【課題】外圧の変化に応じて容器の内圧を容易に変更する。
【解決手段】歪計測装置では、筺体部５３に設けられた筒状の開口部５３Ａに取り付けられたピストン５４が外部の圧力に対応して摺動する。これにより、外部の圧力とのバランスを取るように調整オイル収容領域５２及び受感領域１５の体積が変動することで、内圧が変更される。そして、上記の歪計測装置では、ピストン５４の摺動のみによって、外圧の変化に応じて調整オイル収容領域５２及び受感領域１５の内圧が変更されることから、内圧の調整を容易に行うことができる。また、上記の圧力バランス機構５１は、簡単な構成によって実現されるため、高温・高圧な環境下でも外圧と内圧の調整を容易に行うことができる。 （もっと読む）

表面測定用の流体近接センサである。この流体近接センサは、測定ノズル（２０５）を備える測定チャンバ（２１０）と、基準ノズル（２２５）を備える基準チャンバ（２２０）と、基準チャンバと測定チャンバとの間のインターフェイスを形成するダイアフラム（２１５）を有する。測定ノズルおよび基準ノズルを取り囲むシュラウド（２８０）によって、シュラウドと測定されている加工面２９０との間の周辺ギャップ（２９５）が設けられる。部分真空源または部分流体源をシュラウドに接続することによって、シュラウドの内圧を上昇または低下させることができ、それによって、近接センサのゲイン−周波数動作レジームが最適化される。差圧変化に応じたダイアフラムの動きは、光学的、容量性、または誘導性手段（２７５）によって検知することができる。 （もっと読む）

【課題】
従来この種の装置としては不動部として気中に張力をかけた基準線を懸架することで構成しているが、基準線は自重による弛みと風圧による揺動の他、温度変化による伸縮変化が起こり本来不動点であるべき基準線の位置変化が発生して計測精度が著しく低下するという問題がある。
【解決手段】
変位計測部位を中間に位置する不動点間に設置された液路と、この液路内に貯留された液体と、この液体に浸かって且つ前期液路に沿って非接触収納され両端部をそれぞれ前記不動点に支持された浮梁構造体と、前記変位計測部位に設けられ前記浮梁構造体の中間部に対応位置し前記変位計測部位と浮梁構造体との間の変位を計測する非接触変位センサとから構成する。 （もっと読む）

【課題】例えばＦＰＤ用ガラス基板などにおいて、非接触、非破壊で、高精度に高速で表面形状を測定し、ソリなどの不具合を検出することが可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定部材１を載置するためのステージ２と、被測定部材１の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ３と、複数のエアースキャナ３を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部５と、各複数のエアースキャナ３に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部７と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第２のデータ処理部８を備える。 （もっと読む）