検出流路２２の圧力を検出する圧力検出部Ｓと、検出流路２２、ブロー流路２３および共通流路２８のいずれか１または複数を大気に連通するとともに、当該流路内に滞留する圧縮ブローエアを大気に排出する排気手段３０とを備えた位置確認装置において、上記切換弁２９を、制御機器からの信号に応じて切り換え動作する電磁切換弁で構成する。 （もっと読む）

【課題】例えばＦＰＤ用ガラス基板などにおいて、非接触、非破壊で、高精度に高速で表面形状を測定し、ソリなどの不具合を検出することが可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定部材１を載置するためのステージ２と、被測定部材１の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ３と、複数のエアースキャナ３を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部５と、各複数のエアースキャナ３に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部７と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第２のデータ処理部８を備える。 （もっと読む）

【課題】内径加工機の前工程において、ワークの未加工を判別し、内径加工機の後工程において、ワークの加工ずみの判別を、省スペース、低価格、高精度に行うことができる内径加工ワーク判別装置を提供。
【解決手段】内径加工機の前と後に、ワーク内８に小径部６を有する未加工測定ピン４を嵌合させ複数個のノズル３がワーク内８に開口する位置まで押し下げて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第１の圧力を越えたとき、未加工ワークと判別する未加工ワーク判別装置10と、ワーク内28に小径部26を有する加工済み測定ピン24を嵌合させて複数個のノズル23がワーク内28に開口する位置までリング35が上昇させられて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第２の圧力以下であるとき、加工済みワークと判別する加工済みワーク判別装置20と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 高精度、且つ短時間で検査ができるので製造ラインに組み込むことができる面粗さ測定方法およびその装置を目的とするものである。
【解決手段】 一定圧力の流体が供給される中空ヘッド１の開口２により被検査面の所要領域を圧接封鎖し、流体が被検査面に圧接された中空ヘッド１の開口端縁と被検査面の面粗度により生じる隙間から流出する際、面粗度に基づく隙間の総面積によって変動する流出流体の流量または流体圧力に基づいて面粗さを検査する方法及び被検査面の所要領域を圧接封鎖する開口を設けた中空ヘッド１に、該中空ヘッド１内を一定圧力とする流体供給機構３を接続し前記中空ヘッド１に供給された流体が被検査面に圧接された中空ヘッド１の開口端縁と被検査面の面粗度により生じる隙間から流出する際、面粗度に基づく隙間の総面積によって変動する流出流体の流量または流体圧力の変化を検出する流量または圧力検出機構５を設けた装置である。 （もっと読む）

【課題】 ワークの位置合わせにかかる時間を低減させることができるワーク保持位置検出システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係るワーク保持位置検出システムは、設定位置に保持されたワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接する位置に配置された流体吹き出し口１２と、流体吹き出し口１２から流出する流量を検出するセンサと、このセンサで検出された流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを判断する演算ユニットと、を備えている。ワークＷが設定位置に保持されていると、流体吹き出し口１２はワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接しているので、流体吹き出し口１２から流出する流量は少ない。従って、この流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを演算ユニットで判断することができる。 （もっと読む）

【課題】エアゲージが常に有利な離隔距離で作動し、そのパフォーマンス及び有益な測定範囲を最大にするように、測定を行える方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】対象の表面までの距離を検知するように構成されたエアゲージと、エアゲージの相対位置、及び対象の表面の相対位置を含むグループのうち少なくとも１つを測定するように構成されたセンサとを有しており、エアゲージ及びセンサの各出力側は、結合されたエアゲージリーディングを形成するように結合されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の位置を検出することができるとともに、被測定物の表面形状を測定して報知することができ、加工穴の穴径及び穴の中心間距離を容易に測定することができる工作機械における被測定物の表面形状判定装置を提供する。
【解決手段】加工されたワークＷに対して、エア噴射ノズル２３の先端面を所定間隔ｈだけ離隔した状態で、エア噴射ノズル２３をＸ軸方向に一定の速度で移動すると共に、ノズル本体２７の噴射孔２７ａからエアを噴射し、ワークＷの加工された穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２を通るように移動する。圧力測定器３０によって、圧力変動が測定される。この測定されたＸ軸座標に対する圧力の曲線Ｌｘの傾斜部Ｌｄ，Ｌｕの中心点Ｔ１，Ｔ２の座標に基づいて、穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２のＸ座標、穴径Ｅ及び穴の中心間距離Ｄ１を演算する。 （もっと読む）

【課題】 物体（２１）が予め定められる場所に存在するか否かを判定するための検出システムおよびエア捕捉センサー（１３５）、並びにエア捕捉センサーのためのセンサーツールを提供する。
【解決手段】 このシステムは：先端面に空気出口（７５）を有し、使用時に空気流をそこから吐出させるセンサーツール（３５）と；このセンサーツール（３５）の空気出口（７５）に通気的に連通するエア捕捉センサー（１３５）と；このセンサーツールが取着された位置決め機構（９）と；この位置決め機構（９）を制御してセンサーツール（３５）を前進させるための制御ユニット（１３９）であって、センサーツール（３５）の空気出口（７５）が少なくとも１つの検出点を通って前進するとき、そこで表面を検出し、物体（２１）が予め定められる場所に存在するか否かを判定する制御ユニット（１３９）と；を具備している。 （もっと読む）